天津光学传感器MEMS工艺检测与成果转化

走进宁波启朴芯微的实验区，仿佛进入了一个科技的新时代。先进的设备如同忠诚的卫士，守护着科技的秘密。科研人员们在这里挥洒着智慧和汗水，不断探索着科技的未知领域。8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线在这里高效运转，为我国芯片产业的发展注入了新的活力。**研发室和光学实验室里的创新成果，为科技的发展提供了新的动力。百级/万级室内MEMS加工无菌车间和微纳加工实验室的严格管理，确保了产品的质量和安全。这里的一切，都让人感受到了科技的魅力和力量。围绕MEMS结构设计、测试、加工可行性方案，启朴芯微积极参与业内讨论和技术交流。天津光学传感器MEMS工艺检测与成果转化

宁波启朴芯微系统技术有限公司（以下简称“启朴芯微”）是一家专注于微机电系统（MEMS）技术研发与产业化的****，成立于西北工业大学宁波研究院的孵化体系中，并在短时间内凭借技术创新与产业化能力快速崛起。公司聚焦MEMS器件设计、工艺开发及代工服务，拥有自主可控的8英寸MEMS工艺产线，兼容6/4英寸晶圆级加工，覆盖光刻、深硅刻蚀、薄膜沉积、晶圆键合、激光切割等**工艺能力，为行业提供从结构设计到封装测试的全链条服务36。其技术团队在MEMS领域经验丰富，尤其在光学类与SOI（绝缘体上硅）特色工艺方面具备***优势，例如通过原子层沉积（ALD）技术实现高精度薄膜制备，提升器件性能与可靠性。天津光学传感器MEMS工艺检测与成果转化启朴芯微，全程掌握从业务签订、开单生产到暂存、发货等环节。

走进宁波启朴芯微的实验区，仿佛进入了一个科技的世界。先进的设备琳琅满目，科研人员们忙碌地工作着。8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线在这里高效运转，每一道工序都经过精心设计和严格把控。**研发室里，创新的思维不断碰撞，新的技术和方法不断涌现。光学实验室中，科研人员们利用先进的光学设备，对产品进行深入的研究和分析。百级/万级室内MEMS加工无菌车间和微纳加工实验室，为产品的质量提供了坚实的保障。这条产线的建立，不仅提升了我国在芯片领域的自主创新能力，还为我国科技产业的发展注入了强大的动力。

宁波启朴芯微系统技术有限公司成立于2022年9月，是一家专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案的科技研发型企业，自主可控国内首条8英寸MEMS研发中试ODM产线，具备光刻、深硅刻蚀、键合、PVD、ALD、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、CMP、激光隐形切割、SEM、FIB等加工与测试能力，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工。作为一个兼具产品开发能力和技术加工能力的科技型企业，本着“斫雕为朴，芯程再启”的企业宗旨，启朴芯微将展示在MEMS产品设计、晶圆加工、工艺检验等不同环节的技术服务能力，包括但不限于既往的光刻、深硅刻蚀、键合、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、激光隐形切割、光谱椭偏测试、傅里叶红外光谱测试、探针台阶测试等服务方案和应用成果。启朴芯微，持续追求“精耕细耘，以业为本”的服务目标，精益求精！

8英寸MEMS研发中试ODM产线，配套激光隐切机、光刻机、深硅刻蚀机等一整套前沿技术设备，由此，启朴芯微具备为客户提供质量产品服务的能力，百级/万级室内MEMS加工无菌车间和微纳加工实验室，赋予启朴芯微强大的**加工与测试能力，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工，更充分支持实现国内MEMS技术企业、科研院所和高校的结构设计、工艺开发、流片代工和测试应用需求。宁波启朴芯微系统技术有限公司专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案，拥有自主可控的宁波i首条8英寸MEMS研发中试ODM产线，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工。公司持续构建具有凝聚力、自驱力的智能传感领域工程师队伍。天津光学传感器MEMS工艺检测与成果转化

通过定制开发、项目互补与公司直营相结合的方式，启朴芯微的服务模式灵活多样！天津光学传感器MEMS工艺检测与成果转化

在MEMS智能制造与智能传感装备设计研究领域，启朴芯微拥有一支由专业博士组成的精英团队，曾多次获得**、省部级技术发明奖项，并参与国家标准制定，在微纳传感器件的设计、制造、应用领域经验丰富。自成立以来，本着“斫雕为朴，芯程再启”的宗旨，启朴芯微持续参与MEMS智能制造与智能传感装备的设计研究，已形成多项发明专利、实用新型专利，团队凭借深厚的学术背景和丰富的实践经验，不断攻克技术难关，推动公司产品和服务的持续升级，赢得了广大客户的信赖和支持。天津光学传感器MEMS工艺检测与成果转化