辅助系统的设计，气体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换、或其他原因、需要对其重新进行高压气密性试验和氦检，气体的置换也需要用到高压氮气或氦气，所以特气柜需设计接入高压惰性气体氦气或氮气。一般选择在特气房设置一台或多台惰性气体柜。其连接形式为：特气柜中装有各种气体驱动阀，主管路在送气前必须进行管道的吹扫和空气的置换，所以还需辅助有高纯氮气和洁净压缩空气系统。氮气系统采用SUS316L-EP管，CDA可采用SUS316L-BA管，其管径根据气柜的多少来计算决定。特气管道系统的所有管道的支吊架必须符合规范及设计要求，并按照标准图集中的要求制作与安装。常州实验室特气管道安装连接图
特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式，弯管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此对管道施工人员要进行各种角度下的弯管培训，对焊工也必须进行焊接程序的培训，熟悉各种焊接参数的调整，然后管工和焊工都必须经过考试，由专门的质量管理人员确认合格后，发给作业许可证后方可施工，这也是QA/QC保证程序的组成部分。也是施工程序中人员培训的重点。一个工艺技术先进的大规模集成电路工厂的硅片制造过程中，全部工艺大约要使用50种不同的电子气体。其中大部分为特种气体。本文就特种气体系统的设计与施工方面做一个简单描述。常州实验室特气管道安装连接图施工中，可通过设计使用弯管装置，现场制作弯头，解决此加工问题。
特气管道工程安装需要注意以下几点，首先一定要找专业的安装公司，公司必须是拥有建筑安全施工资质和气体管道施工资质的，比如沃飞科技，这就是一家资质非常齐全的公司，另外要找一个能提供系统帮助的公司，包括一定要有良好的售后服务，保证后期出现任何问题都有责任方。为了在电子工厂特种气体系统工程设计和施工中正确贯彻国家法律、法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保护人身和财产安全，做到安全适用、技术先进，经济合理。为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计、施工及验收中贯彻国家现行法律、法规，满足产品生产要求，确保人身和财产安全、做到安全适用、技术先进、保护环境、节约能源、经济合理，制定本标准。
特气管道工程安装要求，1、特气管道工程要选择一家经验丰富的供气气体系统公司，2、施工和验收要参照规范，特气管道工程施工注意事项：1、不选择半路进入行业，没有过多的经验的公司；2、不使用的材料不合格，工艺落后，施工和验收不按规定标准；3、避免气体管道工程系统设计不到位；4、避免出现管道经常出现问题，影响研究和工作进度。5、注意特殊气体泄漏会引起中毒或爆裂的危险。选择特气管道工程安装公司的标准：1、十几年行业经验，技术的积累；2、对特气管道工程设计考虑的比较全方面；3、使用材料进口，标准高；4、施工技艺先进，验收严格按照规定标准；5、秉承“安全至上”的观念。选择特气管道工程安装公司的标准：对特气管道工程设计考虑的比较全方面。
以下是特气管道安装的一般步骤：1. 规划和设计：在安装特气管道之前，需要对整个系统进行规划和设计。这包括确定管道的路线、长度、直径、材质等，以及选择适当的气体控制设备和监测设备。2. 材料选择：特气管道的材质需要根据输送的气体种类和压力等因素进行选择。一般来说，不锈钢、铜、铝等材料是常用的特气管道材料。3. 管道加工和安装：特气管道的加工和安装需要遵循相关的标准和规范，以确保管道的密封性和可靠性。在安装过程中，需要注意避免管道受到污染和损坏。焊接时，按要求进行内充氩保护，控制氩气流量大小。常州实验室特气管道安装连接图
管道安装时按不同的管径和要求设置管卡或吊架,要求位置准确，埋设平整。常州实验室特气管道安装连接图
特气管道工程安装注意事项有哪些？1、管道支架制作安装采用机械切割，台钻钻孔，严禁气割。支吊架要满焊，安装采用预埋板或满足荷载要求的膨胀螺栓固定，确保牢固可靠。所有支吊架安装前必须做除锈、涂刷两遍防锈漆的防腐处理。2、管道连接过程中按图纸要求设伸缩节，设计无要求时，按照规范要求设置，管端伸入伸缩节应预留伸缩间隙：夏季施工预留：5-10mm;冬季施工预留：15-20mm 。管材或管件在粘合前应将承口和插口的粘结面擦拭干净，确保无异物。当表面粘有油污时，应采用清洁剂擦净。常州实验室特气管道安装连接图