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广东低温DLC涂层技术

来源: 发布时间:2023年10月13日

浅谈中山DLC涂层的摩擦性能。DLC膜不但具有优异的耐磨性,而且具有很低的摩擦系数,一般低于0.2,是一种优异的表面抗磨损改性膜。DLC的摩擦系数随制备工艺的不同和膜中成分的变化而变化,其摩擦系数比较低可达0.005。掺杂金属元素可能降低其摩擦系数,但加入H能提高润滑作用,环境也对摩擦系数有一定的影响。但总的来说,DLC膜与传统的硬质薄膜(如上述的TiN、TiC、TiAlN等)相比,在摩擦系数方面具有明显优势,这些传统硬质薄膜的摩擦系数都在0.4以上。因此,DLC膜有可能在许多摩擦学领域替代这些传统硬膜。DLC涂层冷却办法因工艺不同而不同,主要是操控冷却速度。广东低温DLC涂层技术

DLC涂层加工是类金刚石涂层加工。主要有两种方式实现,一种是CVD,化学气相沉积,还有一种是PVD,物LI气相沉积,IP的意思是Ionplating,是离子镀,是PVD技术的一种。DLC一般是黑色的,非常的耐磨、防滑,IP涂层就是离子镀涂层,用来做DLC的也比较多。类金刚石涂层或简称DLC涂层是一种非晶态膜,基本上可分为含氢类金刚石(a-C:H)涂层和无氢类金刚石涂层两种。含氢DLC涂层中的氢含量在20at.%-50at.%之间,sp3成分小于70%。无氢DLC涂层中常见的是四面体非晶碳(ta-C)膜。ta-C涂层中以sp3键为主,sp3含量一般高于70%。类金刚石涂层或简称DLC涂层是含有金刚石结构(sp3键)和石墨结构(sp2键)的亚稳非晶态物质,碳原子主要以sp3和sp2杂化键结合。广东低温DLC涂层技术随着技术的不断进步,类金刚石DLC涂层的应用领域将会更加广。

DLC涂层加工的一个重要应用领域是石墨加工。由于注塑模具行业的发展很快,石墨电极的加工需求近些年来飞速增长。由于石墨材质的特性,目前市场上的其它常用硬质涂层都无法满足其需求,带涂层的刀具寿命非但不能显著提高,有时还比不涂层刀具性能更差。解决石墨切割的高效率低成本是DLC涂层。今泰DLC涂层可使刀具寿命延长3-5倍,从而使加工商很大程度的降低刀具使用成本,提高生产效率。DLC涂层刀具加工亚克力材料也是较佳选择。亚克力等非金属材料具有硬度低,玻璃态转化温度低、导热差等特点。不涂层(或涂以其它硬质涂层,如TiN,TiAlN等)的刀具在切削过程中由于加工温度是材料削发生粘流而导致排削不畅现象,Z终致使刀具失效,被加工材料表面质量无法达到品质要求。今泰DLC涂层不但具有高硬度,还具有极低的摩擦系数,使刀具在切削过程中很大程度上降低了由于摩擦产生的热量,增强了排屑性能,从而使刀具平均使用寿命提高3倍,且表面质量远好于不涂层或其它涂层刀具。

中山DLC涂层具有优良的力学性能。(1)硬度及弹性不同的沉积方法制备的DLC膜硬度及弹性模量差异很大,用磁过滤阴极电弧法可以制备出硬度达到甚至超过金刚石的DLC膜,用阴极电弧法制备的DLC膜硬度可达50GPa以上,而用离子源结合非平衡磁控溅射法制备的DLC膜硬度达21GPa。膜层内的成分对膜层的硬度有一定的影响,Si、N的掺入可以提高DLC膜的硬度。DLC膜具有较高的弹性模量,虽低于金刚石(110GPa),但明显高于一般金属和陶瓷的弹性模量。(2)内应力和结合强度薄膜的内应力和结合强度是决定薄膜的稳定性和使用寿命,影响薄膜性能的两个重要因素,内应力高和结合强度低的DLC膜容易在应用中产生裂纹、褶皱,甚至脱落,所以制备的DLC膜具有适中的压应力和较高的结合强度。大部分研究表明,直接在基体上沉积的DLC膜的膜\基结合强度一般比较低,通过采用Ti\TiN\TiCN\TiC中间梯度过渡层的方法提高DLC膜与基体的结合强度,在模具钢上沉积DLC膜的结合强度达44N-74N,制备的膜导总体厚度可达5um。DLC涂层在电子领域中也有普遍的应用。

影响中山DLC涂层摩擦系数的因素:掺杂元素.经过掺杂金属或非金属元素,可制备出具有优异强韧化和膜基结合力、低突冲特性以及低环境敏感性集一体的DLC涂层。元素掺杂可以改进DLC膜的突冲学功能,但要关注元素掺杂量。一般来说,元素掺杂都会有一个适合掺杂量规模。例如,掺杂少量N元素可明显下降各种湿度环境下DLC涂层的突冲与磨损,但掺杂很多N元素会使得C含量大幅度下降以及薄膜中碳链或团簇被更多的N原子中断,减小无定形碳对碳膜突冲学功能的贡献,突冲功能变差。基体资料.采用PECVD技术在聚碳酸酯(PC)树脂片上堆积的DLC涂层突冲因数会下降70%左右,耐磨性有极大的提高;在玻璃上制备的DLC膜突冲磨损功能较差,可能是因为在界面处不能形成过渡反响层。基体资料的外表粗糙度对DLC膜的突冲学功能也有很大影响。作为一种无定型结构,DLC涂层成长时十分接近基体的外表轮廓或者粗糙度。如果是在相似高度抛光的蓝宝石或者硅片这种原子级润滑外表上成长,那么DLC膜的外表也会十分润滑,然后削减机械互锁相应。DLC涂层的表面硬度高达20-90 GPa,比一般的表面处理技术要高。广东低温DLC涂层技术

DLC涂层的低摩擦系数和高硬度使得其具有优异的耐磨性。广东低温DLC涂层技术

在涂覆完成后,需要对成形后工件的膜层质量进行检测,包括工件的光泽、膜层的厚度是否均匀而且尺寸在控制范围之内,以及膜层是否出现分层现象等。如果成形后的膜层出现光泽不均匀、有花纹现象,则有可能是靶材的材质的纯净度不够,含有较多的杂质所致。另外还有一种可能性是涂覆设备出现了问题,没有稳定的工艺环境。出现这种情况,首先要排查是否设备出现了问题,如果不是则必须更换靶材。在设备稳定的情况下,膜层的厚度取决于成形的工艺时间.出现膜层厚度超差一般都是处理时间过长或过短所致,只要调整处理时间就可以解决问题。广东低温DLC涂层技术

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