半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有害的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项：1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压。半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。2、有效稀释有害气体的浓度。半导体易产生前面所说的易燃易爆、有害的有害气体，因此半导体真空泵在抽取这些介质时，需要用氮气之类的惰性气体，在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。3、注意氧气的浓度。空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及易爆风险。所以一些情况下需注意氧的浓度，采用惰性气体来稀释，防止浓度过高。4、防止温度过高。半导体在真空泵的应用中，有害气体比较多，而无论是干式真空泵还是油封机械泵，泵腔内温度过高，高温下易燃易爆及有害气体就会容易发生危险。作为一家年轻和富有活力的气体装备公司，昊青向业内成熟品牌看齐，对标其产品性能和服务品质。湖北性能优良真空泵现价
油真空泵如何机械维护?对油真空泵的维护保养应注意以下方面：1.水会腐蚀油真空泵，所以含水的物质禁止使用油真空泵抽真空。2.含有大量溶剂的物质请首先在烘箱中除去大部分的溶剂后，再使用油真空泵抽真空。3.按正确的顺序使用真空泵，以防止倒吸现象发生。4.使用完真空烘箱后，务必做好清洁工作，擦干净真空烘箱的玻璃窗。5.擦净表面防锈油。6.***调速器内腔、喷油真空泵内腔的防锈油，加入规定牌号的润滑油。7.燃油管路里的防锈油也应在使用前清理干净，将燃油接入喷油真空泵管路，不断地转动喷油真空泵凸轮轴，直至出油阀紧座喷出洁净的燃为止。8.燃油选用合理。9.必须使用标号合适的燃油。一般夏天使用0号柴油，冬季使用-10号轻柴油。10.使用的燃油必须干净，不得含有任何杂质和水分。湖北性能优良真空泵现价为了共同守护我们的碧水青天，让人类的蓝色家园更加美丽，昊青气体装备将以上下求索，以求基业长青。
根据真空度高低和真空泵不同，真空吸送可分高真空吸送和低真空吸送。高真空吸送一般多采用喷射泵、水环泵为动力源，系统的真空度较高，一般为5*104Pa-3*104Pa，气流量也较小，国内sz-4水环真空泵在真空度为60%时，理论空气流量只有660m3/h。低真空吸送一般多采用离心风机和通风机为动力源，系统的真空度较低，一般在9*104Pa-8*104Pa，所以输送距离较近，不超过5Om，但风量较大，如经常采用的7一17一91/2风机，风量可达1800m3/h。真空吸送在国内外已经得到普遍的应用，从大型轮船的装卸到冶金、铸造工厂散状物料以及面粉厂、啤酒厂的运输、集尘、清灰、灰处理等，总之只要有散状料运输和处理的地方均可采用这种方法。资料报导国外已将真空吸送装置在专门厂家生产，并将整个系统定型部件做到标准化、系列化。
真空泵分为气体输送泵和气体粘合或捕集泵。气体容积式真空泵可以没有限制地使用，而气体粘合真空泵具有有限的气体吸收能力，并且必须在一定的过程相关间隔进行再生。气体容积式泵，也被称为气体输送泵，被分类为往复容积式泵或动能真空泵。容积泵将密封区域的气体置换到大气或下游泵级中。动能泵通过机械驱动系统或通过在抽吸部分结束时冷凝的引导蒸汽流在抽吸方向对气体进行加速来置换气体。气体粘合真空泵通过吸气或在合适温度冷凝气体的方式将气体粘合到特别的活性衬底上。化学吸附是通过被称为吸气泵的泵类型在技术上进行的，该吸附泵通过蒸发和/或升华或溅射不断地产生纯净的吸气面。如果要结合的气体粒子在与吸气面进行相互作用之前在离子吸气泵中被电离了，则它们可通过溅射清洁吸气面的同时被溅射的材料掩盖。非蒸散型吸气剂(NEG)包括反应性高的合金，其主要由锆或钛组成，并且具有非常大的比表面积。气体可以通过微孔渗透到吸气材料的深层里，并在那里结合成稳定的化合物。使用真空泵对薄膜进行抽真空处理，以使树脂可以穿过所有的孔以实现更好的扩散状态。
螺杆式真空泵是容积式真空泵中的新兴成员，出现于上世纪90年代前后，发展较晚。但作为一种理想干泵，螺杆式真空泵在面世后获得了快速发展，它也是昊青气体装备的主要产品领域之一。现在就跟随小编去了解一下它的情况。螺杆式真空泵脱胎于螺杆式压缩机与螺杆液体输送泵，是容积式真空泵中一种较为理想的真空泵。它能提供清洁无油的真空环境，并且对腐蚀性气体、可凝性蒸气、含粉尘颗粒气体有较强适应性，因此在电子半导体、制药、石化等一些对清洁真空环境要求严格、气体成分复杂的行业领域，螺杆式真空泵备受青睐。螺杆式真空泵通过一对非对称螺杆转子的相向运动，来周期性改变齿间容积实现输送气体，达到抽气的目的。它具有以下特点：1、清洁无油，多相混输，适应性普遍。螺杆式真空泵转子间存在严格间隙，泵腔内无油，可抽除腐蚀性气体、有害及含粉尘、可凝性蒸气等复杂气体。2、结构简单，动平衡好，可靠性高。螺杆式真空泵零部件少，主要部件无易损件，也无不平衡惯性力，运转可靠，寿命长。3、因结构简单，零部件少，所以操作、维修维护简便。4、强制输气，可以在宽压力范围内保证较大抽速，排气量几乎不受排气压力影响。简单的真空机组就是一台直排大气的真空泵。湖北性能优良真空泵现价
真空泵使用前应了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气、有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。湖北性能优良真空泵现价
真空泵机组的严密性是其一个重要的指标, 真空严密性应每月检测一次, 机组检修后更应核实真空度指标。无论什么情况，必须保持真空泵机组符合规划要求。为了提高真空严密性, 真空泵机组应做大量工作。每次停机检修前, 都要进行仔细分析, 排出漏气疑点, 在检修中加以消除。其中包括采用灌水法, 对负压区发现的渗漏加以消除。按设计要求, 在正常情况下一台真空泵运行, 但实际难以维持真空度，不得不开两台真空泵。我们在实际操作中，保持真空泵机组的严密性是真空泵机组达标的重要指标，一般情况下，真空泵机组真空度不达标的主要原因体现在它的严密性，我们在保持真空泵机组的常规运行中，一定注意管道的严密性，以免造成性能达标而运行失误。湖北性能优良真空泵现价
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