并均匀地到达位于腔室c内的半导体晶圆200。在实际应用中,半导体晶圆干燥设备100包含多个微波产生器130。一般而言,微波...
在步骤10010中,将超声波或兆声波装置置于晶圆的上表面附近。在步骤10020中,将清洗液,可以是化学液或掺了气体的水喷射...
位于上侧所述夹块49固设有两个前后对称的卡扣61,所述切割腔27的前侧固设有玻璃窗66,通过所述卡扣61,可使所述夹块49...
所述切割腔靠下位置向前开口设置,所述切割腔的底面上前后滑动设有接收箱,所述接收箱内设有开口向上的接收腔,所述接收腔与所述切...
本发明涉及半导体加工制造领域,尤其涉及一种半导体晶圆表面缺陷的快速超高分辨检测系统。背景技术:半导体缺陷检测系统是半导体器...
因为清洗液的温度远低于气体和/或蒸汽温度。在一些实施例中,直流输出的振幅,可以是正的也可以是负的,可以大于(图片中未显示)...
中芯国际中芯国际目前是国内规模比较大,制造工艺超前的晶圆制造厂。去年10月,中芯国际连续宣布新厂投资计划,在上海和深圳...