厂房气体管道设计

助燃气体，对于氧气或氟系助燃气体，只要与油脂类物品接触，就会氧化发热，以致燃烧爆裂，所以凡是氧气管道、阀门或设备、附件等均应禁油，氧气管道系统应采用专门的禁油阀门、附件和管材，并在氧气输送系统安装后均应按规定进行脱脂处理。为防止由于静电产生火花引起燃烧爆裂，氧气管道应采取以下措施：①氧气管道内氧气流速限制：当氧气工作压力≥10MPa时，氧气流速不应大于6m/s；当工作压力为0.1～3MPa时，不应大于15m/s；当工作压力≤0.1MPa时，应按其管道允许压力降确定。②氧气管道的弯头、三通等接头的材质选择、安装均应按规定进行，③氧气管道应采取导除静电接地措施。系统布线应尽量减少接缝以降低泄漏的可能性。厂房气体管道设计

负压吸引系统技术要求，吸引系统负压在大气环境下不高于0.02MPa（150mmHg），不低于0.07MPa（525mmHg），并能在该范围内任意调节。医院各病区及各手术室应装有精度不低于1.5级的真空表。传染病房与一般病房若共用一套吸引系统时，则传染病房系统应设置真空罐及过滤器与之隔离。中心吸引站应有报警装置，当负压值高于0.019MPa（140mmHg）或低于0.073 MPa（550mmHg）时，在55db(A)噪音环境下，在1.5m范围内应听到声报警和看到红色的光报警。吸引系统排气口所排出的空气，每立方米细菌数目不得超过500个。中心吸引站室内噪音不超过80db(A)，室外不超过60 db(A)。吸引系统应有可靠的接地装置，接地电阻应小于10Ω。厂房气体管道设计气体纯度大于或等于99.99%的气体管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管。

近20年来，随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产，对高纯气体洁净度的要求，已不亚于对纯度和干燥度的要求，凡工艺气体，无一不对其中的粒子提出限制。因此，对于高纯气体，纯度、干燥度、洁净度是三项重要的标度。由于高纯度气体的使用地点、性质、工况（如温度、压力等）都不完全一致，所以，如何确定高纯气体的“三度”（纯度、干燥度、洁净度），还没有一个严格而明确的概念。 对于纯度和干燥度的控制，我国CBJ73—84《洁净厂房设计规范》中指出，“高纯气体系指纯度大于或等于99.9995%，含水量小于5ppm气体。”

阀门的选用： ①高纯气体一般采用手工氩弧焊接和自动氩弧焊接，焊接型式通常采用承插焊和对焊，承插焊的好处在于施焊时管道的对中，方便焊接，但缺点是由于管道与承插口之间有间隙，会存在“死空间’不易将杂质吹除，影响高纯气体质量。因此对于要求极为严格的高纯气体来说，应采用对接焊连接并要求内表面无焊缝，即在施工时不得使用不锈钢焊丝，利用母材的本身融化填满焊缝。②高纯气体管道与阀门等附件连接应采用密封不易泄漏的专门使用接头予以连接，常用的接头方式有两种：分别为VCR（Vacuum Coupling Retainer）和SWG（Swaglok），VCR采用优良的金属垫，利用纵向压力压紧，因此泄漏率极低，约为10～9A cc/s，且耐压较高，常用于气体杂质含量1.0×10－9级的高纯气输送系统，而SWG则不如VCR，耐压较低，基本上这两种接头方式的安全性足可代替焊接的方式。气体管道不得和电缆、导电线路同架敷设。

这期我们聊聊高纯气体的管路设计在实际应用上，应注意哪些要点？GP在管道设计上是如何实施？高纯气体管路设计要点：01气体特性，了解气体特性，规划单独的供应区域。一般根据气体特性分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区。将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要特别规划防爆墙和泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体于毒性/腐蚀性气体放置同一区域。02输送距离，管路设计需要考虑输送至用气点的距离，距离越长，成本越高，风险越高。通常较合理的设计流速为20ml/S，可燃性气体小于10ml/S,毒性/腐蚀性气体小于8ml/S，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。氧气管道与其它气体管道可同架敷设，其间距不得小于0.25m。厂房气体管道设计

氢气管道与其它可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.50m。厂房气体管道设计

流量测量有策略性地将流量计安装在公司内部管网中经济的和转换性的节点上。压缩空气是一种生产工具，它是公司内各个部门产品成本的一部分。从这个角度看，所有部门都要试图去减少消耗以让所有部门都能受益。现在在市场上可以买到的流量计，所有数值都可以人工读取，测量数据也可以读取到电脑或转换模块中。半导体制造用气体按照使用时的危险性分类：1.可燃、助燃、易燃易爆气体：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等；2.有毒气体：AsH3、PH3 、B2H6等；3.助燃气体：O2 、N2O、F2 、HF等；4.窒息性气体：N2 、He 、CO2、Ar等；5.腐蚀性气体：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等。厂房气体管道设计