辽宁数字微流控芯片

基于微流控芯片的链式聚合反应（PCR）更进一步的产品是可集成样品前处理的基因鉴定方法之一。由于具有高度重复和低消耗样品或试剂的特性，这种自动化和半自动化的微流控芯片在早期的药物研发中，得到了广泛应用。Caliper的商业模式是将芯片看作是与昂贵的电子学和光学仪器相连接的一个消费品，目前，已被许多公司采用。每个芯片完成一天的实验运作的成本费用大概是5美元，而高通量的应用成本是几百到几千美元，但预计可以重复循环使用几百或几千次，以一次分析包括时间和试剂的成本计算在内，芯片的成本与一般实验室分析成本相当。玻璃基微流控芯片经精密刻蚀与键合，确保高透光性与化学稳定性。辽宁数字微流控芯片

微米级尺度微流控芯片的精密加工与应用：在0.5-5μm微米级尺度微流控芯片加工领域，公司依托MEMS光刻、深硅刻蚀及纳米压印等技术，实现亚微米级精度的微流道、微孔阵列及三维结构制造。电镜下可见的精细流道网络，其宽度误差可控制在±50nm以内，适用于单分子检测、液滴生成等超高精度场景。例如，在单分子免疫检测芯片中，微米级微孔阵列可实现单个生物分子的捕获与荧光信号放大，检测灵敏度较传统方法提升10倍以上。该尺度芯片的加工难点在于材料刻蚀均匀性与表面粗糙度控制，公司通过干湿结合刻蚀工艺与表面化学修饰技术，解决了高深宽比结构（如10:1以上）的加工瓶颈，成功应用于外泌体分选、循环肿瘤细胞捕获等前沿生物医学领域，为精细医疗提供器件支撑。辽宁数字微流控芯片基于MEMS发展而来的微流控芯片技术。

完善、高标准的PDMS芯片生产产线：公司自建的PDMS芯片标准化产线，采用全自动混胶、真空脱泡与高温固化工艺，确保芯片力学性能（弹性模量1-3MPa）与透光率（>92%）的高度一致性。通过精密模具（公差±2μm）与等离子体亲水化处理，产线可批量生产单分子检测芯片、液滴生成芯片等产品。例如，液滴芯片通过流聚焦结构生成单分散乳液（粒径CV<2%），通量达20,000滴/秒，用于单细胞测序时捕获效率超98%。质检环节引入微流控性能测试平台，通过荧光粒子追踪与压力-流量曲线分析，确保流速偏差<3%。产线还可定制表面改性方案，如二氧化硅涂层使PDMS亲水性维持30天以上，满足长期细胞培养需求。目前，该产线已为多家IVD企业提供核酸快检芯片，30分钟出结果，灵敏度达99%，成为基层医疗的可靠工具。

利用微流控芯片对tumour标志物检测：通过检测tumour特异性生物标志物含量可以在早期得知患病信息，也可用于监测抗tumour药物治疗效果。在tumour检测领域，Regiart等研制一种用于tumour生物标志物检测的超敏感便携式微流控设备，总检测时间只需20 min，具有稳定性高、携带方便、敏感性高等优点。由于tumour的分子机制复杂，不能依靠单一生物标志物来诊断，同时测定一组生物标志物可显著提高诊断的特异性和准确性。Jones等人设计了一款可同时检测8种标志物的微流控免疫芯片，用于诊断前列腺cancer并区分是否具有侵袭性，以减少患者不必要的活检和手术。微流控芯片通过设计可以呈现多流道的形式。

玻璃基微流控芯片的精密刻蚀与键合工艺：玻璃因其高透光性、化学稳定性及表面平整性，成为光学检测类微流控芯片的理想材料。公司采用湿法刻蚀与干法刻蚀结合工艺，在玻璃基板上实现1-200μm深度的微流道加工，配合双面光刻对准技术，确保流道结构的三维高精度匹配。刻蚀后的玻璃芯片通过高温键合（300-450℃）或阳极键合实现密封，键合强度可达5MPa以上，耐受高压流体传输（如100kPa压力下无泄漏）。典型应用包括荧光显微成像芯片、拉曼光谱检测芯片，其光滑的玻璃表面可直接进行生物分子修饰，用于DNA杂交、蛋白质吸附等反应。公司在玻璃芯片加工中攻克了大尺寸基板（如4英寸晶圆）的均匀刻蚀难题，通过优化刻蚀液配比与等离子体参数，将流道深度误差控制在±2%以内，满足前端科研与工业检测对芯片一致性的严苛要求。多样化微流控芯片加工案例覆盖数字 PCR、单分子检测、POCT 等多个领域。辽宁数字微流控芯片

微流控芯片在不同领域都有非常广阔的应用前景。辽宁数字微流控芯片

微针电极与组织液提取芯片的创新加工技术：微针电极作为生物检测与给药的前沿器件，需兼顾机械强度与生物相容性。公司采用干湿结合刻蚀工艺，在硅或硬质塑料基板上制备直径10-100μm、高度500-1000μm的微针阵列，针尖曲率半径控制在5μm以内，确保穿刺过程的低创伤性。针对类***电生理记录需求，开发了“触凸”电极结构，在微针顶端集成纳米级金属电极（如金/铂薄膜），实现对单个细胞电信号的高灵敏度捕获。同时，微针阵列可用于组织液提取，通过中空结构设计与毛细作用，在30秒内完成微升量级体液采集，避免传统**的痛苦与***风险。该技术结合表面亲疏水修饰，解决了微针堵塞与生物污染问题，已应用于连续血糖监测芯片与药物透皮递送系统，为可穿戴医疗设备提供**组件支持。辽宁数字微流控芯片