在氮化镓外延层粗糙度检测中,非接触式紫外光 + 白光干涉复合方案较接触式探针仪更适配材质特性。接触式探针仪的金刚石探针在氮化镓的高硬度、高反光表面易打滑,测量数据波动>±15%;而非接触式检测机的紫外...
在绿色制造理念的下,晶圆搬送机融入了多项节能环保设计,助力半导体工厂实现低碳生产。设备采用高效节能伺服电机,相比传统电机能耗降低 30% 以上,同时通过智能调速技术,根据搬送负载自动调节运行功率,避免...
针对晶圆背面铝、铜、金等金属化层的厚度检测,非接触式 X 射线荧光测厚方案较电容式测厚仪展现出无损与精细双重优势。电容式测厚仪需与金属层直接接触,易造成金属层磨损或氧化层破坏,且对金属材质敏感 —— ...
引线键合是半导体封装工序,金丝、铝丝、铜丝键合质量直接决定器件可靠性,工业体式显微镜是键合外观在线检测的必备设备。通过三维立体视野,操作人员可清晰观察键合点位置、球焊成形、楔焊形态、线弧高度、走线方向...
晶圆搬送机秉持绿色低碳的设计理念,通过多项低功耗技术创新,助力半导体工厂实现绿色生产。设备采用高效节能的伺服驱动系统,相比传统异步电机,能耗降低 30% 以上,同时配备智能节能模式,在设备待机或轻负载...
照明系统是工业体式显微镜在半导体应用中能否看清缺陷的关键,设备通常配备多路可调控光源,以应对不同材料、不同结构的观测需求。环形 LED 光源提供均匀正面照明,适合整体外观检查;侧光 / 斜射光可突出表...
晶圆搬送机配备了先进的远程监控与运维系统,通过数字化手段提升设备管理效率,降低维护成本。管理人员可通过电脑、手机等终端设备,实时查看设备的运行状态、搬送数据、能耗指标等信息,无论身处何地都能掌握生产动...
工业显微镜是半导体质量控制体系中关键、不可替代的检测工具,贯穿芯片设计、晶圆制造、封装测试、失效分析全流程。从晶圆外观检查、芯片尺寸测量、封装结构观测到可靠性验证,显微镜为每一道工序提供直观、精细、可...
工业红外显微镜以近红外 / 短波红外(900–1700 nm) 为照明源,依托硅材料在波长>1100 nm 时透过率急剧提升的物理特性,实现对硅基器件的无损穿透成像,是半导体制造与失效分析的装备。与可...
工业显微镜是半导体质量控制体系中关键、不可替代的检测工具,贯穿芯片设计、晶圆制造、封装测试、失效分析全流程。从晶圆外观检查、芯片尺寸测量、封装结构观测到可靠性验证,显微镜为每一道工序提供直观、精细、可...
体式显微镜、金相显微镜、工具显微镜、视频显微镜是现代工业制造中四大光学检测设备,各自承担不同功能,共同构成完整的质量观测与测量体系。体式显微镜以三维立体成像为主,用于外观检查、手工操作、产线快速判断;...
工业红外显微镜由红外光源模块、穿透式光学系统、电动精密载台、InGaAs 探测器、工业控制与成像软件五大单元构成,专为半导体产线与实验室度使用设计。光源采用高稳定短波红外 LED 或激光耦合光源,亮度...
在电子制造行业,电阻、电容、电感、连接器、端子、接插件、PCB 板等元器件尺寸微小、公差严苛,工业工具显微镜是其尺寸测量与外观缺陷判定的设备。它可精细测量贴片元件的长度、宽度、厚度、引脚间距、引脚共面...
半导体切割、粘片、挑粒工序对操作精度要求极高,工业体式显微镜为高精度手工操作提供稳定视觉支撑。在晶圆切割后,通过显微镜检查芯片崩边、裂纹、背崩、切割偏移、异物残留,判断切割品质是否合格;在粘片工序,观...
引线键合是半导体封装工序,金丝、铝丝、铜丝键合质量直接决定器件可靠性,工业体式显微镜是键合外观在线检测的必备设备。通过三维立体视野,操作人员可清晰观察键合点位置、球焊成形、楔焊形态、线弧高度、走线方向...
金相显微镜是半导体失效分析(FA)实验室不可缺少的分析仪器之一,主要用于芯片截面结构观察、失效点定位、失效模式判断及工艺缺陷分析。它能够在高倍放大下清晰显示芯片内部的金属布线、层间介质、接触孔、栅氧结...
体式显微镜、金相显微镜、工具显微镜、视频显微镜是现代工业制造中四大光学检测设备,各自承担不同功能,共同构成完整的质量观测与测量体系。体式显微镜以三维立体成像为主,用于外观检查、手工操作、产线快速判断;...
金属布线(铝线、铜线)失效是半导体器件最常见的失效模式之一,包括电迁移、电烧断、空洞、腐蚀、分层、尖刺等,金相显微镜在 FA 实验室中承担此类失效的直观表征任务。在电迁移失效中,显微镜可清晰观察到金属...