白光干涉时域解调方案需要借助机械扫描部件带动干涉仪的反射镜移动,补偿光程差,实现对信号的解调[44-45]。系统基本结构如图2-1所示。光纤白光干涉仪的两输出臂分别作为参考臂和测量臂,作用是将待测的物...
在工业生产过程中,测量作为重要的检测技术,常对各种零部件的表面轮廓进行检测。一般情况下,这类检测多采用接触式传感器进行。但在某些特殊场合,接触式检测难以实施,需采用以激光位移传感器的非接触式检测装置,...
在半导体行业中,激光位移传感器是一种非常重要的工具。半导体芯片是现代电子设备中基础的组成部分,因此制造高质量的半导体芯片对于电子工业来说至关重要。然而,由于半导体芯片尺寸非常小,其制造和生产过程需要高...