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在单向流洁净室中，洁净气流不是一股或几股，而是充满整个房间截面，所以这种洁净室不依靠洁净气流对室内脏空气的混合稀释作用，而是依靠在干净的气流上推出效果。室内脏空气沿整个断面排到室外，达到净化室内空气的目的。因此，前联邦德国有人将单向流洁净室的气流称为“塞流”、“塞流”，前苏联则称其为“挤压弱气流”。洁净的空气就像一个空气活塞，沿着房间的“气缸”向前(向下)推动，使尘粒只能向前(向下)移动而不能返回，在单流洁净室和单流净化设备中，逆向气流可以沿着墙壁和两个过滤器的重叠部分下方出现。这种气流会将污染从底部传送到顶部，然后向下传送，破坏上述“塞流”状态，危害极大。对于有开口与外界相连的局部净化设备，如洁净工作台，这种气流会导致外部污染气流。在设计中，必须减少滤框占用的无效面积，减少空间的壁面。尽可能靠近过滤器的有效风截面。单向流气流的净化原理是活塞和挤压原理，把尘埃粒子从一端向另一端挤压出去，用洁净气流置换污染气流。河北电子厂房环境检测认真负责

在单向流洁净室内，干净气流不是一股或几股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不是靠洁净气流对室内脏空气的掺混稀释作用，而是靠洁净气流推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外，达到净化室内空气的目的。所以，前联邦德国有人称单向流洁净室的气流为“活塞流”、“平推流”前苏联称之为“被挤压的弱空气射流”。干净空气就好比一个空气活塞，沿着房间这个“气缸”，向前（下）推进，而使尘粒只能前（下）进，没有返回，把原有的含尘浓度高的空气挤压出房间。河北电子厂房环境检测认真负责在生产工艺平面区划时尽可能把相同级别的洁净房间布置在一起，把洁净度要求高的工序设置在上风侧。

5.1.1洁净厂房的建筑平面和空间布局应具有适当的灵活性。主体结构宜采用大空间及大跨度柱网，不宜采用内墙承重体系。5.1.2洁净厂房围护结构的材料选型应符合保温、隔热、防火、防潮、少产尘等要求。5.1.3洁净厂房主体结构的耐久性应与室内装备和装修水平相协调，并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能。厂房变形缝不宜穿越洁净区。5.1.4送、回风管和其他管线暗敷时，应设置技术夹层、技术夹道或地沟等。穿越楼层的竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖井，其形式、尺寸和构造应符合风道、管线的安装、检修和防火要求。5.1.5对兼有一般生产和洁净生产的综合性厂房的平面布局和构造处理，应避免人流、物流运输及防火方面对洁净生产带来不利的影响。

4.5.1有微振控制要求的洁净厂房设计应符合下列规定：1在结构选型、隔振缝设置、壁板与地面、壁板与顶棚连接处，应按微振控制要求设计。2洁净室与周围辅助性站房内有强烈振动的设备及连接管道应采取主动隔振措施。3应测定洁净厂房内、外各类振源对洁净厂房精密设备、精密仪器仪表位置处的综合振动影响，以决定是否采取被动隔振措施。4.5.2精密设备、精密仪器仪表的容许振动值应由生产工艺和设备制造部门提供。当生产工艺和设备制造部门难以提供容许振动值时，可按现行国家标准《隔振设计规范》GB50463的有关规定执行。洁净室检测中发现的改进机会应纳入持续改进计划中。

14.2.1洁净厂房的平面、空间布置时，应根据噪声控制要求布置，宜集的的中布置发声设备。14.2.2洁净室（区）内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声值超过规定的设备，应根据设备的特性、外形尺寸等因素，采取降低声源噪声的隔声设施。洁净室的围护结构应具有良好的隔声性能。14.2.3净化空调系统、公用动力设备和输送管道等洁净厂房的主要噪声源，应采取隔声、消声、隔振等噪声控制措施。空调机房、动力站房宜采取下列措施。洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气。河北电子厂房环境检测认真负责

洁净室(区)的日常运行和维护管理是保障其受控状态持续的重要条件。河北电子厂房环境检测认真负责

相对湿度在40%至60%的范围同样也是人类感觉舒适的适度范围。湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤皲裂，呼吸道不适以及情感上的不快。高湿度实际上减小了洁净室表面的静电荷积累──这是人们希望的结果。较低的湿度比较适合电荷的积累并成为潜在的具有破坏性的静电释放源。当相对湿度超过50%时，静电荷开始迅速消散，但是当相对湿度小于30%时，它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中，半导体洁净室一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。河北电子厂房环境检测认真负责