天津光谱共焦传感器测量速度

非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。

对射式非接触式同轴激光位移传感器测量•直线电机高精度龙门运动机构•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架•比较大扫描速度1m/s•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式•直观简单的2D或3D数据呈现方式•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准 马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器，有需要可以联系我司哦！天津光谱共焦传感器测量速度

优势

•具有自主知识产权的算法和软硬件设计•·具备高速原始点云传输能力•·具备深度图输出对接各大机器视觉软件•·高达2048测量点的X向轮廓检测•·出色的光学设计,可检测高反光、玻璃等材料•·405nm蓝色激光,面向精密电子与汽车钣金行业需求•·1P67防护等级,防尘、防水、抗震•·可靠工作于0-50℃

技术特点

产品基于激光三角法测量原理：图像传感模组从一个角度检测投射到被测物体表面上的激光线，反射光透过高质量光学系统，被投射到成像单元上。图像处理计算传感器到被测表面的高度方向(Z轴)和沿着激光线的方向(x轴)的距离信息。通过移动被测物体或传感器，获取的一系列切片信息进行组合，就可以得到三维数据。 天津光谱共焦传感器测量速度光谱共焦传感器，就选马波斯测量科技，用户的信赖之选，有想法可以来我司咨询！

什么是静态噪声？

静态噪声(StaticNoise,简称SN)，位于测量范围中心、完全静态的样品测得的噪声级别的RMS。我们的参数表给出了两个SN值：一个没有时间平均值，另一个时间平均值为10。这是比较大可接受值。校准后立即测量每个传感器的SN，并在校准证书中指定。该参数决定了传感器的轴向分辨率。

什么是测量精度？测量精度，是将传感器测量的距离与1纳米精度的编码器确定的样本位置进行比较时观察到的比较大误差。

校准后，此参数立即如下条件下测量：优化率，倾斜角度=0°，时间平均=测量频率/10，采样步数至少为100。对于“自适应LED”模式的传感器，此模式已启用。精度对于传感器和校准台的短期重复来说是个良好指标。表中的数值为比较大可接受值：每个传感器的准确度在校准后立即测量，并在校准证书中指示。测量精度，是将传感器测量的距离与1纳米精度的编码器确定的样本位置进行比较时观察到的比较大误差。

光谱共焦技术的非接触测量

Irix ™是一系列基于彩色共焦技术的非接触式传感器，能够测量对白光透明的任何材料上的距离和厚度。

Irix ™ 可同时测量5层材料。该控制器可与一大系列具有不同测量范围、机械尺寸和计量规范的光学探针结合使用，以满足多样化的应用需求。

控制器有两种型号可供选择：带7英寸集成显示屏，或带有用于文件柜.display或采用盲板形式，机柜采用带DIN导轨连接。

Irix控制器系列由不同型号（1个和2个同步通道）组成，结合各种各样的光学元件（Marposs和STIL），可提供优良的计量性能（高达纳米）。Irix以比较高的质量标准制造，是一种坚固可靠的产品，适合在工业环境中使用。

彩色共焦技术允许测量任何能够反射白光的材料（例如：金属、玻璃、塑料、漆膜、液体）。

非接触式测量适用于所有需要在不接触目标的情况下进行测量的情况一个光学探针可同时测量多达五个透明层高测量精度可互换传感器；

Irix可保存多达32张地图，以便使用比较合适的探头。

集成7“显示器不受热噪声和电噪声影响的无源光学探头SDK和协议命令的可用性，便于集成到任何系统中缩小测量点动态采集用编码器同步测量（空间同步）粗糙度测量 马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器，有需求可以来电咨询！

测量状态指示灯包含三个LED信号灯，分别显示系统错误、光信号强度和量程预警。系统错误信号灯指示传输数据是否过载，光信号强度指示灯显示当前光强信号是否超过5%，而量程预警指示灯则显示测量样品是否在量程范围内。系统错误信号灯正常状态为关闭状态，即不显示任何颜色光。但当使用RS232或RS422接口同时传输数据时，测量频率和传输数据格式都可能影响数据传输量。当传输数据量过载时，该信号灯点亮为红色状态，此时则应该适当降低测量频率或更改数据传输格式。此外，选用USB方式传输则会较少遭遇数据过载情况。光谱共焦传感器，就选马波斯测量科技，有需要可以联系我司哦！天津光谱共焦传感器测量速度

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在具体测量过程，需保证光强和量程预警指示灯为绿色，则测量的数据质量好，重复性精度高。如遇到橙色或红色显示，则需要根据上述方法调整传感器的状态。如尝尽上述方法都未能解决问题，请及时联系我们说的售后工程师，我们将帮助您解决该问题

与您分享光谱共焦传感器光笔测头知识讲解与注意事项

首先，测头是可以更换的：同一个控制器多可存储20个对应于不同的测头的校准表数据，即可配备20个不同的测头。其次，测头是完全无源的：因为它没有包含热源和移动部件，所以要避免可能影响传感器测量过程精度的任何热膨胀。将测头连接在控制器上的光缆长可以定做到10m，当整理光纤线时避免将其弯曲成曲率半径小于20mm的圆弧 天津光谱共焦传感器测量速度

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