本发明涉及一种半导体制造技术,尤其是一种用于晶圆搬运的机械手。 背景技术: 在半导体加工设备中,经常需要将晶圆在各个工位之间进行传送,在传送的过程中,传送精度越...
3、等静压成型 对形状特殊和尺寸大的氧化锆结构陶瓷,需采用等静压成型。等静压成型的坯体由于各方向所受压力均匀相等,且压力大,因此成型后的坯体密度高,均匀性好,烧成收缩小,不易变形、开裂、分层...
整个蛙腿型晶圆搬运机械手共由3个电机实现运动控制。2台直驱电机负责连接晶圆托盘连杆的同步控制,1台直流电机负责整个机械手的上升与下降控制。虽然轴数较少,但对控制的精度、平稳性和可靠性要求极高。整个控制...
(4)致孔剂 加入致孔剂是为了提高陶瓷的气孔率、扩大比表面积。致孔剂主要有天然有机细粉、煤粉、石灰石、白云石、烧沸石、珍珠岩、浮石等。一般来讲,增加致孔剂的用量可以提高陶瓷的气孔率,但是会引...
4、自增韧氧化锆陶瓷由于柱状晶的存在,在氧化锆陶瓷断裂过程中,会导致裂纹发生偏转,改变和增加了裂纹扩展的路径,从而钝化裂纹增加了裂纹扩展阻力,达到增韧的目的。5、弥散韧化弥散韧化主要是指四...
精密结构陶瓷的应用领域: 航空航天:精密结构陶瓷可用于制造航空发动机的叶片、燃烧室部件等,因其轻量化和耐高温的特性可提高发动机的燃油效率。 生物医学:精密结构陶瓷可用于制造人工关节、牙...
本发明针对现有技术中的不足,提供了一种晶圆搬运机械手,本发明的机械手在传送过程中晶片中心始终保证直线运动,且角度不会发生改变。从而提高机械手整体刚度和承重能力,同时提高了重复定位精度。本发明结构合...
区熔法分为两种:水平区熔法和立式悬浮区熔法。前者主要用于锗、GaAs等材料的提纯和单晶生长;后者主要用于硅。为什么有横着和竖着长的不同捏?这是由于硅的熔点高,化学性能活泼,容易受到异物的玷...
耐磨陶瓷,选用进口氧化铝作原料以稀有金属氧化物为熔剂,经1700度高温烧结而成。具有密度大、硬度高、耐磨损、表面光滑等特点。耐磨性能相当于锰钢的266倍,高铬铸铁的171倍。经广泛应用深受广大用户好评...
耐磨防护涂层的施工工艺如下: 一、基材表面处理(对待施工部位进行打磨粗化处理,并清洗干净晾干) 1、将待施工部位表面用电动钢丝刷(或喷砂)进行打磨露出新鲜金属基材,除锈标准达 到Sa2.5级 2、用专...
(7)堇青石、钛酸铝材料,其特点是热膨胀系数小,因而***用于热冲击环境。添加剂(1)助熔剂陶瓷助熔剂的主要作用是降低烧成温度,增加液相,扩大烧成范围,提高坯体的力学强度和化学稳定性。常用...
陶瓷耐磨胶泥的保质期通常是指涂料产品在正常的贮存条件下能够正常施工,并且在施工后能够保证涂料正常性能的贮存期限。一般来说,大部分涂料产品在其说明书中规定的保质期是12个月,易沉淀和在贮存过程中存在缓慢...
***,氧化锆陶瓷能够直接烧成的平面度是非常好的,所以很多后膜集成电路,制冷器以及臭氧发生器等都是由氧化锆陶瓷加工而成的,可以说这种陶瓷材质制作而成的产品比其他材质更具优势。第二,采用注射...
精密结构陶瓷的制作流程通常包括以下步骤:1.原料选择:根据所需陶瓷的性能和用途,选择适当的天然或合成原料。2.配料:将原料和添加剂按一定比例混合,形成配方。3.球磨:通过球磨机将配方中的原料混合物研磨...
高纯型氧化铝陶瓷系Al2O3含量在99.9%以上的陶瓷材料,由于其烧结温度高达1650—1990℃,透射波长为1~6μm,在电子工业中可用作集成电路基板与高频绝缘材料。 氧化锆陶瓷...
