真空镀膜机是一种先进的表面处理技术设备,主要用于在各种材料表面形成一层或多层薄膜,以赋予基材新的性能,如提高耐磨性、耐腐蚀性、光学性能等。以下是对真空镀膜机的详细介绍:
工作原理:
真空镀膜机的工作原理主要基于气相沉积(PVD)技术,涉及真空技术、热蒸发、溅射等多种物理过程。其关键步骤包括:
真空环境的创建:通过抽气系统(如机械泵、扩散泵等)将真空室内的气体抽出,形成高真空环境。高真空环境可以减少空气分子对蒸发的膜体分子的碰撞,使结晶体细密光亮。 设备集成膜厚在线监测系统,实时反馈数据以优化工艺参数。浙江金属涂层真空镀膜机哪家好

真空腔体功能:真空腔体是整个设备的主要部分,用于容纳待镀膜物体和镀膜材料。材料:腔体通常由不锈钢材料制作,以确保其不生锈、坚实耐用。规格:根据加工产品的要求,真空腔的大小会有所不同,目前应用较多的规格有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等。连接阀:真空腔体的各部分配备有连接阀,用于连接各抽气泵浦。
抽气系统功能:抽气系统用于将腔体中的气体抽出,以建立所需的高真空环境。组成:主要由机械泵、增压泵(罗茨泵)、油扩散泵等组成,有时还包括低温冷阱和Polycold等辅助设备。工作原理:机械泵先将真空腔抽至小于2.0×10^-2Pa左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提。之后,当扩散泵抽真空腔时,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。 浙江金属涂层真空镀膜机哪家好真空镀膜机配备在线膜厚监测系统,可精确控制纳米级薄膜沉积量。

蒸发镀膜原理:
气相沉积 - PVD 的一种)蒸发镀膜是真空镀膜机常见的工作方式之一。在蒸发源(如电阻加热蒸发源、电子束加热蒸发源等)中放置镀膜材料。以电阻加热蒸发源为例,当电流通过高电阻的加热丝(如钨丝)时,加热丝会产生热量。如果将镀膜材料放置在加热丝上或加热丝附近,镀膜材料会吸收热量,当达到其熔点和沸点时,就会从固态转变为气态。例如,在镀金属薄膜(如铝膜)时,铝的熔点为 660℃左右。当加热丝使铝材料温度升高到沸点后,铝原子会以蒸汽的形式逸出。这些气态的铝原子在真空环境下,以直线的方式向各个方向扩散,当碰到基底(如玻璃、塑料等)表面时,由于基底表面的温度较低,铝原子会在基底表面凝结,并且逐渐堆积形成一层连续的薄膜。
工艺灵活性高:
可实现多层镀膜:可以根据不同的需求,在同一基底上依次沉积多种不同材料的薄膜,形成多层膜结构,从而实现更加复杂的功能组合。例如在光学镜片上通过镀制多层不同折射率的薄膜,可实现增透、减反、分光等多种光学功能。
可精确控制镀膜参数:操作人员可以根据具体的镀膜材料、基底特性和产品要求,精确地调节镀膜过程中的各项参数,如蒸发功率、溅射功率、气体流量、沉积时间等,从而实现对薄膜的微观结构、化学成分、物理性能等的精细调控,满足各种高精度、高性能的镀膜需求。 电子束蒸发镀膜机适用于高熔点金属及陶瓷材料的镀制。

镀膜过程中的正确操作:
合理设置镀膜参数:根据镀膜材料、基底材料和镀膜要求,合理设置镀膜参数,如蒸发功率、溅射功率、气体流量、沉积时间等。避免设置过高的参数,导致设备过度工作。例如,过高的蒸发功率可能使蒸发源材料过快蒸发,不仅浪费材料,还可能使蒸发源过快损耗,同时也可能导致膜层质量下降,如出现膜层厚度不均匀、有颗粒等问题。
确保工件放置正确:将工件正确放置在夹具或工件架上,确保工件固定牢固,且位置合适。如果工件放置不当,可能会在镀膜过程中发生晃动或位移,导致膜层不均匀,同时也可能损坏设备内部的部件,如碰撞到蒸发源或溅射靶。 真空镀膜机在汽车后视镜制造中,可制备高反射率银基多层增透膜。浙江金属涂层真空镀膜机哪家好
工业级真空镀膜机配备自动换靶系统,可实现多元合金膜的连续制备。浙江金属涂层真空镀膜机哪家好
真空镀膜机具有以下优点:
环保性好无污染物排放:真空镀膜过程在真空环境中进行,不需要使用大量的化学溶液,不会像传统电镀等工艺那样产生大量的废液、废气等污染物,对环境十分友好,符合现代绿色生产的要求。
能源消耗低:相较于一些传统镀膜方法,真空镀膜机在运行过程中的能源消耗相对较低。例如,在真空蒸发镀膜中,通过精确控制加热功率和时间,能够高效地将膜材蒸发并沉积在基底上,减少了不必要的能源浪费。
安全性高对操作人员危害小:由于不需要使用大量有毒有害的化学药品,也不存在电镀过程中的强电、强酸等危险因素,因此在正常操作条件下,真空镀膜机对操作人员的健康和安全威胁较小。 浙江金属涂层真空镀膜机哪家好