探针台的各种应用,例如器件表征和建模,RF /微波,晶片级可靠性,故障分析,设计验证,和大功率。满足先进半导体测试市场的要求,主要用于解决故障分析,设计验证,IC工程,晶圆级可靠性以及MEMS,高功率,RF和mmW器件测试的特殊要求。系统噪声,非常精确和高度可靠的DC / CV,RF和高功率测量。用于在宽温度范围内实现功率半导体的低接触电阻测量。带互锁功能的安全光幕可通过互锁系统关闭仪器,从而保护用户免受意外高压冲击。该系统具有后门,并由互锁保护,以提供简便的初始测量设置。半导体设备市场中,探针台是我国目前能实现高国产化率的设备。成都磁场探针台
探针台的分类探针台可以按照使用类型与功能来划分,也可以按照操作方式来划分成:手动探针台、半自动探针台、全自动探针台。手动探针台系统顾名思义是手动控制的,这意味着晶圆载物台、显微镜以及定位器/操纵器都是由使用者手动移动的。因此一般是在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用手动探针台。该类探针台的优点之一是只需要**少的培训,易于配置环境和转换测试环境,并且不需要涉及额外培训和设置时间的电子设备、PC或软件。由于其灵活和可变性高的特点,非常适合研发人员使用。全自动探针台相比上述两种添加了晶圆材料处理搬运单元(MHU)和模式识别(自动对准)。负责晶圆的输送与定位,使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。可以24小时连续工作,通常用于芯片量产或有一些特殊要求如处理薄晶圆、封装基板等。全自动探针台价格也是远比手动/半自动探针台要昂贵。成都磁场探针台探针台与显示器一体化设计。
H系列探针台是一款配置综合型手动测试探针台,该系列探针台设备配置丰富,基本可以满足一般实验室的全部测试要求。其样品台可以360度快速移动,便于快速定位样品位置,提高测试效率。并且具备三段式针座平台,在不失焦的情况下可以使样品和探针做到快速分离。此设备一般适用于大型实验室或者半导体工厂。产品优势:卡盘可360度快速移动,便于快速定位样品位置,提高测试效率大手柄微分头驱动,省时,省力,省心三段式可升降探针座平台,在不失焦的情况下可以使样品和探针做到快速分离
高低温探针台优势1.满足各种温度的需求:可以满足非常高的温度或非常低的温度的需求,因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,我们针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。2、体积小,稳定性高:与传统探针台相比,高低温真空探针台的稳定性更高,采用先进的技术工艺,让探针台在工作过程中流畅性更高,平稳性更高,从而保证每次实验数据的稳定性,这样实验得出的结果就会更加准确。3、成本更低,可兼容直流跟射频测试的运用:与传统探针台相比,这种探针台采用先进的合成材料,成本方面比传统探针台更低,但是功能性都更加强大。探针台由哪些部分组成?
可提供单维磁场,多维磁场探针台,磁场强度,精度和间隙均可客制化l高刚性结构,所有零配件均采用无磁化材料可加载高低温,可同时进行DC和RF测试,可配合市场主流扩频模块进行超高频测试;大行程高精度探针座,X-Y-Z-Theta四轴控制l显微镜可以在2英寸*2英寸*2英寸范围内移动,扩大了显微镜视场;兼容直流与高频信号;可以定制,可升级性强l比较大可以测试12英寸样品,探针台chuck具备升降功能,便于样品和探针的快速分离。可配合等离子发生器使用,可以给样品提供超高温和等离子气体。超高频测试探针台系统。成都磁场探针台
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。成都磁场探针台
探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在硅晶片上,从而可以与测试仪器/半导体测试系统配合来测试芯片/半导体器件。这些测试可以很简单,例如连续性或隔离检查,也可以很复杂,包括微电路的完整功能测试。可以在将晶圆锯成单个管芯之前或之后进行测试。在晶圆级别的测试允许制造商在生产过程中多次测试芯片器件,这可以提供有关哪些工艺步骤将缺陷引入产品的信息。它还使制造商能够在封装之前测试管芯,这在封装成本相对于器件成本高的应用中很重要。探针台还可以用于研发、产品开发和故障分析应用。成都磁场探针台
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