新闻中心 - 广东省科学院半导体研究所
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湖南等离子体增强气相沉积真空镀膜价钱原子层沉积技术和其他薄膜制备技术。与传统的薄膜制备技术相比，原子层沉积技术优势明显。传统的溶液化学方法以及溅射或蒸镀等物理方法（PVD）由于缺乏表面控制性或存在溅射阴影区，不适于在三维复杂结构衬底表面...
发布时间：2022.05.02
