针对半导体晶圆研磨后的应力释放需求,国瑞热控**加热盘以温和温控助力晶圆性能稳定。采用铝合金基体与柔性导热垫层复合结构,导热垫层硬度 Shore A 30,可贴合研磨后晶圆表面微小凹凸,确保热量均匀传...
针对半导体载板制造中的温控需求,国瑞热控**加热盘以高稳定性适配载板钻孔、电镀等工艺。采用不锈钢基材经硬化处理,表面硬度达 HRC50 以上,耐受载板加工过程中的机械冲击无变形。加热元件采用蛇形分布设...
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