2、湿氢法
湿氢法是将Al 粉置于Al2O3中,在适当的位置放入单晶Al2O3以诱导陶瓷生长,放入管式炉内,在湿氢气氛下加热至1400℃,保持2h,湿氢**控制为-30℃。通过控制氢气**起到对其中水蒸气含量的控制,制备得到的氧化铝陶瓷。
湿氢法优点是氧化铝陶瓷以螺旋位错机理生长,产品品质较好。缺点是**不易控制,受环境湿度因素干扰大,且对实验设备影响很大。
3、模板法
目前,研究报道模板法主要是采用棉花纤维和碳纳米管为模板,制备氧化铝陶瓷。主要工艺过程是首先将棉花纤维浸入5%的AlCl3溶液中2min,80℃下干燥24 h,放入刚玉坩锅置于烘箱中分别在 800℃、1000℃和1200℃下烧制2h,即得到多晶的氧化铝陶瓷陶瓷。 通过高温烧结在材料内部生成大量彼此连体或闭合的陶瓷材料.正规微孔陶瓷真空吸盘参考价
新能源材料
1) 多孔陶瓷因其与液体和气体的接触面积大,使电解池的槽电压比使用一般材料低得多,而成为优良的电解隔膜材料,可**降低电解槽电压,提高电解效率,节约电能和昂贵的电极材料。目前陶瓷隔膜材料已用在化学电池、燃料电池、光化学电池中,特别是固体氧化物电池。
2)利用多孔陶瓷制备多孔电极。以多孔气体扩散电极为例,它的比表面积不但比平板电极提高3~5个数量级,而且液相传质层的厚度也从平板电极的10cm压缩到1O~10cm,从而**提高电极的极限电流密度,减少浓差极化。
敏感元件
陶瓷传感器的敏感元件工作原理是当微孔陶瓷元件置于气体或液体介质中时,介质的某些成分被多孔体吸附或与之反应,使微孔陶瓷的电位或电流发生变化,从而检验出气体或液体的成分。比较常用的有温度传感器、湿度传感器、气体传感器以及多功能传感器。 正规微孔陶瓷真空吸盘参考价同时也可作气浮平台,广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。
种微孔真空吸盘工作台的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台,属于机械设备领域。
【背景技术】
[0002]划片刀用于精密加工,由于它的损耗速度非常快,因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机,目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备,在生产过程中发现,现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短,由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形,在生产过程中,随温度变化也会变形加快。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于,提供一种微孔真空吸盘工作台,它能够解决现有技术的不足,提供一种结构更合理,使用寿命更长的工作台。
高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘),特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面积吸附,同时也可作气浮平台,广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输,装置应用***用于平坦,无孔表面的工作平台。使用者通常是机器操作员。在金属加工领域,这是一项安全可靠的工件传输。自动化搬运、对象吸取、定位、精密网板印刷用工作台,利用孔洞透气性陶瓷(氧化铝或碳化硅)接上真空吸力,将工作物(包括晶圆、玻璃、PET膜或其他薄型工作物)放置陶瓷工作吸盘上,利用真空吸力使工作物固定,进行清洗、切割、研磨、网版印刷及其他加工程序。微孔真空陶瓷工作盘是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的**工具,应用于减薄、划片、清洗、搬运等工序。Fountyl公司生产的工作盘可以和日本、德国、以色列、美国及国产的设备配套使用,具有优越的性能价格比。 无论被吸附物是磁性还是非磁性,都可以稳定吸住。
高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘),特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面积吸附,同时也可作气浮平台,广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输,装置应用***用于平坦,无孔表面的工作平台。产品种类:陶瓷柱塞、陶瓷泵芯、陶瓷阀芯、陶瓷活塞、陶瓷轴套、陶瓷吸盘、微孔陶瓷等;材料:氧化铝、氧化锆、氮化硅、碳化硅。使用者通常是机器操作员。在金属加工领域,这是一项安全可靠的工件传输。 微孔真空陶瓷工作盘是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的**工具.正规微孔陶瓷真空吸盘参考价
吸附面材料为多孔陶瓷,实现了高精度自动切割。正规微孔陶瓷真空吸盘参考价
7、复合增韧复合增韧是指在ZrO2陶瓷实际增韧过程中同时采用几种增韧机理,从而提高ZrO2陶瓷增韧效果。在实际应用过程中,根据所要制备氧化锆陶瓷材料的不同性能,来选择具体的增韧机理。8、纳米增韧目前,纳米增韧主要有三种学术观点,即:细化理论,穿晶理论、“钉扎”理论。(1)细化理论认为纳米相的引入能***基体晶粒的异常长大,使基体结构均匀细化,从而提高纳米氧化陶瓷复合材料的强度韧性。(2)“穿晶理论”,认为纳米复合材料中,基体颗粒以纳米颗粒为核发生致密化而将纳米颗粒包裹在基体晶粒内部形成“晶内型”结构。这样便能减弱主晶界的作用,诱发穿晶断裂,使材料断裂时产生穿晶断裂而不是沿晶断裂,从而提高纳米氧化锆陶瓷复合材料强度和韧性。 正规微孔陶瓷真空吸盘参考价
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