浙江铝合金气体管道设计连接图

阀门的选用。高纯气体对系统所用阀门的严密性有十分严格的要求，目前国内洁净厂房的高纯气体管道的阀门基本都采用SS304或SS316L不锈钢材质，阀门型式有隔膜阀、波纹管阀和球阀。波纹管阀的严密性比球阀好，在气体流过阀门时没有与外环境接触的填料，所以没有渗漏现象：隔膜阀除了严密性与波纹管阀相当以外，还具有阀体死体积小，易吹除且污染少，所以适用于对气体纯度和生产工艺要求极严格或者危险性大的气体。为确保输送至用气设备的气体质量，高纯气体管道与用气设备之间应用不锈钢金属软管连接，不宜采用非金属软管。在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体。浙江铝合金气体管道设计连接图

设计选型不当的压缩空气供气系统会产生不必要的能耗、降低生产力和压缩空气性能。供气系统的优劣可从以下三个方面考量：从空压机出口到较终用气点的压损要足够的小供气系统的漏点要少如果系统没有干燥机，供气系统是否具有高效的冷凝水分离功能这三个基本准则适用于供气系统的主管道设计和为未来扩产预留的管道设计。为未来需求而设计先适用较大尺寸的管道，虽然现在看来初始投资会高一些，但与未来扩产因管道太小全部重建供气管道系统所要花费的成相比，一开始就选择较大尺寸的管道的成本要低的多。浙江铝合金气体管道设计连接图高纯气体管道应采用承插焊接。

不同管件产生的压力损失可以通过折算成等效直管长度（米）进行计算。除了上述公式外，也可以使用列线图（见下图）来匹配较合适的管径进行管网管路总长的计算。其中流量、压力、允许压降和管道长度是使用列线图的必要数据。然后为安装要选择较接近、较大直径的标准管道。对管网中各个配件和管道组件折算为等效直管长度，然后将对应的管路损失折算为直管中的压力损失。将这些“额外”的管道长度增加到初始直管的长度中，然后通过管网允许压损再反算管网所需的管道尺寸。在大型的管网中，管网中各个区块的管道（供气主管、支管、连接管）应该单独计算。

高纯气体中间供气系统是专为高精度分析测试设备所用高纯工作气体的传输而设计，系统需要为分析设备提供压力、流量稳定且经过长距离传输后纯度不变的高纯气体以满足各种高精度分析设备的使用要求。系统同时还应该满足安全性的要求，并方便客户的日常使用及管理。1.气瓶间内存放的气瓶采用带防倒链的气瓶支架固定，气瓶支架坚固耐用、美观大方。气瓶支架采用铝合金制作而成。2.气瓶间内的气体钢瓶与压力调节器之间采用SS316L高压金属软管连接无渗透。高压软管为柔性软管，以保证连接的方便性。并自导防护钢缆，预防极端情况下，钢瓶阀损坏等现象带来的高压“抽鞭”事故。压力调节器与管道的连接方式为双环卡套。3.高压软管上的钢瓶接头必需与钢瓶角阀的规格相匹配，以确保连接的可靠性。各种气体管道应设置明显标志。

负压吸引系统：系统需设水分离器，地面必须有排水槽。油润滑滑片式真空泵：具有空气冷却、低噪音、震动少的优点。内部单向阀保护吸引系统不被污染，油雾分离器保护环境和减少油的损失。由于该设备是空气冷却，设备机房必须要有良好的透风。负压吸引系统附属设备：双重细菌过滤器：防止真空泵及真空罐被污染。不中断气流可替换过滤器：2个可交替使用的微粒过滤器。污物接收器：收集污染的及液体，保护真空系统正常运转，不中断气流可清理污染物。真空缓冲罐：防止真空泵频繁起动。采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。浙江铝合金气体管道设计连接图

氢气管道与其它可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.50m。浙江铝合金气体管道设计连接图

气瓶间布局，1.由于存放的气体由于有可燃性气体和助燃气体，按国家规定必须分库存放。分别放入不同的气瓶间内。2.气瓶间内设立一次调压面板，其中二托一面板带吹扫铜镀铬面板4套。3.压力调节器入口前需加装烧结金属过滤器以防止颗粒等杂质污染系统。4.所有面板均配备吹扫阀，可实现对面板的清洗置换。5.压力调节器及相关管件均需牢固的固定在压力调节面板上，面板应设计的紧凑而合理，以尽量减少系统中的死体积。6.压力调节面板应采用全不锈钢材料制成，并且牢固的固定在可靠的位置上，确保其安全性。7.排空气路应分类收集、固定牢固并排放至室外安全地点。浙江铝合金气体管道设计连接图