并使转动部件围绕上下方向的轴进行转动。转动部通过来自转动驱动部的驱动力而转动，能够使升降驱动部54或者保持部53围绕上下方向的轴进行转动。通过该转动部能够将被保持部53保持的物品2的朝向改变。此外，高架搬运车50也可以不具备转动部。图6是表示第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51的一个例子的图。第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51例如采用共用的结构(同一结构或者大致同一结构)。另外，对于顶棚轨道10中的第1区段内顶棚轨道11、第二区段内顶棚轨道12、第1区段间顶棚轨道13、以及第二区段间顶棚轨道14而言，与行驶方向正交的平面的截面相同或者大致相同，第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51中的任一者均能够行驶。这样，由于第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51共用，因此无需按照其他结构制造第1、第二行驶部41a、41b与行驶部51，能够减少第1、第二起重机40a、40b和高架搬运车50的制造成本。第1、第二行驶部41a、41b和行驶部51具有：多个车轮71a，它们与顶棚轨道10的下方的内表面抵接；和行驶部主体71b，其安装有上述多个车轮71a。行驶部主体71b具备用于驱动车轮71a的行驶驱动部、和各种传感器。顶棚轨道10具备供电部70。江宁区常见真空搬运机推荐厂家！栖霞区包装袋真空搬运机
第1、第二起重机40a、40b在下层的第1、第二保管部20a、20b与上层的第1、第二保管部20a、20b之间搬运物品2。高架搬运车50沿着顶棚轨道10(第1区段内顶棚轨道11、第二区段内顶棚轨道12、第1区段间顶棚轨道13、以及第二区段间顶棚轨道14)移动，在第1、第二处理装置tl1、tl2的装载端口lp、第1、第二保管部20a、20b、以及第1、第二交接端口30a、30b之间进行物品2的交接。图5是表示高架搬运车50的一个例子的图。如图5所示，高架搬运车50具有行驶部51和主体部52。行驶部51与第1、第二行驶部41a、41b相同地，具备未图示的行驶驱动部和多个车轮71a(参照图6)，并沿着顶棚轨道10行驶。行驶驱动部例如可以是设置于行驶部51且驱动车轮71a的电动马达，也可以是使用顶棚轨道10设置的线性马达。主体部52经由安装部52a安装于行驶部51的下部。主体部52具有：保持部53，其保持物品2；升降驱动部54，其悬挂保持部53且使其升降；以及横向伸出机构55，其使升降驱动部54移动。保持部53通过把持物品2的凸缘部2a而悬挂保持物品2。保持部53例如是具有能够沿水平方向移动的爪部53a的卡盘，使爪部53a侵入至物品2的凸缘部的下方，使保持部53上升，由此保持物品2。栖霞区包装袋真空搬运机六合区牛皮袋真空搬运机推荐厂家！
在图1至图3中包括有：1——机械手安装架11——固定安装竖板111——活动槽12——竖板固定座2——中间活动板3——前端活动架4——水平导轨副41——水平导轨42——水平滑块5——竖向导轨副51——竖向导轨52——竖向滑块61——吸盘安装架62——真空吸盘71——活动架驱动块72——活动架驱动轴73——轴承8——机械手驱动电机9——驱动轴拨动块。具体实施方式下面结合具体的实施方式来对本实用新型进行说明。如图1至图3所示，一种新式真空搬运式机械手，包括有机械手安装架1，机械手安装架1包括有呈竖向布置的固定安装竖板11，固定安装竖板11的下端侧装设有竖板固定座12，竖板固定座12的上端部与固定安装竖板11螺接。进一步的，固定安装竖板11的前端侧可相对活动地装设有分别呈竖向布置的中间活动板2、前端活动架3，前端活动架3位于中间活动板2的前端侧，中间活动板2与固定安装竖板11之间装设有呈水平横向布置的水平导轨副4，前端活动架3与中间活动板2之间装设有呈竖向布置的竖向导轨副5，前端活动架3的下端部装设有吸盘安装架61，吸盘安装架61装设有真空吸盘62。更进一步的，固定安装竖板11的前表面开设有呈“n”形状的活动槽111，前端活动架3螺装有活动架驱动块71。
