超表面(Metasurface)是由亚波长尺度的共振单元(如纳米柱、缝隙环等)组成的二维人工结构,能够对入射光的振幅、相位和偏振进行任意操控。将超表面与光学相控阵结合,诞生了“超表面光学相控阵”这一新兴方向,它有望彻底解决传统OPA的栅瓣和扫描视场限制。其原理是:每个超表面单元本身即可提供0~2π范围的相位调制,且无需长距离波导传输,通过外部电场、温度或光学泵浦改变超表面单元的谐振状态,即可动态调控局部相位响应。。光学相控阵配合波长分集技术可扩充通信系统容量。国外光学相控阵成品

国内洛微科技、一径科技和力策科技等初创公司也相继发布了自己的OPA芯片样机。然而,OPA激光雷达仍面临几大产业化障碍:一是芯片制造良率低,尤其是大规模波导阵列的相位一致性难以保证,需每片单独校准;二是激光光源耦合效率有限,且高功率激光注入芯片易引发非线性效应和热应力;三是环境适应性——在-40℃~85℃车规温度范围内,硅材料的热光系数变化会导致相位漂移,必须集成片上温度传感器和自适应补偿回路。克服这些问题需要上下游产业链协同攻关,预计未来3~5年内,随着工艺成熟和算法完善,OPA激光雷达将逐步走向量产。国外光学相控阵成品温度漂移可通过闭环反馈控制系统进行实时补偿。

近年来,薄膜铌酸锂(Thin-Film Lithium Niobate, TFLN)平台以其很好的电光系数(r₃₃ ≈ 30.9 pm/V)和极低的光学损耗,成为光学相控阵领域的新兴宠儿。与硅材料依赖载流子效应不同,铌酸锂的线性电光效应(普克尔效应)能够在不引入额外吸收损耗的前提下实现高速、高线性度的相位调制,其调制带宽可达上百GHz,而功耗只为硅基热光方案的十分之一左右。更重要的是,TFLN波导结构可采用智能切片(SmartCut)和干法刻蚀技术制备,形成亚微米级的高约束脊型波导,与硅光工艺有一定兼容性。
在传统电子芯片制造领域,全球更先进的EUV(极紫外光)光刻机被海外企业垄断。而光子芯片开辟了一条全新的技术赛道——光子芯片基于成熟130nm工艺即可实现算力跃升,制造过程不需要用到EUV光刻机。这为我国集成电路产业“换道超车”、避免被“卡脖子”提供了战略机遇。OPA硅光芯片正是这一战略方向的重要抓手之一。目前,我国在光子芯片领域已具备一定的产业基础,具有较强的现实可行性。扬州群发光芯建成的全国首条OPA硅光芯片中试线,以及力策科技在OPA纯固态激光雷达芯片上的技术突破,都标志着中国在OPA硅光芯片的产业化进程中正走在前列。中国科技产业化促进会理事长惠小兵评价说,群发光芯作为国内头一个集研发设计、芯片生产、封装测试和对外销售于一体的科创企业,攻克多项核心技术。OPA硅光芯片有望成为中国在下一代光电子产业竞争中实现前沿的关键技术领域。OPA的扫描轨迹可由软件任意定义,无需改动硬件。

随着5G/6G网络对无线数据传输速率的需求式增长(6G目标峰值速率达1 Tbps),传统的射频和毫米波频段已接近香农容量极限,而光频段拥有几乎无限的可用带宽(数百THz),因此自由空间光通信(FSO)被视为超越5G的重要候选方案。光学相控阵在FSO系统中扮演着**角色,它一方面可实现发射光束的快速指向对准(无需粗笨的万向节),另一方面可通过多波束成形同时服务多个用户,且具备空分复用能力。南京大学团队构建的硅光相控阵无线光传输系统具有代表性意义——他们利用OPA芯片作为发射前端,在室内5米距离上实现了12 Gbps的单波束传输速率,且在不同用户间切换时间*为12.8微秒,远低于机械转向的数百毫秒。更令人振奋的是,OPA还支持“隐私通信”模式,即通过波束赋形将信号能量定向投射至特定接收机,而在其他方向的泄漏功率衰减超过20dB,有效防止**,这是射频全向广播无法比拟的安全优势。相位包裹技术有效解决了大角度偏转时的复位损耗问题。国外光学相控阵成品
OPA用于增强现实显示,可动态调控虚拟光场。国外光学相控阵成品
面向星间激光链路的应用,OPA可大幅减轻卫星载荷的重量和功耗,因为传统光学天线需要两轴伺服机构(重达数公斤),而OPA芯片只重几十克;欧洲航天局(ESA)已启动“OPTIMA”项目,研究基于液晶OPA的星间相干光通信终端,目标实现10 Gbps的星地传输。需要指出的是,FSO受大气湍流影响严重,会造成光束漂移和闪烁,OPA的快速波前校正能力恰好可以部分补偿湍流引起的相位畸变,这一自适应光学功能在传统机械系统中很难实现。因此,可以预见,光学相控阵将成为下一代天地一体化信息网络的重要光交换节点。国外光学相控阵成品
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