皮带TOYO机器人推杆模组

TOYO直线电机型号说明

以LFT2-RHS2-N-4688-LS10-R-N-05H-LC100-A001为例

LTF2：指的是本体型号

RHS2：指的是本体固定方式及线槽出线方向。（有多种线槽与出线方式，具体参考TOYO直线电机型录，一般建议线槽自己配。）

N：指的是动子数量（N：单动子；D：双动子）

4688：指的是行程，不同动子的有效行程不一样。

LS10：指的是编码器（标配是1μ光学尺或1μ磁性尺-TS10）

R：指的是原点位置（L/R）

N：指的是感应器数量

05H：05表示驱动器的线长，H指的是霍尔线

LC100：指的是驱动器（可配高创、三菱、松下、台达等）

A001：特注码 TOYO机器人打造智能生产新模式。皮带TOYO机器人推杆模组

TOYO模组特注码介绍：TOYO标准特注码有外拉式注油嘴位置（NL注油嘴在滑座左侧、NR注油嘴在滑座右侧、NRL滑座两侧都有注油嘴）、标准PIN孔/销钉孔（P标准PIN孔）、外观染黑处理（EB）、电机传动配件追加键槽（CMK马达侧单边：联轴器、皮带轮加键槽；SKY双边联轴器加键槽，转折模组不适用，需要非标；SKN双边：不带联轴器）。

以上是模组标准特注码，除此之外，模组还能对滑座进行非标：双滑座（同向同动/反向同动）、滑座加长；电机法兰座工厂也会根据客户使用的电机品牌进行非标处理。

本体/滑座工厂基本不会接受特殊定制。 皮带TOYO机器人推杆模组TOYO机器人，高效作业，降低企业生产成本。

预防直线模组的故障需要综合考虑设计、安装、使用和维护等多个方面。以下是一些预防措施：设计和选型阶段：1.正确选型：根据应用需求选择合适的模组型号，包括负载能力、精度、速度等。2.冗余设计：在可能的情况下，设计时考虑冗余系统，以防主要系统故障。安装阶段：1.精确安装：确保模组的安装精度，包括水平度、平行度和垂直度。2.牢固固定：所有固定件应牢固安装，防止运行中松动。3.适当的间隙：确保所有运动部件之间有适当的间隙，避免过紧或过松。使用阶段：1.适当加载：避免超过模组的额定负载。2.平稳操作：避免急剧加速或减速，减少冲击和振动。3.定期检查：定期检查模组的状态，包括润滑情况、磨损程度和温度变化。

在半导体行业，直线电机因其高精度、高速度、高加速度和长行程等特点，被广泛应用于多个制造和加工环节。以下是一些具体的应用场景：

晶圆制造：①晶圆切割：直线电机用于晶圆切割机的精确控制，确保晶圆切割的精度和效率。②晶圆清洗：在晶圆清洗设备中，直线电机用于控制清洗头的运动，以实现均匀清洗。

光刻：①光刻机：直线电机用于光刻机的曝光系统，精确控制掩模对晶圆的定位和曝光，以实现微米级甚至纳米级的图案转移。

硅片加工：①蚀刻机：直线电机用于蚀刻机的硅片传输和定位，确保蚀刻过程的高精度。②离子注入：在离子注入机中，直线电机用于精确控制离子束对晶圆的注入角度和位置。

芯片封装：①芯片贴装：直线电机用于芯片贴装机，精确地将芯片放置到引线框架或基板上。②打线机：在打线机中，直线电机用于精确控制打线头，将金线或铜线连接到芯片的焊盘上。 TOYO机器人，准确控制，确保生产过程稳定可靠。

TOYO直线电机的特点：⑤特殊散热机构，动子散热效率佳。将自行开发的特殊散热机构包裹在线圈外侧，让动子在运行过程中可以快递的散热，增加动子的效率。⑥结构磨损小，可长时间维持精度。一般滑台由丝杆及皮带进行驱动，丝杆长时间使用，有磨损情形；而皮带模组，每年固定时间需把皮带拉紧，以维持精度。直线电机无驱动件磨耗，长时间对整台机台的系统精度可维持水准。⑦（以LGW有效行程1000mm时）直线度±0.02mm/m，平面度±0.002mm/m。⑧长行程/高精度/高速度/低噪音可同时满足。⑨速度稳定性佳：以500mm/s的速度移动时，速度波动性LGF可以控制在0.8%以下、LAU可以控制在0.4%以下、LMR可以控制在0.5%以下，适合用在检测设备上的视觉系统的取向移动装置。⑨长寿命/低噪音/保养简单。TOYO伺服电缸搭配XC100驱动器。皮带TOYO机器人推杆模组

TOYO大理石平台为半导体设备提供精度保证！皮带TOYO机器人推杆模组

纳米级气浮平台技术：纳米级平台研制的一个关键部件是支承导轨，常规的接触摩擦副式导轨，比如交叉滚子导轨、直线滚珠导轨等，会因为导轨和滚珠之间的摩擦磨损而对平台的精度及其稳定性带来不利影响，难以长期稳定的实现纳米级精度要求。基于空气轴承的气浮式导轨由于没有直接的机械接触，运动件和支承件之间的支承介质是高压空气，因而可以实现很高的精度，并保持长期的精度稳定性。所以，采用空气轴承作为导轨组件是实现纳米级平台的一个重要选择。皮带TOYO机器人推杆模组