日本KASHIYAMAMU600P/H干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:MU600P/HMAX排气速度(L/min):10000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V消费电力(KW):0.95KW外型尺寸WHL[mm]:350×520×630质量【kg】:130kg二、配置清单:序号描述数量备注1MU600P/H主机一台,电压AC三相200V1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配 4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本干式真空泵,就选浚和(上海)仪器有限公司,让您满意,欢迎您的来电!江苏精密干式真空泵电话
日本KASHIYAMAMU1218X干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:MU1218XMAX排气速度(L/min):20000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V消费电力(KW):O.9KW外型尺寸WHL[mm]:870×380×751质量【kg】:270kg二、配置清单:序号描述数量备注1MU1218X主机一台,电压AC三相200V1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配 4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本江苏精密干式真空泵电话干式真空泵,就选浚和(上海)仪器有限公司,用户的信赖之选。
日本KASHIYAMASDE303TX干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:SDE303TXMAX排气速度(L/min):5000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V,380-480V外型尺寸WHL[mm]:400×905×760二、配置清单:序号描述数量备注1SDE303TX主机一台1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(GasBallast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;4)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。5)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;干式真空泵,就选浚和(上海)仪器有限公司,用户的信赖之选,有想法可以来我司咨询!
干式真空泵与油泵的性能比较项目NeoDrySeries干式真空泵油泵特征○・不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。△・使用油密封得不到干净的真空。・排气时会在排气口产生油雾。・根据使用情况,密封用油中会混入水蒸气·溶剂使油质变差影响性能。・泵的周围会因油雾污染环境。维护性○・基本上免维护△・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。(根据使用情况,需要频繁更换)维护成本○・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少,O/H费用便宜。・抽 气部分无物理接触,无因磨损更换部件。△・油需定期更换产生费用。(使用氟油的情况费用较高)・需要更换叶片及阀门。(因叶片为接触式)初始投资成本△・与油泵相比相对较高。○・与干泵相比较便宜。配套设备费用○・不需要油雾凝气阀△・需要油雾凝气阀。・需要油盘。浚和(上海)仪器有限公司是一家专业提供干式真空泵的公司,有想法的不要错过哦!江苏精密干式真空泵电话
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日本KASHIYAMASDE60N20干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:SDE60N20MAX排气速度(L/min):100000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V,380-480V消费电力(KW):3.7KW外型尺寸WHL[mm]:515×950×1080二、配置 清单:序号描述数量备注1SDE60N20主机一台1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(GasBallast)结构,可以排出所吸取的水蒸气江苏精密干式真空泵电话