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SEM原位加载设备扫描电子显微镜：扫描电子显微镜，简称为扫描电镜，英文缩写SEM（ScanningElectronMicroscope）。它是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。SEM已大范围的应用于材料、冶金、矿物、生物学领域。通常人眼能够分辨的较小距离为0.2MM，为了观察分析更微小的细节，人们发明了各种观察仪器。出现的是光学显微镜，它利用可见光作为照明束照射样品，再将照明束与样品的作用结果由成像放大系统处理，构成适合人眼观察的放大像。一般而言光学显微镜能分辨的较小距离约为200um，是人眼的一千倍。SEM加载腔的有限尺寸使得原位拉伸台必须通过精密的加工工艺材料生产与组装。江苏Psylotech系统

原位加载扫描电镜的扩展技术：扫描电镜原位加载技术是观测材料在拉伸作用下断裂破坏行为很方便、直观的观测设备，但是，该技术也存在一定的缺陷，如:由于SEM的成本太高，实验系统难以大量普及;SEM加载腔的有限尺寸使得原位拉伸台必须通过精密的加工工艺材料生产与组装，又进一步提高了实验装置的成本;加载腔的尺寸限制还增大了集成多种加载装置的困难，难以对高延伸率的样品进行观测，更难以实现对材料在不同温度载荷作用下细观损伤破坏过程的研究;此外，SEM的观测往往还需对样品进行喷金处理，观测过程要抽真空，使得高感度的危险材料、含水材料、含易挥发物质的材料等的观测形成了困难。江苏Psylotech系统原位加载设备系统双轴单独控制，可实现双轴比例加载、双轴非比例加载、单轴单独加载。

工业CT在各种环境条件下的原位扫描：工业CT是材料无损检测的方法之一，可用于各种样品内部和外部复杂结构的观察、分析和测量等，并越来越被大范围使用。一些特殊的应用，样品需要放置在特殊的模拟环境中进行检测，因此需要将特殊的环境模拟装置与检测设备相结合。对于产品质量控制、长期储存、老化试验和可靠性试验等，这种原位扫描可以提供更准确、可靠的信息，便于提高产品质量和客户使用的安全性。将工业CT扫描装置和环境模拟装置有机结合在了一起，实现了对样品的原位、无损检测和分析。

SEM原位加载设备的基本构造和成像原理：组成部件：电子设备、电子透镜、扫描系统、电子收集系统(形貌分析)、成像荧光屏、X射线接收系统。由电子设备发出的电子束在电场的作用下加速，经过三个透镜聚焦成直径为5nm或更细的电子束。该电子束在样品表面进行逐行扫描，激发样品产生出各种物理信号。信号探测器收集这些并按顺序、成比例地转换为视频信号。通过对其中某种信号的捡测，视频放大和信号处理，之后在显示屏上获得能反映样品表面特征的扫描图象。原位力学加载装置一般是放在检测仪器的舱室内。

加速电压会对扫描电镜的观测造成哪些影响呢？（1）选择高加速电压的优点：加速电压越高入射电子束的波长越短，也就越容易得到高分辨力的图像，还有抗外部电磁场的干扰能力也会增强，也不易受到试样表层污染斑的影响，所以高的加速电压比较适合拍摄高倍率的图像。（2）选择低加速电压的优点：扫描电镜图像的成像信息来源越趋于表面，图像的表面细节就越显得丰富、细腻，特别是会明显减少边缘效应，使得到的图像显得更协调、柔和。另外，低加速电压、小束斑对试样表面的损伤小，不容易造成试样的荷电和图像的漂移，也会减轻对试样的损伤。原位加载系统可以很好的符合目前的力学测试与表征同时进行的要求。江苏Psylotech系统

扫描电镜原位加载设备的真空系统有真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。江苏Psylotech系统

SEM原位加载设备的原理：能显示各种图像的信息是由于聚焦的电子束与样品的相互作用而产生的各种信号。相互作用区的线性体积：a.随原子序数的增加而减小；b.随电子束能量的增加而增加；c.电子束与样品的角度关系是倾斜角增加时，相互作用区变小。样品的成分、加速电压都影响相互作用区，一般情况下，相互作用区比束斑大，每种信号从固体发出的空间范围，是决定扫描图像空间分辨能力的重要因素。为了获得较高的信号强度和扫描像（尤其是二次电子像）分辨率，扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。江苏Psylotech系统

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