干式真空泵与油泵的性能比较项目NeoDrySeries干式真空泵油泵特征○・不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。△・使用油密封得不到干净的真空。・排气时会在排气口产生油雾。・根据使用情况,密封用油中会混入水蒸气·溶剂使油质变差影响性能。・泵的周围会因油雾污染环境。维护性○・基本上免维护△・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。(根据使用情况,需要频繁更换)维护成本○・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少,O/H费用便宜。・抽 气部分无物理接触,无因磨损更换部件。△・油需定期更换产生费用。(使用氟油的情况费用较高)・需要更换叶片及阀门。(因叶片为接触式)初始投资成本△・与油泵相比相对较高。○・与干泵相比较便宜。配套设备费用○・不需要油雾凝气阀△・需要油雾凝气阀。・需要油盘。干式真空泵,就选浚和(上海)仪器有限公司,用户的信赖之选,有想法的不要错过哦!广西实验室干式真空泵联系方式
有点真空泵不能在大气压下工作 ,需要预真空;有的干式螺杆真空泵出口压力低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵,我们称之为真空泵机组,他能是真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵,由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求,例如:在一般情况下罗茨-旋片机组不适用于含有较多凝性气体的系统。无油涡旋真空泵选型。无油涡旋真空泵结构简单、具有较高的压缩比,在较宽的压力范围内有稳定的抽速,工作压力范围宽;动静涡旋盘之间间隙小、泄漏少,由于压缩腔容积的变化是连续的,因而驱动扭矩变化小,功率变化小,振动噪声低,可靠性高。这是其它类型的干式真空泵所不具备的。广西实验室干式真空泵联系方式干式真空泵,就选浚和(上海)仪器有限公司,让您满意,期待您的光临!
日本KASHIYAMANEODRY36E技术参数以及配置清单一、NEODRY36E技术参数:式样:NEODRY36EZUI大排气速度(L/min):600达到压力(Pa):1电源电压:单相AC200-220V外型尺寸WHL[mm]:298×275×475吸气口:KF40噪声:≤60DB排气口:KF25质量【kg】:54kg二、NEODRY36E配置清单:序号描述数量备注1NEODRY36E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选1标配2电源线1标配3产品合格证1标配4气振阀(选配)未包含5消音器(选配)未包含6入口过滤器(选配,非原厂件)未包含
近期很多朋友咨询反馈自己生产中的液环式真空泵由于夏天温度高,真空度上不去,叶轮也由于腐蚀和气蚀经常换,用的无油螺杆泵、爪泵转子经常被卡死盘不动车,而且由于腐蚀真空度上不去,排气口还有喷油现象。种种现象维修虽然花不了多少钱,但是影响生产,一个班组的人都 等着泵修好,下面的人瞪着眼看着,上面领导脸色又不好,很是尴尬难受!因此我们这一辑内容就来为大家介绍干式真空泵,干式真空泵主要在半导体行业、化学工业、薄膜产业得到应用于发展。国外的干泵市场正处于蒸蒸日上的阶段,如日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,提高了产品的性能和质量。浚和(上海)仪器有限公司致力于提供干式真空泵,有想法的可以来电咨询!
日本KASHIYAMAMU20M18P/H干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:MU20M18P/HMAX排气速度(L/min):30000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V消费电力(KW):2.0KW外型尺寸WHL[mm]:500×950×1100质量【kg】:340kg二、配置清单:序号描述数量备注1MU20M18P/H主机一台,电压AC三相200V1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本浚和(上海)仪器有限公司致力于提供干式真空泵,有想法可以来我司咨询。广西实验室干式真空泵联系方式
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干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;4)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。5)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;广西实验室干式真空泵联系方式