洁净厂房的悬浮粒子监测采用激光散射式粒子计数器进行。粒子计数器的工作原理是当空气中的粒子通过激光光束时产生散射光,散射光强度与粒子大小成正比,光电探测器将光信号转换为电信号并计算粒子数量和粒径分布。监...