一种晶圆传输装置及其真空吸附机械手,该真空吸附机械手包括:手臂;固定在所述手臂上的吸附绝缘凸台;设置在所述手臂和吸附绝缘凸台内的真空气道;所述吸附绝缘凸台用于吸附待传送晶圆的背面,所述吸附绝缘凸台的硬...
(4)致孔剂 加入致孔剂是为了提高陶瓷的气孔率、扩大比表面积。致孔剂主要有天然有机细粉、煤粉、石灰石、白云石、烧沸石、珍珠岩、浮石等。一般来讲,增加致孔剂的用量可以提高陶瓷的气孔率,但是会引...
陶瓷耐磨胶泥的保质期通常是指涂料产品在正常的贮存条件下能够正常施工,并且在施工后能够保证涂料正常性能的贮存期限。一般来说,大部分涂料产品在其说明书中规定的保质期是12个月,易沉淀和在贮存过程中存在缓慢...
组织遗传制备工艺 该工艺是利用植物材质(木材、竹子等)的天然多孔组织,将其在800~1000℃下和惰性气体环境中热解碳化得到与木材多孔结构几乎完全相同的碳预制体。然后以碳预制体为...
随着智能工业的快速发展,我们越来越多的行业都使用了工业机器人代替人工作业,那么我们来说说工业机器人如六轴机器人是怎样的? 六轴工业机器人是一种用于自然科学相关工程与技术领域的工艺试验仪器,六轴机器...
离子交换法层状硅酸纳晶体与十八烷基三甲基溴化铵在水中充分混合,硅酸盐层间的阳离子与铵盐阳离子将自发地进行交换,由于铵盐离子体积较大,硅酸盐的片层结构会因铵盐的引入而发生弯曲变形,弯曲的片层...
3、四方氧化锆多晶体陶瓷 四方氧化锆多晶体陶瓷的晶粒很小,为了使亚稳的四方相保留下来,必须采用超细、高纯的氧化锆粉体,且要准确控制氧化钇的含量,烧结工艺中要采用低的温度(1400℃)。 ...
涂敷操作:以名拓ZB-01搅拌罐耐磨胶泥为例,这款产品较合适的涂层厚度控制在2~8mm,可涂30mm;涂敷时应将均匀混合好的胶逐层涂敷于待修补的部位,首先一层要稍用力压实,使之与基材充分的浸润,排...
高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘),特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面积吸附,同时也可作气浮平台,广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷...
B、成型压力 成型压力在氧化锆干压成型过程中是较关键的,压力太小和太大都不能压制出理想的坯体。压力太小,则烧后产品的密度小,产品收缩大,坯体压实程度不够容易出现分层;而压力太大,坯体也容易出...
挤出成型多孔蜂窝陶瓷 蜂窝陶瓷的成型方法有许多种,挤出成型是**普遍采用的制造方法之一。它的工艺流程为:原料合成-混和-挤出成型-干燥-烧成制品 固相烧结工艺 固相烧结工艺利用微细...
控制策略对柔性机械臂的控制一般有如下方式,1)刚性化处理。完全忽略结构的弹性变形对结构刚体运动的影响。例如为了避免过大的弹性变形破坏柔性机械臂的稳定性和末端定位精度NASA的遥控太空手运动...
陶瓷耐磨胶泥涂料从贮存的场所运抵达施工现场后,需要对涂料产品进行评估,以确定产品的数量能否满足要求和贮存后的涂料质量是否有变化。 1.产品数量的确认,预先评估计算被涂物的面积,从而确定将要涂装的面...
由于氧化锆陶瓷零件强度极高,而且韧性好也是这一陶瓷制品的明显优点。故而凭借这两个优点氧化锆陶瓷零部件被应用在汽车配件领域中,通常在发动机的相关构件中诸如连杆以及活塞帽等部件都可以使用氧化锆陶瓷制品...
耐磨陶瓷涂料施工说明 1、搅拌准备:采用强制搅拌机拌和,所有搅拌工具必须清洁,不得混有泥沙、石灰、硅酸盐水泥等杂物。 2、促凝剂加入,根据施工环境温度,选择促凝剂合适加入量。温度小于20℃时,促凝...