特气管道安装解决方案

大宗特气供应系统（BSGS）采用全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空；多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断；专门使用氮气吹扫起源等等。特种气体采用单独气源，多用点采用VMB或VMP分路供应，VMB或VMP采用支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空等。由于BSGS气源总量大，多采用单独的气体房，单独的抽风系统。这些工厂的特种气体的供给，除了普通钢瓶（50L及以下）包装的特种气体外，还有多种类的特种气体都普遍采用大包装容器，由此它们被称为大宗特气，包括Y-钢瓶（450L），T-钢瓶（980L），集装格（940L），ISO罐（22,500L），鱼雷车（13,400L）等。特种气体管道需要选用适合的材料，如不锈钢、玻璃钢等，以确保管道的密封性和耐腐蚀性。特气管道安装解决方案

这些工厂的特种气体的供给，除了普通钢瓶（50L及以下）包装的特种气体外，还有多种类的特种气体都普遍采用大包装容器，由此它们被称为大宗特气，包括Y-钢瓶（450L），T-钢瓶（980L），集装格（940L），ISO罐（22,500L），鱼雷车（13,400L）等。大宗特气供应系统（BSGS）采用全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空；多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断；专门使用氮气吹扫起源等等。特种气体采用单独气源，多用点采用VMB或VMP分路供应，VMB或VMP采用支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空等。由于BSGS气源总量大，多采用单独的气体房，单独的抽风系统特气管道安装解决方案管道切割时使用不锈钢专门使用切割器缓慢进行切割，操作时保持切面直度(90°±0.5)。

工艺原理 采用水平15°倾斜摆放姿势进行加工，顺管内介质流向高纯氮气（99.9999%）进行吹扫，不锈钢弹簧填充双层管夹层后用专门使用弯管装置进行弯管加工，双层管道内外充纯氩（99.9999%）保护的全自动轨道氩弧焊连接和柔性金属垫片端面密封连接，结合氦气检漏的工艺原理，保证内外层管道洁净度、密闭性、弯管质量以及管道焊接安装质量。3 加工安装操作要点， 洁净区域管制 现场设置三段预制加工洁净区域，建立临时洁净室，要求净化等级不低于9级，确保管件加工的洁净度，进入洁净室的人员必须穿戴洁服、洁净帽、洁净鞋、洁净手套。

管道、管件和阀门进场验收应符合下列规定：1 在非洁净室全数目测检查管道外包装，不得有破损、变形；2 检查合格的管道、管件及阀门搬入洁净室前，应在缓冲间(前室)去除外包装薄膜；搬入洁净室后，应按种类、规格分别存放在洁净室的货架上，不得直接放在地面上。洁净室的洁净度宜优于或等于7级(0. 5µm)；3 进场的管道、管件和阀门应有产品规格、型号、合格证、材质证明、使用说明书、检验报告。气瓶柜与气瓶架的安装：1气瓶柜和气瓶架应按设计要求定位。2气瓶柜气瓶架就位找平、找正后，应固定牢固。3气瓶柜和气瓶架的垂直度偏差不应大于1.5%成列盘面的垂直度偏差不应大于5mm。4 气瓶柜的安装应确保柜门开关自如，不得扭曲变形、关闭不严。管道系统不仅看起来整洁规整，而且可以节省更多的家庭空间，为家庭的居室带来更add的美观和舒适感。

半导体及太阳能薄膜工艺会使用到超高纯硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、高纯氨NH3等特气，这些气体具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性，但却是精密半导体电子元器件、新能源光电产品制造的必不可少的重要原料。生产中若发生气体泄漏，将会造成非常严重的产品质量和人身伤亡事故。为确保安全，此类高纯特气的输送管道采用不锈钢双层管道。该管道施工时，对作业环境洁净度、管道内外管材的洁净度、焊接和安装质量的要求都非常高。本篇就超高纯特气双层管道的施工提出几点建议供同行参考。夏季施工预留：5-10mm;冬季施工预留：15-20mm 。特气管道安装解决方案

管道切割、预制均在洁净环境进行，同时确保管道切割前表面无有害痕迹、破损。特气管道安装解决方案

管道、管件和阀门应在洁净室内进行内包装开封检查，并应符合下列规定：1 管道、管件、阀门应有单独的内包装，端口均应装有防尘帽；2 管道、管件、阀门检查后应恢复内包装及防尘帽；3 管道外观检查应按全数的5%以上抽查，规格尺寸、壁厚，圆度、端面平整度等应符合产品的技术要求；4 材质检查宜采用便携式金属光谱分析仪检查，每批每种规格应随机抽查5%以上，且不得少于1件，其化学成分应符合材质质量保证书及相关要求；5 管道、管件内表面粗糙度应采用样品比较法在管道两端检查，每批每种规格应随机抽查5％以上，且不得少于1件，有不合格时应加倍抽查；6 管道内壁平均表面粗糙度Ra及较大表面糙度Rmax应满足设计文件的要求。特气管道安装解决方案