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种微孔真空吸盘工作台的制作方法

【技术领域】

[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台，属于机械设备领域。

【背景技术】

[0002]划片刀用于精密加工，由于它的损耗速度非常快，因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机，目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备，在生产过程中发现，现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短，由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形，在生产过程中，随温度变化也会变形加快。

【实用新型内容】

[0003]本实用新型的目的在于，提供一种微孔真空吸盘工作台，它能够解决现有技术的不足，提供一种结构更合理，使用寿命更长的工作台。 平面度、平行度好、**致密均匀、强度高、通透性好、吸附力均匀、易于修整。汕头直销微孔陶瓷真空吸盘参考价

2、工业高温窑炉

氧化铝陶瓷具有优异的耐高温、热稳定性好、热导率低、热容小、耐机械振动等性能，导热系数和容重分别只有传统耐火材料的1/10和1/15，综合性能好，是理想的节能增效耐火材料，用于工作温度高于1400 ℃的钢铁工业各种热处理炉，陶瓷烧成窑，石油化工中的裂解炉、燃烧炉等的隔热炉衬材料。

3、航空航天

氧化铝陶瓷应用于固体火箭发动机喷管，使喷管设计**简化，部件数量减少50%，质量减轻50%。也可应用于航天飞机的隔热材料，美国“哥伦比亚”号航天飞机隔热板衬垫用的是Saffil氧化铝陶瓷，能经受1600 ℃的高温。 汕头直销微孔陶瓷真空吸盘参考价固定盘连接在旋转器上，被固定物可以随着固定盘一起旋转。

氧化锆陶瓷是具有独特的物理和化学性质，如高硬度，低的热传导性，熔点高，抗高温和腐蚀，化学惰性和两性性质，在电子陶瓷、功能陶瓷和结构陶瓷等方面的应用迅速发展。作为特种陶瓷材料在电子、航天、航空和核工业等高新技术领域具有广阔的应用前景。然而氧化锆陶瓷材料的致命缺点是脆性，低可靠性和低重复性，这些不足严重影响了其应用范围。只有改善氧化锆陶瓷的断裂韧性，实现材料强韧化，提高其可靠性和使用寿命，才能使氧化锆陶瓷真正地成为一种广泛应用的新型材料，因此，氧化锆陶瓷增韧技术一直是陶瓷研究的热点。

高纯型氧化铝陶瓷系Al2O3含量在99．9%以上的陶瓷材料，由于其烧结温度高达1650—1990℃，透射波长为1～6μm，在电子工业中可用作集成电路基板与高频绝缘材料。

 氧化锆陶瓷呈白色，含杂质时呈黄色或灰色，一般含有HfO2，不易分离。在常压下纯ZrO2共有三种晶态。氧化锆陶瓷的生产要求制备高纯、分散性能好、粒子超细、粒度分布窄的粉体，氧化锆超细粉末的制备方法很多，氧化锆的提纯主要有氯化和热分解法、碱金属氧化分解法、石灰熔融法、等离子弧法、沉淀法、胶体法、水解法、喷雾热解法等。 通过微小的气孔把空气吸出，便加工物紧贴在陶瓷面上。

有机泡沫浸渍工艺

有机泡沫浸渍法是用有机泡沫浸渍陶瓷浆料，干燥后烧掉有机泡沫，获得多孔陶瓷的一种方发泡工艺法。该法适于制备高气孔率、开口气孔的多孔陶瓷。这种方法制备的泡沫陶瓷是目前**主要的多孔陶瓷之一。

溶胶－凝胶工艺

溶胶- 凝胶工艺主要利用凝胶化过程中胶体粒子的堆积以及凝胶处理、热处理等过程中留下小气孔,形成可控多孔结构。这种方法大多数产生纳米级气孔,多用来生产微孔陶瓷。溶胶－凝胶工艺是一种新的制备多孔陶瓷的工艺,与其它工艺相比有其独特之处。例如,用溶胶－凝胶法制备氧化铝多孔陶瓷,与颗粒混合、泡沫浸渍、喷雾干燥颗粒等方法相比较,溶胶－凝胶法可进一步改善氧化铝多孔陶瓷孔径分布的控制、相变、纯度及显微结构。 我们开发了新型多孔陶瓷，它的孔径可以制作在小于1微米大到几百个微米的范围内。汕头直销微孔陶瓷真空吸盘参考价

可以生产大型真空固定盘。比较大为2米(代替石盘).汕头直销微孔陶瓷真空吸盘参考价

    2、颗粒增韧颗粒增韧是指用颗粒做增韧剂，添加入ZrO2陶瓷粉体中，尽管效果不及晶须与纤维，但若颗粒种类、粒径、含量和基体材料选择得当，仍有一定的强韧效果。其优点是简便易行，增韧的同时会带来高温强度和高温蠕变性能的改善。颗粒增韧的韧化机理主要有细化基体晶粒和裂纹转向分叉等。3、纤维增韧纤维、晶须增韧原理是在紧靠裂纹前列的晶体，由于变形而给裂纹表面加上了闭合应力，抵消裂纹前列的外应力，钝化裂纹扩展，从而起到了增韧作用；此外，裂纹扩展时，柱状晶体的拔出时也要克服摩擦力，也会起到增韧的作用。 汕头直销微孔陶瓷真空吸盘参考价

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