您好,欢迎访问

商机详情 -

压电陶瓷微位移驱动

来源: 发布时间:2024年03月09日

双轴压电微扫平台带有一个中孔,用于安装透射镜,是一款面向航天、航空、兵器工业等应用方向产品,采用开环前馈控制,具有结构紧凑、体积小、运动范围大、成本低等特点。主要用于动态稳像领域,在移动平台上,根据陀螺仪反馈回的速度和加速度信息,在拍摄时高速沿移动平台运动方向反向位移,用以平衡运动状态造成的拖影。双轴压电微扫平台由叠堆型压电陶瓷执行器提供驱动力,经过位移放大机构,柔性机构推动透镜进行2X2扫描,由于叠堆型压电陶瓷执行器响应速度快,体积小,出力大刚度高,可以根据控制信号实现毫秒级快速定位响应。 纳米定位台是一个压电扫描柔性引导平台。压电陶瓷微位移驱动

纵观纳米测量技术发展的历程,它的研究主要向两个方向发展:一是在传统的测量方法基础上,应用先进的测试仪器解决应用物理和微细加工中的纳米测量问题,分析各种测试技术,提出改进的措施或新的测试方法;二是发展建立在新概念基础上的测量技术,利用微观物理、量子物理中的研究成果,将其应用于测量系统中,它将成为未来纳米测量的发展趋向。但纳米测量中也存在一些问题限制了它的发展。建立相应的纳米测量环境一直是实现纳米测量亟待解决的问题之一,而且在不同的测量方法中需要的纳米测量环境也是不同的。同时,对纳米材料和纳米器件的研究和发展来说,表征和检测起着至关重要的作用。由于人们对纳米材料和器件的许多基本特征、结构和相互作用了解得还不很充分,使其在设计和制造中存在许多的盲目性,现有的测量表征技术就存在着许多问题。此外,由于纳米材料和器件的特征长度很小,测量时产生很大扰动,以至产生的信息并不能完全显示其本身特性。这些都是限制纳米测量技术通用化和应用化的瓶颈,因此,纳米尺度下的测量无论是在理论上,还是在技术和设备上都需要深入研究和发展。 压电陶瓷微位移驱动压电纳米定位台配备有机械固定安装接口与负载安装接口。

压电纳米位移台的结构压电纳米定位台具有移动面,是通过带有柔性铰链的机械结构将压电陶瓷产生的位移及出力等进行输出,分直驱与放大两种结构。以压电陶瓷作为驱动源,结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台,驱动形式包含压电陶瓷直驱机构式、放大机构式。具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可实现纳米级分辨率及定位精度且具有较高的可靠性,在精密定位领域中发挥着主要作用。

压电纳米定位台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用,可集成于各类高精密装备,为其提供纳米级运动控制,且应用非常广,例如显微扫描、光路调整、纳米操控技术、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等。随着科技不断进步,精密定位技术对于定位系统的行程、负载、精度要求也不断攀升。压电纳米定位台提高数据存储密度及可靠性此外,压电纳米定位台还可以在非易失性存储器件中提高数据存储的密度和可靠性。在固态硬盘和闪存存储器件中,压电纳米定位台可以控制存储单元的精确位置,大幅度提高存储单元的密度,同时减少了数据存储的错误率。 测试校准系统是将纳米位移系统内部的“标尺”与米定义联系起来,实现量值的溯源。

多轴集成一体结构,使串扰小。纳动纳米-本系列多数产品X、XY和XYZ采用集成并联结构设计,可以抑制两个或多个单轴堆叠组合时容易出现的非正交性。此外,每个轴的传感器被固定到相同的基准,并且不断地监测和校正移动台偏离每个正交轴的运动。复合轴类型的XY和XYZ轴位移台的压电陶瓷元件布置在两侧并具有对称的开口。换句话说,其中一个轴由两个左右压电陶瓷元件支撑和驱动的结构(并联结构),即使同时驱动两个和三个轴也可以获得稳定的操作。 光纤对接错位,会导致光传输受阻或端面局部受热等问题。压电陶瓷微位移驱动

由于纳米位移系统自身具有闭环控制,能产生稳定的、重复的运动。压电陶瓷微位移驱动

纳米定位平台的高级数字控制至关重要。尤为明显的是,它可根据速度、分辨率和有效负载精确调整系统的性能特征,同时消除不必要的共振频率影响。使用定制的软件算法和陷波滤波器的组合来实现这一性能,后者能够在狭义的频率范围内衰减信号。因此,可以更大限度地减少接近共振频率的频率影响,有效地降低第二频率对动态定位的影响。算法模块工具箱可优化平台性能。速度和加速度控制算法能够使平台比单纯依赖位置控制的设备实现更高级的操作带宽驱动。虽然后者采用PID控制位置,但无法提供足够的精度来控制高速运动。如果需要在移动平台时进行控制以产生精确的波形或斜坡,则需要更多的控制。轨迹控制能够使平台轴快速移动到几纳米以内的精确位置,而不会引起平台共振。通过使用这些控制方法,可以实现超过共振频率50%的带宽,而经典PID控制的带宽只有10%左右。 压电陶瓷微位移驱动

标签: 平移台