扫描电镜特点：装上波长色散X射线谱仪(WDX)或能量色散X射线谱仪(EDX),使具有电子探针的功能,也能检测样品发出的反射电子、X射线、阴极荧光、透射电子、俄歇电子等。把扫描电镜扩大应用到各种显微的和微区的分析方式,显示出了扫描电镜的多功能。另外,还可以在观察形貌图象的同时,对样品任选微区进行分析;装上半导体试样座附件,通过电动势象放大器可以直接观察晶体管或集成电路中的PN结和微观缺陷。由于不少扫描电镜电子探针实现了电子计算机自动和半自动控制,因而较大提高了定量分析的速度。扫描电镜普遍应用于地球科学领域的微观研究。福建台式扫描电镜供应商
扫描电镜基本原理：扫描电镜的工作是进入微观世界的工作。我们平常所说的微乎其微或微不足道的东西,在微观世界中,这个微也就不称其微,我们提出用纳米作为显微技术中的常用度量单位,即1nm=10-6mm。扫描电镜成像过程与电视成像过程有很多相似之处,而与透射电镜的成像原理完全不同。透射电镜是利用成像电磁透镜一次成像,而扫描电镜的成像则不需要成象透镜,其图象是按一定时间、空间顺序逐点形成并在镜体外显像管上显示。二次电子成象是使用扫描电镜所获得的各种图象中应用较普遍,分辨本领较高的一种图象。我们以二次电子成象为例来说明扫描电镜成象的原理。福建台式扫描电镜供应商新式的扫描电镜的分辨率可以达到1nm。
冷场发射式：冷场发射式扫描电镜是通过使用一个锐利尖晶(lOOnm)和高电压(3.4kv)获得高势场，使电子从钨线圈中下来，要求具有超高真空度，但使用寿命较长，且具有高性能。冷场发射式较大的优点为电子束直径较小，亮度较高，因此影像分辨率较优。能量散布较小，故能改善在低电压操作的效果。冷场扫描电镜为避免针尖被外来气体吸附，而降低场发射电流，因此使得发射电流不稳定，发射体使用寿命短，冷场发射扫描电镜对真空条件要求较高，冷场发射式电子长筒械具必需在10-10torr的真空度下操作，虽然如此，还是需要定时短暂加热针尖至2500K（此过程叫做flashing，定时对针尖进行清洗），以去除所吸附的气体原子，此外，他的发射的总电流较小，但局限于单一的图像观察,应用范围有限。要从极细的钨针尖场发射电子，金属表面必需完全干净，无任何外来材料的原子或分子在其表面，即使只有一个外来原子落在表面亦会降低电子的场发射，所以场发射电子长筒械具必需保持超高真空度，来防止钨阴极表面累积原子。
扫描电镜仪器结构：产生高能电子束的镜筒，包括：电子长筒械具、电磁透镜和扫描线圈；接收并处理各种电子信号的成像系统：扫描信号发生器、探测器、扫描放大器、电子信息处理器和监控器；记录电子图像的信息记录系统：摄像头、图像分析器和记录设备；作为电子束与样品作用载体的真空系统：样品室、真空阀门、机械泵、油扩散泵、离子泵和真空检测装置；调控扫描电镜外部环境的电源系统：不间断电源、变压器、稳压器、安全控制线路和单独地线。扫描电镜是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器。
肖特基发射式扫描电镜的操作温度为1800K，它是在钨(100)单晶上镀ZrO覆盖层，ZrO将功函数从纯钨的4.5eV降至2.8eV，而外加高电场更使电位障壁变窄变低，使得电子很容易以热能的方式跳过能障(并非穿隧效应)，逃出针尖表面，所需真空度约10-8~10-9torr。其发射电流稳定度佳，而且发射的总电流也大。而其电子能量散布很小，但稍逊于冷场发射式电子长筒械具。其电子源直径比冷式大，所以影像分辨率也比冷场发射式稍差一点。由于ZrO一直是覆在灯丝上的，因此肖特基的束流非常稳定，但较终ZrO耗尽时，灯丝的寿命也就到了，一般在2-3年。扫描电镜普遍应用于材料学领域的微观研究。福建台式扫描电镜供应商
扫描电镜的样品制备很简单。福建台式扫描电镜供应商
扫描电镜基本原理：在扫描电镜中,入射电子束在样品上的扫描和显像管中电子束在荧光屏上的扫描是用一个共同的扫描发生器控制的。这样就保证了入射电子束的扫描和显像管中电子束的扫描完全同步,保证了样品上的“物点”与荧光屏上的“象点”在时间和空间上一一对应,称其为“同步扫描”。一般扫描图象是由近100万个与物点一一对应的图象单元构成的,正因为如此,才使得扫描电镜除能显示一般的形貌外,还能将样品局部范围内的化学元素、光、电、磁等性质的差异以二维图象形式显示。福建台式扫描电镜供应商
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