上海销售微孔陶瓷真空吸盘公司

种微孔真空吸盘工作台的制作方法

【技术领域】

[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台，属于机械设备领域。

【背景技术】

[0002]划片刀用于精密加工，由于它的损耗速度非常快，因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机，目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备，在生产过程中发现，现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短，由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形，在生产过程中，随温度变化也会变形加快。

【实用新型内容】

[0003]本实用新型的目的在于，提供一种微孔真空吸盘工作台，它能够解决现有技术的不足，提供一种结构更合理，使用寿命更长的工作台。 电子行业**微孔陶瓷真空吸盘.上海销售微孔陶瓷真空吸盘公司

3、等静压成型

对形状特殊和尺寸大的氧化锆结构陶瓷，需采用等静压成型。等静压成型的坯体由于各方向所受压力均匀相等，且压力大，因此成型后的坯体密度高，均匀性好，烧成收缩小，不易变形、开裂、分层。该成型方法可避免干压时易出现的分层，特别是成型较厚的氧化锆制品，干压时极易出现分层，而等静压成型则可避免，因此该成型方法是生产氧化锆制品常用的方法。但等静压成型后的坯体需要加工，因此会浪费一部分原料，同时由于坯体很硬，加工比较麻烦，且加工速度要求缓慢，否则坯体易发生断裂，生产效率不高。 上海销售微孔陶瓷真空吸盘公司为每一种应用领域提供合适的吸盘产品.

    泡工艺发泡工艺是陶瓷组分添加有机或无机化学物质,通过化学反应等产生挥发气体,经干燥和烧成制成多孔陶瓷。发泡工艺与泡沫浸渍工艺相比,更容易控制制品的形状、成分和密度,并可制备各种气孔形状和大小的多孔陶瓷,特别适用于制备闭气孔的陶瓷材料。用来做发泡剂的化学物质有很多种类,例如,用碳化钙、氢氧化钙、铝粉***铝和双氧水作发泡剂;由亲水性聚氨脂塑料和陶瓷泥浆同时发泡制备多孔陶瓷;用硫化物和***盐混合作发泡剂等。添加成孔剂工艺此工艺是通过在陶瓷配料中添加造孔剂,利用造孔剂在坯体中占据一定的空间,然后经过烧结,造孔剂离开而形成气孔来制备多孔陶瓷。添加造孔剂制备多孔陶瓷的工艺流程与普通的陶瓷工艺流程相似。造孔剂的种类有无机和有机两类,无机造孔剂有碳酸铵、碳酸氢铵、氯化铵等高温可分解的盐类,以及煤粉、碳粉等。有机造孔剂主要是天然纤维、高分子聚合物和有机酸等。造孔剂颗粒的形状和大小决定了多孔陶瓷材料气孔的形状和大小。多孔陶瓷材料的成型方法与普通陶瓷的成型方法类似,主要有模压、挤压、等静压、扎制、注射和粉浆浇注等。

    7、复合增韧复合增韧是指在ZrO2陶瓷实际增韧过程中同时采用几种增韧机理，从而提高ZrO2陶瓷增韧效果。在实际应用过程中，根据所要制备氧化锆陶瓷材料的不同性能，来选择具体的增韧机理。8、纳米增韧目前，纳米增韧主要有三种学术观点，即：细化理论，穿晶理论、“钉扎”理论。（1）细化理论认为纳米相的引入能***基体晶粒的异常长大，使基体结构均匀细化，从而提高纳米氧化陶瓷复合材料的强度韧性。（2）“穿晶理论”，认为纳米复合材料中，基体颗粒以纳米颗粒为核发生致密化而将纳米颗粒包裹在基体晶粒内部形成“晶内型”结构。这样便能减弱主晶界的作用，诱发穿晶断裂，使材料断裂时产生穿晶断裂而不是沿晶断裂，从而提高纳米氧化锆陶瓷复合材料强度和韧性。 同时也可作气浮平台，广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。

    前驱体法优点是：产物尺寸均一，品质好。缺点是：前驱体的处理比较繁琐，无法进行连续生产。6、模板诱导-水热法模板诱导-水热法是将模板法和水热法结合起来，以硫酸铝为前驱体加入模板剂制备了薄水铝石陶瓷，并经1200℃煅烧制得了α-Al2O3陶瓷。模板剂加入的作用是：（1）降低水热反应的温度；（2）控制前驱体形貌，制备高长径比Al2O3陶瓷。二、氧化铝陶瓷应用1、金属基复合材料氧化铝陶瓷与金属具有良好的界面相容性，被认为是金属基复合材料比较好的增强材料。氧化铝陶瓷增强的金属基复合材料具有**度和耐磨、耐热冲击能力及低的热膨胀系数等优良性能，已在汽车活塞槽部件和旋转气体压缩机叶片中得到应用，有利于改善汽车发动机性能，提高发动机使用效率和燃烧速率，减少废气排放量。 因为盘面气孔的分布状态可选择围棋盘或同心圆状。上海销售微孔陶瓷真空吸盘公司

是指经过特殊的纳米粉体制造工艺先生产出均匀的实心或者真空球体.上海销售微孔陶瓷真空吸盘公司

    一、成型氧化锆结构陶瓷的成型方法目前用得较多的有三种：热压铸成型、干压成型和等静压成型。1、热压铸成型对于氧化锆结构陶瓷小型产品或形状复杂的产品。一般采用热压铸成型方法。该成型方法比较简单，特别适宜于生产批量大或形状复杂的中小型产品。但氧化锆热压铸产品排蜡时易出现开裂、变形等缺点，这是因为氧化锆陶瓷料浆颗粒粒径较小，粉料比表面积大，调制热压铸浆料时，石蜡及油酸的加人量要明显高于其它陶瓷制品，从而造成坯体收缩大，排蜡时易出现开裂、变形等缺点。因此调试浆料时，要掌握好石蜡及油酸的加入量和加人方式，设计合理的排蜡烧成曲线及其它相关工艺参数，可以避免上述缺点的出现。 上海销售微孔陶瓷真空吸盘公司

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