宁波智能MEMS产品设计与成果转化

8英寸MEMS研发中试ODM产线，配套激光隐切机、光刻机、深硅刻蚀机等一整套前沿技术设备，由此，启朴芯微具备为客户提供质量产品服务的能力，百级/万级室内MEMS加工无菌车间和微纳加工实验室，赋予启朴芯微强大的**加工与测试能力，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工，更充分支持实现国内MEMS技术企业、科研院所和高校的结构设计、工艺开发、流片代工和测试应用需求。宁波启朴芯微系统技术有限公司专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案，拥有自主可控的宁波i首条8英寸MEMS研发中试ODM产线，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工。宁波启朴芯微系统技术有限公司自主可控8英寸MEMS研发中试ODM产线，具有MEMS制造优势。宁波智能MEMS产品设计与成果转化

MEMS技术已渗透到消费电子、汽车、医疗、工业及航空航天等多个领域。在消费电子中，智能手机依赖MEMS加速度计、陀螺仪实现屏幕旋转和运动追踪，麦克风与气压计也基于MEMS技术；智能手表通过光学MEMS传感器监测心率。在汽车行业，MEMS压力传感器用于发动机控制，安全气囊的触发依赖加速度计，胎压监测系统（TPMS）也由其实现。医疗领域，MEMS被用于可穿戴健康监测设备、微型药物输送泵及高精度手术工具，例如内窥镜中的**头。此外，工业自动化中的振动监测、环境传感（如温湿度、气体检测）以及航空航天中的惯性导航系统均离不开MEMS。其小型化和低功耗特性尤其适合物联网（IoT）设备，推动了智慧城市和远程监测的发展。宁波智能MEMS产品设计与成果转化启朴芯微，将持续开展特种光学产品应用与推广，助力行业发展！

精耕细耘，以业为本。面对目前国内光学传感领域实际需求，启朴芯微同样将展出由项目团队自主研发的小型高光谱相机产品。该系统以光功能芯片为中心，通过对连续的物体光谱采集,以获取反射、辐射光谱信息。多年以来技术团队持续攻关，将结构轻便、精细度高、材料强度高、可定制性等技术优势赋予光谱成像系统的研制工艺，形成了具有自主知识产权的光谱滤波芯片及其成像系统，同时通过自主掌握MEMS晶圆级加工制造能力，实现集成芯片和模块化光谱成像相机的自主研制，可以为典型目标的探测识别提供了有力保障。

宁波启朴芯微系统技术有限公司成立于2022年9月，是一家专注于像元级光谱和偏振超维光学芯片及光学系统解决方案的科技研发型企业，自主可控国内首条8英寸MEMS研发中试ODM产线，具备光刻、深硅刻蚀、键合、PVD、ALD、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、CMP、激光隐形切割、SEM、FIB等加工与测试能力，兼容8/6/4英寸晶圆级微纳加工。作为一个兼具产品开发能力和技术加工能力的科技型企业，本着“斫雕为朴，芯程再启”的企业宗旨，启朴芯微将展示在MEMS产品设计、晶圆加工、工艺检验等不同环节的技术服务能力，包括但不限于既往的光刻、深硅刻蚀、键合、湿法腐蚀与清洗、氧化退火、激光隐形切割、光谱椭偏测试、傅里叶红外光谱测试、探针台阶测试等服务方案和应用成果。启朴芯微技术团队持续攻关，将技术优势赋予光谱成像系统的研制工艺。

启朴芯微团队自主研发的消高反光特种视觉检测系统，是科技创新的典范。它的研发过程充满了挑战和机遇，团队成员们凭借着坚定的信念和不懈的努力，成功突破了技术瓶颈。这一系统的应用，不*提高了工业制造品的检测效率，还推动了我国在工业检测领域的技术进步。同时，它也为其他领域的技术创新提供了有益的借鉴。在未来，相信这一系统将在更多的领域得到应用，为我国科技发展做出更大的贡献。宁波启朴芯微的实验区，是科技创新的摇篮。先进的设备和***的科研人员，共同孕育着科技的希望。8英寸MEMS规模化加工服务ODM产线在这里不断发展壮大，为我国芯片产业的发展提供了强大的动力。**研发室和光学实验室里的创新成果，不断推动着科技的进步。百级/万级室内MEMS加工无菌车间和微纳加工实验室的严格管理，确保了产品的质量。这里的一切，都彰显着科技的力量和魅力。启朴芯微，通过自主掌握MEMS晶圆级加工制造能力，实现集成芯片和模块化光谱成像相机的自主研制！宁波智能MEMS产品设计与成果转化

以MEMS光功能芯片为中心，加以启朴芯微前沿技术的支撑，让传感更智能。宁波智能MEMS产品设计与成果转化

秉承“斫雕为朴，芯程再启”的企业宗旨，启朴芯微致力于将先进的光刻、深硅刻蚀、键合等技术服务方案应用于实际生产中，不断提升产品的性能和品质，以满足客户日益增长的多样化需求。启朴芯微自主研发的小型高光谱相机产品，以光功能芯片为，通过对连续的物体光谱进行高精度采集和分析，能够获取丰富的反射和辐射光谱信息，为科研、医疗、环境监测等领域提供了强有力的技术支持。启朴芯微团队充分发挥自身技术优势，利用MEMS芯片结构轻便、精细度高、材料强度高等特点，研制具有自主知识产权的光谱滤波芯片及其成像系统，其通过像素级定标技术实现图像精细分析，比较大限度避免强光干扰问题，极大提升了工业制造品检测效率，为光学传感技术的发展注入了新的活力，同时，启朴芯微力求提高产品定制化设计服务质量，持续开展特种光学产品应用与推广，围绕MEMS产品可行性方案积极参与行业交流。宁波智能MEMS产品设计与成果转化