3D 视觉测量传感器技术

生物医疗-人造膝关节

粗糙度测量符合ISO标准25178-602, 传感器适用任何反射表面

机械手表

特别用于于在线测量的传感器比较大样本斜率±45°；高达±88°的漫反射

微流体类

通过塑料或玻璃等透明层，使用亚微米级分辨率测量微流体每秒可测量360,000点

涡轮叶片

特别用于于在线测量的传感器比较大样本斜率±45°；高达±88°的漫反射

电池 点对点厚度测量

2个传感器和2个单通道控制器或1个双通道控制器点对点测量对于边缘区域可使用卡钳结构测量

非接触式测量，一体化设计，3D轮廓扫描，多功能数据处理适用于各种材料的精确测量；使用简单，拆装方便，扫描速度快，定位精度高重复精度±0.5~±1µm；稳定性高，抗干扰能力强

膜厚其他半导体用于膜厚的在线测量和质量控制

非接触测量，适用于易变形和不透明的材料小厚度测量5µm，适用于在线应用高灵敏度和高精度可提供卡钳结构或测量设备可结合马波斯Quick-SPC软件进行数据处理 马波斯提供非接触式传感器（测量力小）在内的多种传感器，以及显象或测量计算机。3D 视觉测量传感器技术

什么是光谱共焦技术？

光谱共焦位移传感器提供比较好的技术以满足非接触尺寸测量**苛刻的要求。基于使用空间彩色编码的创新光学原理，光谱共焦传感器使用户能够以非凡的精确度对任何类型的材料进行测量。传感器适用于绝大多数行业：计量或研究实验室中的高精度仪器，工业生产线上的质量控制。用于工业环境中的设计，传感器的各系列，吸引集成器与测量检测机器轻松连接，这归功于为每台仪器提供的动态链接库（DLL）。

光谱共焦成像基于2个原则：l共焦成像l光轴的彩色编码。

共焦装置是一种光学装置，光学系统在物体的表面上产生点光源S的图像S’。反向散射光由相同的光学系统收集，该光学系统在***S’’处成像。***被置于光电探测器的前面，它过滤可以到达光电探测器的光线，因此它也被称为“空间滤波器”。共焦装置的特点是具有特殊的信噪比。按照CCI原理，光学系统是彩色光学头，光电探测器是一个光谱仪。 3D 视觉测量传感器技术光谱共焦传感器，就选马波斯测量科技，让您满意，欢迎您的来电！

什么是光谱共焦干涉仪？

非接触式轮廓测量技术中的测量精度通常受到机械振动和微扫描台位置不准确性的限制。为了从这些环境干扰中解放出来，开发了一种新的对振动不敏感的干涉测量方法。采用这种新型光谱共焦干涉仪系统，干涉仪显微镜的潜在亚纳米级精度是极其有效的。

原理：

干涉测量法基于白光干涉图（SAWLI）的光谱分析。是光谱共焦传感器等光学检测仪器仪表中必然涉及到的概念。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号，以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。发达系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起，机械振动不会影响测量结果。此外，该传感器可用于测量太薄而不允许使用色彩共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。

光谱共焦传感器可以测量几乎任何类型的材料（玻璃，陶瓷，塑料，半导体，金属，织物，纸张，皮革等）制成的样品。它们可以测量抛光表面（镜子，镜片，晶圆）以及粗糙表面。

光斑尺寸、比较大采样斜率、工作距离和测量范围，分别是什么概念

比较大采样斜率（M，简称MSS），是光轴和样品表面法线之间的比较大角度，在此角度条件下测量依然可行。MSS是测量点处的实际局部斜率，而非理论上“平均曲面”的斜率。此功能*对镜面(镜面状)表面有重要意义；对散射表面，比较大采样斜率更高。对于所有类型的采样，采集信号的强度都随着倾斜角度的增加而减小。光斑尺寸(Spotsize)，指光点的理论尺寸，即光斑的大小。工作距离(WorkingDistance)，光学笔前端到量程近端的距离。测量范围(MeasuringRange，简称MR)，0到比较大可量测值的区间范围。又叫测量行程。 光谱共焦传感器，就选马波斯测量科技，欢迎客户来电！

在半导体行业应用：

LED 芯片三维测量

LED 晶圆光学检测

BGA 半导体封装

光伏晶圆表面形貌

测量涂层厚度时与部件无任何接触。激光和红外传感器可分析2至50厘米距离的涂层。这意味着可以在工业涂层环境中测量部件，即使它们位于移动产线上、在高温环境中，甚至易碎或潮湿环境中。由于激光束产生的热量极少，因此测量过程中涂层和部件都不会被损坏或改变。因此，对于那些迄今已有的方法会破坏测试样品的工业运用，它也可以系统地测量每个部件。测量通常不到一秒钟，具有高度重复性。这样可以控制高达100％的涂层部件，严格遵循涂层工艺性能并实时反应以保持比较好状 马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器，有需要可以联系我司哦！3D 视觉测量传感器技术

马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司，欢迎您的来电！3D 视觉测量传感器技术

激光干涉位移传感器激光干涉仪：超精密皮米位移传感器可实时测量位移、运动和振动，并具有10MHz的数据带宽。一个控制器可连接三个传感测头。

认证精度稳定的激光源可确保在纳米范围内获得认证的重复性和准确性。PTB(德国联邦物理技术研究院)已正式测试井证明了lDS3010的高精度。此外，每个IDS3010都是NIST可追踪的。大距离范围IDS3010够进行从几毫米到30m的动态位移测量。高达10Mhz的高带宽,即使在远距离情况下也可以进行振动检测。紧凑和模块设计IDS3010控制器和传感器头的基于光纤的微型化设计允许集成到空间受限的系统中。它的模块化使更换和重新安排变得容易。真空兼容传感头和光纤甚至可以在极端环境下工作，例如高真空，超高真空，低温或辐射恶劣的环境。 3D 视觉测量传感器技术

马波斯（上海）测量设备科技有限公司是我国机床领域检测系统，标准与非标尺寸检测，泄漏与装配测试，工业电脑与软件专业化较早的有限责任公司之一，马波斯工业测量是我国机械及行业设备技术的研究和标准制定的重要参与者和贡献者。公司承担并建设完成机械及行业设备多项重点项目，取得了明显的社会和经济效益。多年来，已经为我国机械及行业设备行业生产、经济等的发展做出了重要贡献。