非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承,由于工作在平面度较好的花岗岩表面,因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性,特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量?直线电机高精度龙门运动机构?兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量?共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性?兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)?晶圆的测量厚度范围为10um-20mm?抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架?比较大扫描速度1m/s?可自定义生成快速便捷的自动化测量模式?直观简单的2D或3D数据呈现方式?适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器,欢迎您的来电哦!内蒙古线光谱共焦传感器测量速度
什么是光谱共焦技术?光谱共焦位移传感器提供比较好的技术以满足非接触尺寸测量**苛刻的要求。基于使用空间彩色编码的创新光学原理,光谱共焦传感器使用户能够以非凡的精确度对任何类型的材料进行测量。传感器适用于绝大多数行业:计量或研究实验室中的高精度仪器,工业生产线上的质量控制。用于工业环境中的设计,传感器的各系列,吸引集成器与测量检测机器轻松连接,这归功于为每台仪器提供的动态链接库(DLL)。光谱共焦成像基于2个原则:l共焦成像l光轴的彩色编码。共焦装置是一种光学装置,光学系统在物体的表面上产生点光源S的图像S’。反向散射光由相同的光学系统收集,该光学系统在***S’’处成像。***被置于光电探测器的前面,它过滤可以到达光电探测器的光线,因此它也被称为“空间滤波器”。共焦装置的特点是具有特殊的信噪比。按照CCI原理,光学系统是彩色光学头,光电探测器是一个光谱仪。内蒙古线光谱共焦传感器测量速度马波斯提供非接触式传感器(测量力小)在内的多种传感器,以及显象或测量计算机。
公司基于创新的技术开发了两个系列的产品:从0.1μm到100mm测量行程的点光谱共焦传感器、从1.8mm到45mm线长的不同测量行程的线光谱共焦传感器。这些高分辨率的非接触式传感器***运用于各种不同要求的高精密测量场合。从物体表面细微结构、形状及纹理粗糙度的测量分析,到工业环境下的在线质量检测、过程控制与逆向工程,及实验室研究场合的高精度设备,我们的光谱共焦传感器都成了众多客户不可或缺的选择。我们为全球各行业(可应用行业范围:玻璃、医疗、电子、半导体、汽车、航空航天、制表业…等)企业提供高性能的光谱共焦位移传感器。任何材料的物体,如金属、玻璃、陶瓷、半导体、塑料、织物等,我们的光谱共焦传感器都可轻松测量,而且对被测物体表面的颜色和光洁度也没有任何特殊要求,无论什么颜色,物体表面是漫反射或者高光面,乃至于镜面都可以轻松测量。
优势??非接触三维表面轮廓测量??噪音小,测量重复性好??纳米级分辨率:Z轴分辨率比较高可达0.1nm??测量的点云数多:一个面**多可以达到500万个点??点间距小,XY分辨率高??多种视野范围可供选择,快速切换物镜变换视野??测量速度快,可实现在线测量技术特点1.干涉条纹扫描测量表面位置信息的理论根据是被测表面上各点深度不同所形成的干涉光强不同。2.产生干涉情况下,波长与可测量的深度数据相对应。3.在白光干涉中,干涉图样是由各色光形成的单色干涉图样形成的。被测表面上各点的深度不同,根据光的波动性与同调性,所对应的干涉光强中各频谱成分的强度不同,各色光的干涉级次不同。有助于更加准确的得到表面的位置信息光谱共焦传感器,就选马波斯测量科技,有需求可以来电咨询!
应用:玻璃外形轮廓测量CCSPrima+CL3-MG140手机屏幕与金属外框的间隙检测MPLS180+MicroView3D玻璃内表面弧度的测量大角度轮廓测量玻璃表面瑕疵检测CL3-MG70+STILDUO玻璃表面微小划伤检测MC2精密制造行业精密制造产品,内部一般由很多细小复杂的零件组成。以代表性的手表来举例,其制造流程和工艺虽比不上汽车、飞机工业的复杂程度,但其内部**小小超过100多个细小复杂的零件组装在表盘内,稍微出现组装疏忽将会导致手表不能正常运,产品品质不能经得起考验。光谱共焦传感器,就选马波斯测量科技,让您满意,有想法可以来我司咨询!内蒙古线光谱共焦传感器测量速度
机械手表:用于在线测量的传感器比较大样本斜率±45°;高达±88°的漫反射。内蒙古线光谱共焦传感器测量速度
测量状态指示灯包含三个LED信号灯,分别显示系统错误、光信号强度和量程预警。系统错误信号灯指示传输数据是否过载,光信号强度指示灯显示当前光强信号是否超过5%,而量程预警指示灯则显示测量样品是否在量程范围内。系统错误信号灯正常状态为关闭状态,即不显示任何颜色光。但当使用RS232或RS422接口同时传输数据时,测量频率和传输数据格式都可能影响数据传输量。当传输数据量过载时,该信号灯点亮为红色状态,此时则应该适当降低测量频率或更改数据传输格式。此外,选用USB方式传输则会较少遭遇数据过载情况。内蒙古线光谱共焦传感器测量速度