探针台的分类探针台可以按照使用类型与功能来划分,也可以按照操作方式来划分成:手动探针台、半自动探针台、全自动探针台。手动探针台系统顾名思义是手动控制的,这意味着晶圆载物台、显微镜以及定位器/操纵器都是由使用者手动移动的。因此一般是在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用手动探针台。该类探针台的优点之一是只需要**少的培训,易于配置环境和转换测试环境,并且不需要涉及额外培训和设置时间的电子设备、PC或软件。由于其灵活和可变性高的特点,非常适合研发人员使用。全自动探针台相比上述两种添加了晶圆材料处理搬运单元(MHU)和模式识别(自动对准)。负责晶圆的输送与定位,使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。可以24小时连续工作,通常用于芯片量产或有一些特殊要求如处理薄晶圆、封装基板等。全自动探针台价格也是远比手动/半自动探针台要昂贵。高低温真空探针测试系统。安徽探针台
波铭科仪CH-196高低温真空探针台是我司自主研发的一款在极端环境下给样品加载电学信号的设备。可以实现器件及材料表征的IV/CV特性测试,射频测试,光电测试等。通过液氮或者压缩机制冷,可以在防辐射屏内营造一个稳定的测试环境。在特殊材料,半导体器件等研究方向具有***运用。一般用于相关单位实验室。产品优势:防辐射屏和热沉设计降温速度快,常温降至77k<25mins,提高测试效率液氮自动控制系统,液氮流量模块和温度控制模块一起联动共同控制温度。安徽探针台探针台的探针的清洗。
桌面探针系统
众所周知探针台用于半导体测试,特别是6英寸或者12英寸的晶圆探针台。因为受尺寸限制,导致大尺寸等规格不符的待测物无法进行测试,从而使得众多产品无法得到验证。
对于除了半导体、晶圆、芯片需要测试以外,如同大尺寸电路板、高频高速电路、射频微波器件、高速连接器等所需测试的产品也是需要进行阻抗、S参数的测试。特别是现在高频高速已经进入了56G、112G,单波NRZ通道已经到了56GHz的电信号的时代。所以高频、高速等系列电路板各个通道以及载体都需要进行产品的性能测试。
因此研发推出了桌面探针系统及各规格探针配合67GHz网络分析仪进行高频高速的测试。
探针台是半导体(包含集成电路、分立器材、光电器材、传感器)行业重要的检测配备之一,其广泛应用于杂乱、高速器材的ing密电气测量,旨在保证质量及可靠性,并缩减研发时刻和器材制作工艺的本钱。探计台用于晶圆加工之后、封装工艺之前的CP测验环节,负责晶圆的输送与定位,使晶圆上的晶粒依次与探针触模并逐人测验。在半导体器材与集成电路制作工艺中,从单晶硅棒的制取到ZU终器材制作的完结需经过杂乱的工序,可分为前道工序与后道工序,探针台是检测半导体芯片的电参数、光参数的关键设备。探针台的正确配置选型。
RF/mmW超高频测试探针台系统可配合市场主流扩频模块进行超高频测试l大行程高精度探针座,X-Y-Z-Theta四轴控制l显微镜可以在2英寸*2英寸*2英寸范围内移动,扩大了显微镜视场l兼容直流与高频信号l可以定制,可升级性强lFA(失效分析)**激光探针台系统失效分析实验室**(芯片去层/线路或Pad切割与熔接电性能测试验证)l激光镭射波长1064/532/355nm可选择性去除特定材料、而不损伤下层或基底l材料/器件(尤其是射频特征芯片)的IV/PIV/CV电性测试和失效分析。l**小切割线宽:355nm1um;,行程25mm,升降精度1uml卡盘,采用中心吸附孔和多圈吸附环固定样品l可调节显微镜快速倾仰,便于更换物镜,带自动锁定功能。l高功率白色照明光源(亮度可以无级调节)。 探针台chuck具备升降功能,便于样品和探针的快速分离。安徽探针台
探针台规范操作步骤。安徽探针台
探针测试台x-y工作台滚珠丝杠副和导轨结构x-y工作台的维护与保养相对于平面电机工作台,丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂,工作台由上层(x向)及下层(y向)两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动,导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件,所以具有传动效率高、摩擦力矩小,使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3 ℃,湿度≤70%,无有害气体的环境中,滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油,但不可过多,值得指出的是,这种结构的工作台在装配过程中,从直线导轨的直线性,上下层工作台之间的垂直度以及工作台的重复性,定位精度等都是用专业的仪器仪表调整,用户一般情况不能轻易改变,一旦盲目调整后很难恢复到原来的状态,所以对需要调整的工作台应有专业生产厂家或经过培训的专业人员完成。安徽探针台
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