针对 3D 封装中的多层薄膜结构(如光刻胶 + 氧化层 + 外延层),非接触式红外干涉测厚方案较电容式测厚仪展现出优势。电容式测厚仪基于 “电容值与厚度成反比” 的原理,能测量整体厚度,无法区分层间界...
在光刻工艺的光刻胶涂层检测中,非接触式光谱反射测厚方案较接触式、电容式更适配制程需求。接触式测厚仪的机械测头会粘黏光刻胶(尤其液态或软质涂层),导致测量污染与精度偏差;电容式测厚仪则因光刻胶介电常数随...
半导体行业追求生产效率、降低人工干预,全自动化与无人化将成为影像仪在半导体行业的重要发展趋势,通过集成更先进的自动化设备、智能控制系统,实现从工件上料、检测、分拣、下料到数据上传的全流程无人化操作,适...
在光刻胶涂层粗糙度检测中,非接触式暗场成像方案较接触式探针仪解决了污染与损伤难题。接触式探针仪的探针会粘黏液态或未固化的光刻胶,导致涂层污染,且接触压力会破坏光刻胶的微观结构,影响后续曝光效果;而非接...
非接触式测厚仪支持定点与扫描两种检测模式,适配差异化检测需求。在半导体单点厚度抽检场景中,设备可精细锁定工件指定位置,完成定点厚度数值采集,适用于芯片局部镀膜、局部胶层的参数检测。针对晶圆、大尺寸基板...
晶圆干燥工序的效果,能够通过水滴角的变化进行判断,这也是半导体湿法制程收尾阶段的常规检查手段。经过多道水洗流程的晶圆,表面缝隙与微观纹路中容易锁住水分,残留水汽会干扰后续高温工艺与薄膜沉积。当晶圆完全...
半导体生产车间对环境(温度、湿度、振动、洁净度)要求严苛,但仍存在轻微波动,普通检测设备易受环境影响导致精度漂移、成像模糊,而影像仪凭借高刚性机械结构、精密光学系统、环境补偿算法,具备极强的环境适应性...
设备搭载数据存储与导出功能,便于半导体生产数据追溯与复盘。非接触式测厚仪可自动记录每一次检测的厚度数值、检测时间、工件编号等信息,形成系统化的检测数据台账。工作人员可随时调取历史检测数据,对比不同生产...
设备具备数据异常预警功能,便于及时处置制程问题。非接触式测厚仪可提前录入各类半导体工件对应的厚度标准区间与公差范围,适配晶圆、薄膜、胶层、镀层等不同工件的质检标准。在批量检测作业过程中,若采集的厚度数...