一种闪存htol测试方法，包括：提供待测闪存，所述闪存包括闪存参考单元和闪存阵列单元；所述闪存参考单元中捕获有空穴；对所述闪存参考单元循环进行编译和擦除，以在所述闪存参考单元中引入电子；对所述闪存进行htol测试，所述引入电子在所述htol测试过程中部分丢失，以对htol测试过程中所述空穴的丢失形成补偿。具体的，待测闪存在同一闪存芯片(die)中的不同区域分布有闪存参考单元和闪存阵列单元，闪存阵列单元用于存储数据，闪存参考单元用于提供参考阈值电压以区分闪存阵列单元的状态。提供的待测闪存在其生产工艺过程中易在闪存参考单元中捕获。引入)空穴，所述空穴在htol测试过程中存在丢失。图2为本发明实施例的闪存参考单元的结构示意图，上海顶策科技有限公司智能一体化HTOL测试机TH801可以为芯片HTOL测试节省更多时间、FA成本。国产HTOL测试机怎么用
20年以上的丰富测试技术积累及运营经验，拥有多项发明专利及软件著作权，上海顶策科技有限公司自成立以来，已经为超过500家半导体公司提供高质量，高效率，低成本，一条龙测试解决方案！可靠性测试事业部提供可靠性测试整体解决方案，包括HTOL、LTOL、双85、HAST等可靠性设备，以及测试方案制定，PCB设计制作，测试试验，满足各类芯片可靠性测试需求。自主研发在线实时单颗监测技术，通过监测数据，可实时发现问题并介入分析，大幅提高HTOL效率，节省更多时间、FA成本，让HTOL问题更容易分析，更有追溯性，让报告更有说服力，下游客户更放心。国产HTOL测试机怎么用上海顶策科技有限公司可靠性测试服务，涵盖模拟，数字，混合信号，SOC，RF等各类芯片的可靠性方案设计。
可靠性测试事业部提供可靠性测试整体解决方案，包括HTOL、LTOL、双85、HAST等可靠性设备，以及测试方案制定，PCB设计制作，测试试验，满足各类芯片可靠性测试需求。自主研发在线实时单颗监测技术；可灵活配置芯片工作状态，并施加信号，非常方便HTOL和Setup；实时监测并记录环境温度，以及每颗芯片电压，电流，频率，寄存器状态等数据，确保芯片处于正常HTOL状态，保证HTOL测试质量；通过监测数据，可实时发现问题并介入分析，大幅提高HTOL效率，节省更多时间、FA成本；全程数据记录，让HTOL问题更容易分析，更有追溯性；有全程HTOL数据记录，让报告更有说服力，下游客户更放心；
高效率HTOL自研设备，高质量HTOL品质保障，低成本HTOL测试方案。上海顶策科技有限公司TH801智能一体化老化测试机，自主研发在线实时单颗监测技术，通过监测数据，可以实时发现问题并介入分析，大幅提高HTOL效率，节省更多时间、FA成本，全程数据记录，让HTOL问题更容易分析，更有追溯性；有全程HTOL数据记录，让报告更有说服力，下游客户更放心。可靠性测试事业部提供可靠性测试整体解决方案，包括HTOL、LTOL、双85、HAST等可靠性设备，以及测试方案制定，PCB设计制作，测试试验，可以满足各类芯片可靠性测试需求。可靠性事业部提供各类芯片的可靠性测试方案，原理图设计，PCB加工制作，出具可靠性报告等一条龙服务。
闪存HTOL测试方法与流程本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种闪存htol测试方法。背景技术：闪存(flashmemory)是一种非易失性的存储器，其具有即使断电存储数据也不会丢失而能够长期保存的特点。故近年来闪存的发展十分迅速，并且具有高集成度、高存储速度和高可靠性的闪存存储器被广泛应用于包括电脑、手机、服务器等电子产品及设备中。在半导体技术领域中，htol(hightemperatureoperatinglifetest，高温操作生命期试验)用于评估半导体器件在超热和超电压情况下一段时间的耐久力。对于闪存的可靠性而言，在数万次的循环之后的htol是一个主要指数。通常而言，闪存产品需要在10000次的循环之后，通过1000小时的htol测试。闪存htol实际测试中存在若干小时后闪存测试读点(例如读“0”)失效，亟需解决闪存htol测试中读点失效的问题。上海顶策科技TH801智能老化系统，是一款全程数据实时记录的高效HTOL设备。国产HTOL测试机怎么用
上海顶策科技TH801智能老化系统，芯片状态实时参数正态分布图，散点图等显示，多维度分析芯片状态。国产HTOL测试机怎么用
闪存参考单元包括：衬底100，位于所述衬底中的导电沟道、位于所述导电沟道两侧的源极101和漏极102，位于导电沟道上方的栅极单元，所述栅极单元从下到上依次包括隧穿氧化层103、浮栅104、栅间介质层105以及控制栅106,所述栅极单元的两侧分布有侧墙107。栅间介质层105例如可以为依次层叠的氧化硅层、氮化硅层和氧化硅层的多层结构，即为ono结构。具体的，闪存在其生产工艺过程中易在闪存参考单元的隧穿氧化层103中捕获(引入)空**3为本发明实施例的对闪存参考单元进行编译示意图，如图3所示，对所述闪存参考单元进行编译，包括：在所述源极101上施加***编程电压vb1，在所述漏极102上施加第二编程电压vb2，在所述控制栅106上施加第三编程电压vb3，在所述衬底100上施加第四编程电压vb4；其中，所述***编程电压vb1小于所述第二编程电压vb2；所述第二编程电压vb2小于所述第三编程电压vb3。所述***编程电压的范围为～0v,所述第二编程电压的范围为～，所述第三编程电压vb3的范围为8v～10v,所述第四编程电压vb4的范围为～-1v，编译过程中的脉冲宽度为100μs～150μs。编译通过热电子注入的方式对所述浮栅104中注入电子。国产HTOL测试机怎么用
上海顶策科技有限公司正式组建于2014-11-24，将通过提供以芯片测试服务，芯片测试设备，HTOL老化炉等服务于于一体的组合服务。旗下上海顶策科技,TOP ICTEST在仪器仪表行业拥有一定的地位，品牌价值持续增长，有望成为行业中的佼佼者。同时，企业针对用户，在芯片测试服务，芯片测试设备，HTOL老化炉等几大领域，提供更多、更丰富的仪器仪表产品，进一步为全国更多单位和企业提供更具针对性的仪器仪表服务。顶策科技始终保持在仪器仪表领域优先的前提下，不断优化业务结构。在芯片测试服务，芯片测试设备，HTOL老化炉等领域承揽了一大批高精尖项目，积极为更多仪器仪表企业提供服务。