日本KASHIYAMA NEODRY 30E 技术参数以及配置清单
一、 NEODRY 30E技术参数:
式样:NEODRY 30E
MAX排气速度(L/min):500
达到压力(Pa):1
电源电压:单相AC200-220V
外型尺寸WHL [mm]:210×250×450
吸气口:KF40
噪声:≤60DB
排气口:KF25
质量【kg】:25kg
二、NEODRY30E 配置清单:
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
NEODRY 30E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选 |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
4 |
气振阀(选配) |
|
未包含 |
5 |
消音器(选配) |
|
未包含 |
6 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
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干式螺杆真空泵选型
干式螺杆真空泵在其工作压力下,应能排走真空泵设备工艺过程中产生的全部气体量。
每种泵都有一定的工作压力范围,因而,泵的工作点应该选择在这个范围之内,而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。
干式螺杆真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。
选择真空机组:
了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸汽,有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。选择干式螺杆真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
干式螺杆真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
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日本KASHIYAMA SDL12E50/60干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样 |
SDL12E50/60 |
MAX排气速度(L/min) |
25000 |
达到压力(Pa) |
0.8 |
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
外型尺寸WHL [mm] |
520×1050×1020 |
重量(kg) |
645 |
二、 配置清单:
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
1 |
SDL12E50/60主机一台 |
1 |
标配 |
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
日本KASHIYAMA MU100P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样:MU100P/H
MAX排气速度(L/min):1660
达到压力(Pa):3.0
电源电压:3相 AC200-220V
消费电力(KW):0.7KW
外型尺寸WHL [mm]:350×360×630
质量【kg】:70kg
二、 配置清单:
序号
描述
数量
备注
1
MU100P/H主机一台,电压AC三相200V
1
标配
2
电源线
1
标配
3
冷却水管路接头
1
标配
4
操作手柄
1
标配
5
产品合格证
1
标配
6
消音器(原厂件,选配)
未包含
7
入口过滤器(选配,非原厂件)
未包含
设备原产地:日本
浚和(上海)仪器有限公司是一家专业提供干式真空泵的公司。
日本KASHIYAMASDE200干式真空泵技术参数&配置清单
一、技术参数:
式样
SDE200
MAX排气速度(L/min)
3300
达到压力(Pa)
1.3
电源电压
3相 AC200-220V,380-480V
消费电力(KW)
2.7KW
外型尺寸WHL [mm]
370×501×690
二、 配置清单:
序号
描述
数量
备注
1
SDE200主机一台
1
标配
2
电源线
1
标配
3
冷却水管路接头
1
标配
4
操作手柄
1
标配
5
产品合格证
1
标配
6
消音器(原厂件,选配)
未包含
7
入口过滤器(选配,非原厂件)
未包含
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(GasBallast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
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干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;4)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。5)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;东莞SDL12E50干式真空泵价格
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