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高精度与高效率：随着半导体制造工艺的不断进步，对湿法刻蚀设备的精度和效率要求也越来越高。未来，湿法刻蚀设备将更加注重提升刻蚀精度，减少线宽粗糙度（LWR）和关键尺寸变异（CDU），同时提高刻蚀速率，以满足先进制程节点的需求。多材料处理能力：随着半导体和光伏材料中新型材料的不断涌现，湿法刻蚀设备需要具备更强的多材料处理能力。这包括开发新型蚀刻剂、优化刻蚀工艺参数以及提升设备对不同材料的适应性，以实现更多的材料去除选择性和更精确的刻蚀控制。航空发动机叶片采用异质结涂层，耐温能力提升至1200℃。上海自动化异质结吸杂设备

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