图2为吸盘主视剖面示意图；图3为吸盘仰视图示意图；图4为子吸盘剖面图示意图；其中：1-吊架，2-吸盘，3-舵把，4-吊环，5-控制按钮，6-密封腔，7-子吸盘，8-夹板，9-气管，10-气罩，11-皮套，12-拉杆，13-挡板，14-限位环，15-气孔，16-缓冲环，17-支撑杆。具体实施方式以下结合具体实施例对本实用新型的技术方案进行说明。实施例1如图1-4所示，一种真空吸吊机，包括吊架1，吊架1正面安装有6个吸盘2，吸盘2截面为圆形，吸盘2包括密封腔6，密封腔6由厚度为3-5mm的不锈钢材料围制焊接而成，密封腔6上端连接有气管9，密封腔6下端呈梅花状安装有5个子吸盘7，各子吸盘7下端面相平，子吸盘7包括气罩10，气罩10截面为圆形，气罩10靠近下端的截面面积大于靠近上端的截面面积，气罩10上端与密封腔6连通，气罩10下端密封固定有皮套11，皮套11由乳胶制成，皮套11中间位置夹有夹板8，夹板8为圆形，夹板8夹紧在皮套11两面，夹板8上端中间围制固定有向上的拉杆12，气罩10上端与拉杆12对应位置处开有导向孔，气罩10上环绕导向孔还环绕开有4个气孔15，气孔15下端外侧还固定有缓冲环16，缓冲环16由乳胶制成，拉杆12上还固定有挡板13，挡板13截面为向下的锥形。雨花台区糖袋真空搬运机推荐厂家！
本发明涉及搬运系统以及搬运方法。背景技术：在半导体制造工厂等制造工厂中，为了将收容半导体晶圆的foup或者收容中间掩模的中间掩模盒(reticlepod)等物品在处理装置的装载端口、保管部以及交接端口之间进行搬运，提出有使用沿着铺设于顶棚的轨道行驶的高架搬运车、和沿着与高架搬运车的轨道地铺设于地板面的轨道行驶的起重机的结构(例如，参照文献1)。文献1:日本第5880693号公报文献1中记载的高架搬运车和起重机均能够访问装载端口、保管部以及交接端口，但由于在不同的轨道行驶，因此需要与高架搬运车和起重机对应地，分别设置顶棚的轨道和地板面的轨道。因此，存在不仅对轨道的设置花费成本，需要用于铺设各轨道的空间，而且需要使处理装置或者保管部等的设置位置与两个轨道对应，因此对处理装置等的布局产生限制的问题。技术实现要素：本发明的目的在于提供能够通过将供高架搬运车和起重机行驶的轨道共用化而减少轨道的设置成本，并且分担高架搬运车与起重机的作用，由此高效地搬运物品的搬运系统以及搬运方法。本发明所涉及的搬运系统具备：第1区段内顶棚轨道，其从第1处理装置的装载端口的正上方错开并且沿着第1处理装置的装载端口设置；第二区段内顶棚轨道。雨花台区牛皮袋真空搬运机推荐厂家！栖霞区包装袋真空搬运机
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第1区段间顶棚轨道13经由第1连接轨道15与第1区段内顶棚轨道11和第二区段内顶棚轨道12各自的一个端部(+y侧的端部)连结。第二区段间顶棚轨道14经由第二连接轨道16与第1区段内顶棚轨道11和第二区段内顶棚轨道12各自的另一个端部(-y侧的端部)连结。第1连接轨道15具有入口部15a和出口部15b作为两个轨道。入口部15a形成供高架搬运车50从第1区段间顶棚轨道13向第1区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12行驶的路径。出口部15b形成供高架搬运车50从第1区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12向第1区段间顶棚轨道13行驶的路径。第二连接轨道16与第1连接轨道15相同地，具有入口部16a和出口部16b作为两个轨道。入口部16a形成供高架搬运车50从第二区段间顶棚轨道14向第1区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12行驶的路径。出口部16b形成供高架搬运车50从第1区段内顶棚轨道11或者第二区段内顶棚轨道12向第二区段间顶棚轨道14行驶的路径。此外，在本实施方式中，示出第1连接轨道15与第二连接轨道16是同一形状或者大致同一形状的例子，但第1连接轨道15与第二连接轨道16也可以是不同的形状。如图1所示，第1保管部20a和第1交接端口30a配置于第1保管区域sa1。如图1所示。栖霞区包装袋真空搬运机
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