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深圳NEODRY 36E干式真空泵维修点
KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介（包括对功能的基本介绍）
SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸： W:400×H:905×L:760ＭＭ，MAX排气速度10000L/min，立式螺杆设计排气线路短，不容易发生卡死。转子材质为镍合金，防腐蚀能力优越,使用时内部温度高，适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。
系统组成：
1) 罗茨泵 (SDE120TX) 1
2) 机械增压泵(KMB603) 1
3) 电源盒 1
4) 操作手柄1
5) 连接件 1
6) 消音器(SR-19) 1
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干式真空泵的无油环保特点成为了干式真空泵的主要卖点。深圳NEODRY 36E干式真空泵维修点
日本KASHIYAMA SDL12E50/60干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数：
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式样 |
SDL12E50/60 |
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MAX排气速度（L/min） |
25000 |
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达到压力（Pa） |
0.8 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V，380-480V |
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外型尺寸WHL [mm] |
520×1050×1020 |
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重量（kg） |
645 |
二、 配置清单：
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDL12E50/60主机一台 |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
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4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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6 |
消音器（原厂件，选配） |
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未包含 |
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7 |
入口过滤器（选配，非原厂件） |
|
未包含 |
设备原产地：日本
日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。
深圳NEODRY 36E干式真空泵维修点那么干式真空泵的优势都有哪些呢？
通过对内表面温度的控制以满足新的ATEX防爆条例的要求。由于能够维持小的内部温度，从而能控制泵送气体的冷凝和由于腐蚀可能造成的损坏效应；轻松的输送腐蚀性介质，安全的输送易燃易爆气体。
1）清洁环保；
2）真空度高；
3）防腐设计（**技术）；
4）可抽除可凝性气体及少量粉尘气体（**技术）；
5）特殊轴封设计，杜绝被抽介质与润滑系统互相污染；
6）防过载设计；
7）运转平稳；
8）高标准配置；
9）附件配置齐全
10）高质量健全的零配件供应。
但是由于干式真空泵运行时内部存在苛刻的热条件，所以使用上述耐腐蚀材料来处理腐蚀性介质对无油干式真空泵是不适合的。此外使用铁剂金属高镀镍涂层材质，一旦出现细微的裂纹就会导致材料产生迅速的电化学腐蚀。那么是不是只要特殊设计能可靠地控制温度的设备把腐蚀性介质保持在气相状态，没有离子形式存在是不是就不存在腐蚀了？答案是肯定的。该泵应用其自身先进的冷却系统，可以调整泵腔内及转子的温度，使之没有离子形式存在，全都气化，从而避免腐蚀。所以此螺杆干式真空泵转子采用不锈钢，不做任何涂层，降低了成本，增加了安全性能。买日本KASHIYAMA干式真空泵选择浚和（上海）仪器有限公司。
干式机械真空泵（又简称干式机械泵）是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。
2013年止，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及真空应用领域的扩大，原有的机械真空泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响产品的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使真空泵内的介质严重变质，使泵不能正常工作。 干式真空泵的好处您了解多少呢？深圳NEODRY 36E干式真空泵维修点
4 半导体、液晶行业用干式真空泵-KASHIYAMA.深圳NEODRY 36E干式真空泵维修点
评价爆裂有两个指标：可燃物质的闪点及燃点。因为螺杆干式真空泵中的两个螺杆在泵体内没有摩擦，所以不会产生电火花，就没有了火源，另外其通过自身的冷却系统降低泵内温度使被抽物质的燃点难以达到，从而杜绝爆裂！泵内既无与外界之间的轴封又无泵腔与冷却循环水回路之间的密封，因此可以抽除有害介质。绝大部分泵的故障都是由轴封处磨损造成的,而此泵每个轴只有一处无接触密封，不存在由轴封损伤带来的停机，以及轴封泄露造成齿轮箱里的油被抽到泵里，造成真空环境及排气口污染。深圳NEODRY 36E干式真空泵维修点
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