非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承,由于工作在平面度较好的花岗岩表面,因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性,特别适用于高精度检测以及超精加工领域。
对射式非接触式同轴激光位移传感器测量•直线电机高精度龙门运动机构•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架•比较大扫描速度1m/s•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式•直观简单的2D或3D数据呈现方式•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准 点对点厚度测量, 2个传感器和2个单通道控制器或1个双通道控制器点对点测量对于边缘区域可使用卡钳结构测量。辽宁2D 测量传感器品牌
激光干涉位移传感器激光干涉仪:超精密皮米位移传感器可实时测量位移、运动和振动,并具有10MHz的数据带宽。一个控制器可连接三个传感测头。
认证精度稳定的激光源可确保在纳米范围内获得认证的重复性和准确性。PTB(德国联邦物理技术研究院)已正式测试井证明了lDS3010的高精度。此外,每个IDS3010都是NIST可追踪的。大距离范围IDS3010够进行从几毫米到30m的动态位移测量。高达10Mhz的高带宽,即使在远距离情况下也可以进行振动检测。紧凑和模块设计IDS3010控制器和传感器头的基于光纤的微型化设计允许集成到空间受限的系统中。它的模块化使更换和重新安排变得容易。真空兼容传感头和光纤甚至可以在极端环境下工作,例如高真空,超高真空,低温或辐射恶劣的环境。 辽宁2D 测量传感器品牌马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器,欢迎您的来电哦!
ENITH控制器采用比较高质量标准制造,是一款坚固可靠的产品,可满足车间环境(如实验室)中**苛刻的应用,是工业环境中光谱共焦控制器的全新选择。ZENITH控制器的柔性测量,可以将被测产品造成损害的可能性降低到零。基于以太网通讯,ZENITH可以在非接触的情况下实现高精度的测量,而不会对被测产品造成任何损坏。
ZENITH框架紧凑,结构稳固,专为7天24小时全天候使用而设计。2ZENITH能够在各种类型的材料和物体表面进行超高分辨率的距离和厚度测量,包括各种反射性材料。3高频率采样是 ZENITH 与编码器(**多 5 个)结合用于外部测量同步的动态应用的理想选择之一。4ZENITH的控制器可兼容所有MARPOSS STIL光学笔:CL-MG、OP、ENDO和EVEREST,实现达纳米级精度的计量表现。
3C 行业应用:
集成电路自动光学检测
红外线传感器黄金接触垫
微电子的焊线槽形貌
印刷线路板的翘曲测量
金线的检测
玻璃行业
玻璃行业自吹起显示器非平面即曲面的想法,市面上2D、2.5D产品相继出现,经iPhone创办人SteveJobs构思3D曲面玻璃发展蓝图后,开启了发展趋势,相继有厂商投入3D产品各种成型技术的研发。因符合市场大量产品的设计需求,智能手机、智能手表、平板计算机、仪表板等陆续出现,时代进步已经明确引导3D曲面玻璃发展方向。那么3D曲面玻璃有什么优势特点使其能深受广大用户喜爱呢? 汽车挡风玻璃质量控制, 大工作距离和大景深的点传感器适用于车间环境,对3D形状、轮廓、HUD的多层厚度测量。
什么是光谱共焦干涉仪?非接触式轮廓测量技术中的测量精度,通常受机械振动和微扫描台位置不准确的限制。为不再受此类环境干扰,开发了对振动不敏感的全新干涉测量法。采用这种新型干涉仪系统,干涉仪显微镜的精度可达亚纳米级。
光谱共焦干涉测量原理干涉测量法基于白光干涉图(SAWLI)的光谱分析。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号,以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。成熟系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起,机械振动不会影响测量结果。此外,该传感器可用于测量太薄而不允许使用光谱共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。 光谱共焦传感器,就选马波斯测量科技。辽宁2D 测量传感器品牌
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通过机器人替代、软件信息化、柔性化生产等方式,贸易型企业可实现上下游信息透明、协作设计与生产,提升了生产服务的质量与效率。有限责任公司企业着力在重点领域和优势领域开展智能制造试点。通过运用物联网、云计算、大数据等技术开发工业互联网软硬件,推广柔性制造,实现远程定制、异地设计、当地生产的协同生产模式。机械企业常常利用虚拟制造技术来提升反应能力,而虚拟制造技术也是机械制造领域中重点的技术。对现代化有限责任公司企业来说,具备敏捷的反应能力是未来努力的方向。贸易型企业要完善机械服务业体系,培育机械后市场增长点。带动维修、售后、网点、租赁、进出口、二手市场等相关产业同步发展。建立信息管理系统,加强分类回收管理,完善机械再制造体系,提升零部件循环利用能力。辽宁2D 测量传感器品牌
马波斯(上海)测量设备科技有限公司是一家从事机床领域检测系统,标准与非标尺寸检测,泄漏与装配测试,工业电脑与软件研发、生产、销售及售后的贸易型企业。公司坐落在宜山路2000号利丰广场,Block栋,C102单元,成立于2006-05-15。公司通过创新型可持续发展为重心理念,以客户满意为重要标准。在孜孜不倦的奋斗下,公司产品业务越来越广。目前主要经营有机床领域检测系统,标准与非标尺寸检测,泄漏与装配测试,工业电脑与软件等产品,并多次以机械及行业设备行业标准、客户需求定制多款多元化的产品。马波斯(上海)测量设备科技有限公司每年将部分收入投入到机床领域检测系统,标准与非标尺寸检测,泄漏与装配测试,工业电脑与软件产品开发工作中,也为公司的技术创新和人材培养起到了很好的推动作用。公司在长期的生产运营中形成了一套完善的科技激励政策,以激励在技术研发、产品改进等。马波斯(上海)测量设备科技有限公司注重以人为本、团队合作的企业文化,通过保证机床领域检测系统,标准与非标尺寸检测,泄漏与装配测试,工业电脑与软件产品质量合格,以诚信经营、用户至上、价格合理来服务客户。建立一切以客户需求为前提的工作目标,真诚欢迎新老客户前来洽谈业务。