内蒙古2D 测量传感器测量速度

非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。

对射式非接触式同轴激光位移传感器测量•直线电机高精度龙门运动机构•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架•比较大扫描速度1m/s•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式•直观简单的2D或3D数据呈现方式•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准 粗糙度测量符合ISO标准25178-602传感器适用任何反射表面；通过塑料或玻璃等透明层。内蒙古2D 测量传感器测量速度

优势

•￭非接触三维表面轮廓测量•

￭噪音小，测量重复性好•

￭纳米级分辨率：Z轴分辨率比较高可达0.1nm•

￭测量的点云数多：一个面**多可以达到500万个点•

￭点间距小，XY分辨率高•

￭多种视野范围可供选择，快速切换物镜变换视野•

￭测量速度快，可实现在线测量

技术特点

1.干涉条纹扫描测量表面位置信息的理论根据是被测表面上各点深度不同所形成的干涉光强不同。2.产生干涉情况下，波长与可测量的深度数据相对应。3.在白光干涉中，干涉图样是由各色光形成的单色干涉图样形成的。被测表面上各点的深度不同，根据光的波动性与同调性，所对应的干涉光强中各频谱成分的强度不同，各色光的干涉级次不同。有助于更加准确的得到表面的位置信息 内蒙古2D 测量传感器测量速度马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司，有需求可以来电咨询！

什么是光谱共焦？光学传感器提供比较好的技术以满足非接触尺寸测量**苛刻的要求。基于使用空间彩色编码的创新光学原理，我们的传感器使用户能够以非凡的精确度对任何类型的材料进行测量。用于工业环境中的设计，STIL传感器的各系列，吸引集成器与测量检测机器轻松连接，这归功于为每台仪器提供的动态链接库（DLL）

光学原理我们的光学传感器基于高度创新的共焦彩色成像原理。入射的白光***通过彩色物镜成像为沿Z轴的连续单色图像，从而沿光轴提供“颜色编码”反向散射的光束通过过滤***进入光谱仪，该光谱仪确定波长已完全聚焦于物体上，然后精确地确定其在测量场的位置。共聚焦光谱成像技术以极高的分辨率提供可靠、精确和可再现的尺寸测量。

航空航天属于高精尖技术领域，技术对安全性要求极高，因此航空航天部件的制造生产中对产品工艺和质量的要求是极为苛刻的。这是司逖光谱共焦传感器在飞机多层玻璃厚度检测方面的运用:

飞机多层玻璃厚度测量

光谱共焦传感器信号灯

为了方便用户实时了解传感器的运行状态，光谱共焦传感器的面板上共有六组信号灯，分别从电源、USB连接、测量头连接、测量状态等四个方面呈现传感器的实际情况。电源、USB连接和测量头连接以LED信号指示灯显示，在传感器开启电源后，上述三个LED信号灯为绿色，表明传感器已可以准备正常工作。 光谱共焦传感器，就选马波斯测量科技，用户的信赖之选，有需要可以联系我司哦！

光谱共焦位移传感器

￭外形尺寸测量

￭空气夹层测量

￭厚度(透明物体)测量

￭段差高度(非透明物体)测量

￭外形轮廓测量

￭表面型貌测量

￭表面粗糙度测量

￭表面微小划痕测量

￭三维测量

￭平面度测量

优势•

￭高分辨率，比较高可达纳米级•

￭高精度，比较高可达16纳米•

￭同轴光测量，相比较三角反射测量，无测量盲区•

￭可以测量几乎所有材料的表面，不论是漫反射表面，或者是高光亮面，或者是透明物体表面•

￭物体表面的颜色对于测量结果没有任何影响，可以解决对于激光难以测量的黑色或者白色物体•

￭可以同时测量多层玻璃或者胶的厚度 马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器，欢迎您的来电！内蒙古2D 测量传感器测量速度

马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器，欢迎新老客户来电！内蒙古2D 测量传感器测量速度

光谱共焦线传感器由180个点组成，可以测量距离 厚度 粗糙度 形状 高分辨率 各种材料适用于各种行业。

适用于各种材料金属(抛光或粗糙),玻璃,陶瓷,塑料,碳,硅…同轴性无阴影影响精度&分辨率亚微米级精度，Z轴纳米级分辨率被动式(低温、易爆环境)测量区域外的热源和电源大角度镜面可达45°速度比点传感器快180倍

光谱共焦视觉检测相机，AOI彩色共焦线相机检测系统：自动光学检测，可以测量尺寸 高分辨率 各种材料适用于各种行业。

工业 4.0

100%在线自动测量与质量控制柔性系统，高速可达12m/s3D形状/轮廓测量多达6轴汽车挡风玻璃HUD多点厚度测量*需4秒

高分辨率的直角坐标机械手：±0.05mm3到5轴3D形状和/或多点厚度测量：±0.05mm重复性适用任何反射表面

3D系统致力于粗糙度，3D形貌测量3个高分辨率电动轴(X；Y；Z)：±0.001mm3大尺寸选择：100x100mm2；200x200mm2；300x300m2…可与STIL传感器配套使用，并集成了点、线、相机的3D软件系统

亚微米级轴向分辨率薄涂层和空气间隙测量：小于1微米 内蒙古2D 测量传感器测量速度

马波斯（上海）测量设备科技有限公司正式组建于2006-05-15，将通过提供以机床领域检测系统，标准与非标尺寸检测，泄漏与装配测试，工业电脑与软件等服务于于一体的组合服务。马波斯工业测量经营业绩遍布国内诸多地区地区，业务布局涵盖机床领域检测系统，标准与非标尺寸检测，泄漏与装配测试，工业电脑与软件等板块。我们强化内部资源整合与业务协同，致力于机床领域检测系统，标准与非标尺寸检测，泄漏与装配测试，工业电脑与软件等实现一体化，建立了成熟的机床领域检测系统，标准与非标尺寸检测，泄漏与装配测试，工业电脑与软件运营及风险管理体系，累积了丰富的机械及行业设备行业管理经验，拥有一大批专业人才。马波斯（上海）测量设备科技有限公司业务范围涉及马波斯提供一系列从加工过程检测工具到刀具在线监测等机床领域检测系统，包含了磨削、切割、冲压成型、压铸等。也为手动与自动尺寸检测提供了一套完整的解决方案。 马波斯也提供生产线完整性测试，包含：无损及装配测试与泄漏测试。除外，马波斯为数据采集与分析、工业控制、生产与工厂自动化提供了硬件与软件，为客户提供生产效率，从而降低生产成本。等多个环节，在国内机械及行业设备行业拥有综合优势。在机床领域检测系统，标准与非标尺寸检测，泄漏与装配测试，工业电脑与软件等领域完成了众多可靠项目。