目前，市面上定位器主要的形式有三种：（1）燕尾导向型。使用燕尾导向机构，可有效地降低产品成本。缺点是，直线导向精度比交叉滚子导轨要差，并不适用于高精度操作。通常看到该类配置都是与配套了体视显微镜的探针台搭配使用。（2）交叉滚子导轨导向型。相比于燕尾导轨，直线精度有效地提高了。适用于目前大部分客户的定位需求。缺点是，超高倍数下因为机构原因（XYZ机构是像蛋糕一样一层叠一层），手部操作的震动很容易传递到探针上。在高倍下探针的震动会被观察到，很影响用户扎探针。比如要把探针扎到几微米甚至1微米左右的PAD上，将会相对比较困难。（3）交叉滚子导向、高稳定型。该结构设计把定位器上移动机构（XYZ）和驱动丝杆分开，能有效地将手部操作产生的震动隔离，实现真空意义上的高精度、高稳定操作（Submicron Probing）。探针台能够探测人类目前尚未发现的天文现象。浙江IC探针台怎么样
探针台的基本组件，探针台由六个基本组件组成：Chuck – 一种用于固定晶片或裸片而不损坏它的装置。载物台 – 用于将卡盘定位在 X、Y、Z 和 Theta (θ) 上。机械手——用于将探头定位在被测设备 (DUT) 上。压板 - 用于固定操纵器并使探针与设备接触。探头先进和臂 - 安装在机械手上，它们直接接触设备。光学 - 用于查看和放大被测设备和探头先进。它是如何工作的？探针台将晶圆或芯片固定在安装在平台上的卡盘上，该平台允许将 DUT 定位在显微镜视野的中心。浙江IC探针台怎么样探针台是人类探索宇宙、了解自身的一所宝库。
让一个好的探针台与众不同并为您的测试增加价值的是它能够精确控制这些探针在设备上的位置、外部刺激的应用方式以及测试发生时设备周围的环境条件。探针台由六个基本组件组成：Chuck – 一种用于固定晶片或裸片而不损坏它的装置。载物台 – 用于将卡盘定位在 X、Y、Z 和 Theta (θ) 上。机械手——用于将探头定位在被测设备 (DUT) 上。压板 - 用于固定操纵器并使探针与设备接触。探头先进和臂 - 安装在机械手上，它们直接接触设备。光学 - 用于查看和放大被测设备和探头先进。
对于正常情况下的定子则要定期作除尘清理工作，清理时应先通入大气以便动子移动，方法是用脱脂棉蘸少许大于95%的无水乙醇，轻擦定子表面，然后用专门使用工具撬起动子，方法同前， 轻擦动子表面，动子的表面有若干个气孔，它是定子和动子间压缩空气的出孔，观察这此气孔的放气是否均匀，否则用工具小心旋开小孔中内嵌气孔螺母检查是否有杂质堵塞气孔，处理完毕后应恢复内嵌气孔螺母原始状态。需要特别注意的是在未加压缩空气时不可强行拉动动子，以免造成定子及动子的损伤。平面电机应使用在环境温度15～25 ℃，相对湿度小于50%的环境中，其所需的压缩空气必须经过干燥过滤处理且与环境空气温度差值小于5 ℃，气压为0．4±0．04MPa。探针台的建设和运行需要具备高度的专业素养和严谨性。
探针台的作用是什么？探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在硅晶片上，从而可以与测试仪器/半导体测试系统配合来测试芯片/半导体器件。晶圆检测是半导体制造中必不可少的步骤，选择合适的晶圆探针台和探针来进行晶圆检测也很重要。克洛诺斯较新自主研发的超精密气浮运动平台具有极高精度和运动稳定性，让系统在快速运行时，能准确识别和测量出晶圆的种种缺陷，较大程度上提高晶圆检测效率。注：这里我们主要以射频探针台为例总结探针台的应用。以RF微波射频在片测试为例，在片测量是指使用探针直接测量晶圆（Wafer）或裸芯片（Chip）的微波射频参数。相比于常规的键合/封装后的测量，微波射频在片测量消除了封装及键合丝引入的寄生参数，可以更准确的反应被测芯片的射频特性。微波射频在片测量普遍应用于器件建模、芯片检验等领域。探针台开展的研究和观测任务需要高精度的仪器和设备。浙江IC探针台怎么样
探针台建设需要综合考虑技术、人力、资金等众多因素。浙江IC探针台怎么样
半自动型，chuck尺寸800mm/600mm，X,Y电动移动行程200mm/150mm，chuck粗调升降9mm，微调升降16mm，可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜，针座摆放个数6～8颗，显微镜X-Y-Z移动范围2"x2"x2"，可搭配Probe card测试，适用领域：8寸/6寸Wafer、IC测试之产品。电动型：chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不锈钢或镀金），X,Y电动移动行程300mm x 300mm，chuck粗调升降9mm，微调升降16mm，微调精度土1u，可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜，针座摆放个数8～12颗，显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“，材质：花岗岩台面+不锈钢，可搭配Probe card测试，适用领域：12寸Wafer、IC测试之产品。浙江IC探针台怎么样