干式螺杆真空泵选型
干式螺杆真空泵在其工作压力下,应能排走真空泵设备工艺过程中产生的全部气体量。
每种泵都有一定的工作压力范围,因而,泵的工作点应该选择在这个范围之内,而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。
干式螺杆真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。
选择真空机组:
了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸汽,有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。选择干式螺杆真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸汽、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
干式螺杆真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
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日本KASHIYAMAMU600X干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:MU600XMAX排气速度(L/min):10000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V消费电力(KW):0.6KW外型尺寸WHL[mm]:230×520×530质量【kg】:120kg二、配置清单:序号描述数量备注1MU600X主机一台,电压AC三相200V1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本无锡NEODRY 36E干式真空泵报价干式真空泵,就选浚和(上海)仪器有限公司,让您满意,欢迎新老客户来电!
日本KASHIYAMASDE1203X干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:SDE1203XMAX排气速度(L/min):20000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V,380-480V消费电力(KW):2.0KW外型尺寸WHL[mm]:400×905×900二、配置清单:序号描述数量备注1SDE1203X主机一台1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(GasBallast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
日本KASHIYAMA干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:1)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;2)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;3)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;4)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。5)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求.干式真空泵,就选浚和(上海)仪器有限公司,让您满意,有想法可以来我司咨询!
日本KASHIYAMA SDE60N20干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
式样:SDE60N20
MAX排气速度(L/min):100000
达到压力(Pa):0.5
电源电压:3相 AC200-220V,380-480V
消费电力(KW):3.7KW
外型尺寸WHL [mm]:515×950×1080
二、 配置清单:
序号
描述
数量
备注
1
SDE60N20主机一台
1
标配
2
电源线
1
标配
3
冷却水管路接头
1
标配
4
操作手柄
1
标配
5
产品合格证
1
标配
6
消音器(原厂件,选配)
未包含
7
入口过滤器(选配,非原厂件)
未包含
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:
1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。
2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。
3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。
4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
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日本KASHIYAMANEODRY36E技术参数以及配置清单一、NEODRY36E技术参数:式样:NEODRY36EZUI大排气速度(L/min):600达到压力(Pa):1电源电压:单相AC200-220V外型尺寸WHL[mm]:298×275×475吸气口:KF40噪声:≤60DB排气口:KF25质量【kg】:54kg二、NEODRY36E配置清单:序号描述数量备注1NEODRY36E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选1标配2电源线1标配3产品合格证1标配4气振阀(选配)未包含5消音器(选配)未包含6入口过滤器(选配,非原厂件)未包含无锡NEODRY 36E干式真空泵报价
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