结构组成 MEMS电容真空计主要由真空规管和测量电路两部分组成。真空规管包含弹性薄膜、上下电极、支撑结构等组件。测量电路则用于对电容变化进行处理,得到真空度的值。此外,MEMS电容真空计还可...
真空计的校准是真空测量的基础,也是研究和发展真空测量的有力工具。定期校准可以确保真空计的测量精度和稳定性。同时,正确的使用和维护也是延长真空计使用寿命和保持其性能的关键。综上所述,真空计是一种精密...