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来源: 发布时间:2024年03月16日

闪存参考单元包括:衬底100,位于所述衬底中的导电沟道、位于所述导电沟道两侧的源极101和漏极102,位于导电沟道上方的栅极单元,所述栅极单元从下到上依次包括隧穿氧化层103、浮栅104、栅间介质层105以及控制栅106,所述栅极单元的两侧分布有侧墙107。栅间介质层105例如可以为依次层叠的氧化硅层、氮化硅层和氧化硅层的多层结构,即为ono结构。具体的,闪存在其生产工艺过程中易在闪存参考单元的隧穿氧化层103中捕获(引入)空**3为本发明实施例的对闪存参考单元进行编译示意图,如图3所示,对所述闪存参考单元进行编译,包括:在所述源极101上施加***编程电压vb1,在所述漏极102上施加第二编程电压vb2,在所述控制栅106上施加第三编程电压vb3,在所述衬底100上施加第四编程电压vb4;其中,所述***编程电压vb1小于所述第二编程电压vb2;所述第二编程电压vb2小于所述第三编程电压vb3。所述***编程电压的范围为~0v,所述第二编程电压的范围为~,所述第三编程电压vb3的范围为8v~10v,所述第四编程电压vb4的范围为~-1v,编译过程中的脉冲宽度为100μs~150μs。编译通过热电子注入的方式对所述浮栅104中注入电子。集成电路动态老化设备,上海顶策科技有限公司自主研发TH801智能一体化HTOL测试机。徐汇区HTOL测试机供应

提供可靠性测试整体解决方案:可靠性设备,HTOL/LTOL、双85、HAST等几十项可靠性测试方案制定,PCB设计制作,测试试验,满足各类芯片可靠性测试需求。涵盖模拟,数字,混合信号,SOC,RF等各类芯片的可靠性方案设计,原理图设计,PCBlayout加工制作,老化程序开发调试,可靠性测试试验,出具可靠性报告等一条龙服务。自主研发在线实时单颗监测技术,通过监测数据,可实时发现问题并介入分析,大幅提高HTOL效率,节省更多时间、FA成本,让HTOL问题更容易分析,更有追溯性,让报告更有说服力,下游客户更放心。徐汇区HTOL测试机供应可靠性事业部提供各类芯片的老化程序开发调试,可靠性测试实验,出具可靠性报告等一条龙服务。

导致偏移量发生的原因是在htol可靠性验证过程中闪存参考单元会有空穴丢失,而丢失的空穴是在制作闪存的生产工艺过程中捕获(引入)的,短期内无法消除。而闪存产品从工程样品(es,engineeringsample)到客户样品(cs,customersample)的时间不容延期。从测试端找出解决方案非常迫在眉睫。本发明实施例的闪存htol测试方法对所述闪存参考单元循环进行编译和擦除,以在所述闪存参考单元中引入电子;对所述闪存进行htol测试,所述引入电子在所述htol测试过程中存在丢失,以对htol测试过程中所述空穴的丢失形成补偿。

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    芯片可靠性测试(HTOL)HTOL(HighTemperatureOperatingLife)是芯片可靠性的一项关键性的基础测试,用应力(电压、温度等拉偏)加速的方式模拟芯片的长期运行,评估芯片寿命和长期上电运行的可靠性。广电计量服务内容:老化方案开发测试硬件设计ATE开发调试可靠性试验HTOL试验方案:在要求点(如0、168、500、1000hr)进行ATE测试,确定芯片是否OK,记录每颗芯片的关键参数,并分析老化过程中的变化。对芯片覆盖率要求如:CPU/DSP/MCU/logic:ATPG的stuck-atfaultcoverage>70%。MemoryBIST:覆盖所有memory。3、模拟电路:覆盖PLL/AD/DA/SERDES等关键IP。 上海顶策科技有限公司提供可靠性测试整体解决方案,以及测试方案制定,PCB设计制作,测试试验。徐汇区HTOL测试机供应

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    技术实现要素:本发明提供了一种闪存htol测试方法,以解决闪存htol测试中读点失效的问题。本发明提供的闪存htol测试方法,包括:提供待测闪存,所述闪存包括闪存参考单元和闪存阵列单元;所述闪存参考单元中捕获有空穴;对所述闪存参考单元循环进行编译和擦除,以在所述闪存参考单元中引入电子;对所述闪存进行htol测试,所述引入电子在所述htol测试过程中部分丢失,以对htol测试过程中所述空穴的丢失形成补偿。进一步的,所述闪存参考单元包括衬底、位于所述衬底中的导电沟道、位于所述导电沟道两侧的源极和漏极,位于所述导电沟道上方的栅极单元,所述栅极单元从下到上依次包括隧穿氧化层、浮栅、栅间介质层以及控制栅,所述栅极单元的两侧分布有侧墙。 徐汇区HTOL测试机供应

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