压差式标准漏孔在此是指压差检漏系统(泄漏仪)中用来模拟被检产品泄漏的漏孔,它的使用方式和正压漏孔相近,只是一般漏率比较大,在(0.1-1000)SCCM。漏率单位一般采用SCCM或SLM。介质也一般为空气或氮气。该类型的标准漏孔主要配合检漏仪使用,漏率值得大小主要由被检产品的漏率指标确定,是产品检漏的定量标准和检漏的保证。在国内许多省市级计量院所和检漏仪生产厂家已经长期开展此项校准活动,但该产品的校准需要考虑流量,大气压力,压力,气体特性和漏率综合知识和标准,到目前为止还没有一家能够比较全,严谨地开展过研究。对于许多企业标准和地方标准,错误和疏漏的方面很多,需要大量的工作才能够完成该项工作。标准漏孔连接接口有多种规格可供选择。苏州可调漏孔参数
标准漏孔用于来校准腔体检漏设备,以确保芯片生产环境的高真空度,避免微小的泄漏影响产品的质量,是电子产业质量控制的重要工具。标准漏孔的使用寿命与使用频率、于工作环境密切相关,频繁的在高温、腐蚀性气体中使用起来会缩短其寿命,只要定期维护和校准可延长其有效的使用时间。正确使用标准漏孔是保证检漏工作质量的前提,操作人员需经过技术培训,熟悉其性能、特点、流程和操作规范,避免因误操作导致的计量误差或设备损坏。苏州可调漏孔参数标准漏孔可用于教学实验中的演示环节。
开放式气体标准漏孔,可同时指定压力、漏率等,开放式标准漏孔不带气室或气体存储装置,需外接气源,适用于任何检漏仪及检漏系统。采用先进的微通道技术,具有响应快、温飘小(玻璃渗透为3%/℃,通道型为0.2%/℃),以及支持小漏率、不易堵塞之优点,且漏率测试范围广,有无储存气罐都可以使用,结构坚固,不易损,稳定性好。作为标准漏孔,真实模拟工况;各种气体检测仪校准,包括氦质谱检漏仪,氢气检漏仪,冷媒检漏仪、SF6检漏仪,气密性检漏仪等
标准漏孔的漏率换算:1mbar.L/sec=0.1Pa.m3/sec=1/标准体积)=59.23scc/min、1mbar.L/sec≈1cc/sec,直观的来说,1mbar.L/sec≈1秒钟泄漏1cc标准体积气体、23℃,某气体分子量=m,它的泄漏率为Xmbar.L/s,换算成克/年见如下公式:Xmbar.L/s=(X*365*86400)/(22.413*1000)*(273/(273+23))*m*(1/1.013)(克/年),漏孔压力:一般分为表压(相对大气压的压差)和绝压(相对真空的压差)。漏孔绝压:1个大气压+表压。标准漏孔对使用环境的真空度有要求。
JJF1946-2022《卤素检漏仪校准规范》,规范条文解释:本规范适用于可检漏率为(1.0×10-6~1.0×10-4)Pa.m3/s的卤素检漏仪的校准,其他制冷剂的检漏仪也可以参考本规范执行。解释:与目前卤素检漏仪校准用标准器(卤素标准漏孔)的可溯源范围相适应,待发布的正压漏孔校准规范使用范围(10-6~10-4)Pa.m3/s,与检漏仪的实际测量范围(1-10)g/a对应。测量标准:测量标准为提供某种特定卤素气体的已知漏率的卤素标准漏孔,如表所示,卤素标准漏孔应具有定位槽以便于检漏仪定位。解释:通常配备多个标准漏孔,一个标准漏孔对应一种示漏气体,根据被校检漏仪选择相应的标准漏孔。标准漏孔在制冷设备检漏工作中很关键 。苏州可调漏孔参数
标准漏孔使用后需清洁并妥善保存备用 。苏州可调漏孔参数
正压漏率与真空漏率:正压漏率是指泄漏到大气的漏率,真空漏率是泄漏到真空的漏率。漏孔漏率包含分子流与粘滞流,其中分子流与压力差成正比,粘滞流与压力平方差成正比。一般来说,对于同一个漏孔,内部压力>10Bar,正压漏率≈真空漏率。漏孔压力与漏率衰减计算:10-1-10-6mbar.L/sec的漏孔,漏率与压力平方成近似正比,压力衰减,漏率也会衰减。计算时假定一段时间△t漏率不变,例如1个160cc的气室,充气压力106bar,起始漏率=2.80E-5mbar.L/s。我们取1天为△t,以计算1天衰减后的压力和漏率(同样△t可以去1h,1min,或ls,乃至更小,但计算量线性增加)再以该计算的漏率计算第2天衰减后的压力和漏率,以此类推,可以计算1年或某个时间的压力衰减及漏率。苏州可调漏孔参数