扫描电镜的工作原理是用一束极细的电子束扫描样品，在样品表面激发出次级电子，次级电子的多少与电子束入射角有关，也就是说与样品的表面结构有关，次级电子由探测体收集，并在那里被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。图像为立体形象，反映了标本的表面结构。扫描电镜的特点：和光学显微镜及透射电镜相比，扫描电镜具有以下特点：能够直接观察样品表面的结构，样品的尺寸可大至120mm×80mm×50mm。样品制备过程简单，不用切成薄片。样品可以在样品室中作三度空间的平移和旋转，因此，可以从各种角度对样品进行观察。扫描电镜普遍应用于工业生产。广州赛默飞扫描电镜报价
扫描电镜的分类主要是根据其电子长筒械具的种类来分的，电子长筒械具的必要特性是亮度要高、电子能量散布(EnergySpread)要小，目前常用的电子长筒械具有钨(W)灯丝、六硼化镧(LaB6)灯丝、场发射三种，不同的灯丝在电子源大小、电流量、电流稳定度及电子源寿命等均有差异。钨(W)灯丝扫描电镜：价钱较便宜使用较普遍的是钨灯丝，以热发射(Thermionization)式来发射电子，电子能量散布为2eV，钨的功函数约为4.5eV，钨灯丝系一直径约100μm，弯曲成V形的细线，操作温度约2700K，电流密度为1.75A/cm2，在使用中灯丝的直径随着钨丝的蒸发变小，使用寿命约为40~80小时。广州赛默飞扫描电镜报价扫描电镜可以观察纳米材料。
真空系统：真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨灯丝长筒械具的扫描电镜的真空要求，但对于装置了场致发射长筒械具或六硼化镧及六硼化铈长筒械具的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的样品室，用于放置样品。需要真空的原因包括：一是电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以需要抽真空。二是为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成象的电子更多。
肖特基发射式扫描电镜的操作温度为1800K，它是在钨(100)单晶上镀ZrO覆盖层，ZrO将功函数从纯钨的4.5eV降至2.8eV，而外加高电场更使电位障壁变窄变低，使得电子很容易以热能的方式跳过能障(并非穿隧效应)，逃出针尖表面，所需真空度约10-8~10-9torr。其发射电流稳定度佳，而且发射的总电流也大。而其电子能量散布很小，但稍逊于冷场发射式电子长筒械具。其电子源直径比冷式大，所以影像分辨率也比冷场发射式稍差一点。由于ZrO一直是覆在灯丝上的，因此肖特基的束流非常稳定，但较终ZrO耗尽时，灯丝的寿命也就到了，一般在2-3年。扫描电镜普遍应用于矿物学领域的研究。
扫描电镜的附件：扫描电镜一般都配有波谱仪或者能谱仪。波谱仪和能谱仪是不能互相取代的，只能是互相补充。波谱仪是利用布拉格方程2dsinθ=λ，从试样激发出了X射线经适当的晶体分光，波长不同的特征X射线将有不同的衍射角2θ。波谱仪是微区成分分析的有力工具。波谱仪的波长分辨率是很高的，但是由于X射线的利用率很低，所以它使用范围有限。能谱仪是利用X光量子的能量不同来进行元素分析的方法，对于某一种元素的X光量子从主量子数为n1的层跃迁到主量子数为n2的层上时，有特定的能量ΔE=En1-En2。能谱仪的分辨率高，分析速度快，但分辨本领差，经常有谱线重叠现象，而且对于低含量的元素分析准确度很差。扫描电镜与电视一样是由控制电子束偏转的电子系统来完成的。广州赛默飞扫描电镜报价
扫描电镜景深大、分辨率高。广州赛默飞扫描电镜报价
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