超精密加工包括微细加工、超微细加工、光整加工、精整加工等加工技术。微细加工技术是指制造微小尺寸零件的加工技术；超微细加工技术是指制造超微小尺寸零件的加工技术，它们是针对集成电路的制造要求而提出的，由于尺寸微小，其精度是用切除尺寸的相对值来表示，而不是用所加工尺寸与尺寸误差的比值来表示。光整加工一般是指降低表面粗糙度和提高表面层力学机械性质的加工方法，不着重于提高加工精度，其典型加工方法有珩磨、研磨、超精加工及无屑加工等。实际上，这些加工方法不仅能提高表面质量，而且可以提高加工精度。精整加工是近年来提出的一个新的名词术语，它与光整加工是对应的，是指既要降低表面粗糙度和提高表面层力学机械性质，又要提高加工精度(包括尺寸、形状、位置精度)的加工方法。对于精密机械加工的检测有三种方式：离线检测、在位检测和在线检测。零件精密加工
随着超精密加工设备的相关技术，例如精密主轴部件、滚动导轨、静压导轨、微量进给驱动装置、精密数控系统、激光精密检测系统等逐渐成熟，超精密加工设备成为工业界常见的生产设备。此外，设备精度也逐渐接近纳米级水平、可加工工件的尺寸范围也变得更大，应用越来越广。随着数控技术的发展，还出现了超精密五轴铣削和飞切技术。已经可以加工非轴对称非球面等复杂零件。超精密加工技术在国际上处于先进地位的国家有美国、英国和日本。这些国家的超精密加工技术不仅总体成套水平高，而且商品化的程度也非常高。零件精密加工20世纪90年代后，民用超精密加工技术逐渐成熟。
精密加工的发展趋势1、高精度、高效率。高精度与高效率是超精密加工永恒的主题。总的来说，固着磨粒加工不断追求着游离磨粒的加工精度，而游离磨粒加工不断追求的是固着磨粒加工的效率。当前超精密加技术如CMP、EEM等虽能获得极高的表面质量和表面完整性，但以加工效率为保证。超精密切削、磨削技术虽然加工效率高，但无法获得如CMP、EEM的加工精度。探索能兼顾效率与精度的加工方法，成为超精密加工领域研究人员的目标。半固着磨粒加工方法的出现即体现了这一趋势。另一方面表现为电解磁力研磨、磁流变磨料流加工等复合加工方法的诞生。
特种热处理的发展现状与应用特种热处理工艺是工业系统关键制造技术之一。真空热处理以其特有的无污梁、无氧化、工件变形小和适用范围广等优点，广用于航空航天结构件处理，如齿轮结构件表面渗碳或渗氮，导弹和航天器各种合金或钢件的去应力、增强或增韧处理等。典型结构如：仪表零件、传动结构、燃料贮箱、发动机壳体等；美国热处理炉约有50%以上为真空热处理炉。真空热处理炉已广采用了计算机控制,目前已发展到真空化学热处理和真空气淬热处理，包括高压真空气淬、高流率真空气淬和高压高流率真空气淬技术等。另外，激光热处理技术在国外已广用于航空、航天、电子、仪表等领域，如各种复杂表面件、微型构件、需局部强化处理构件、微型电子器件、大规模集成电路的生产和修补、精密光学元件、精密测量元件等。 当前超精密加工已进入纳米尺度，纳米制造是超精密加工前沿的课题。世界发达国家均予以高度重视。
激光加工是将激光束作用于物体表面而引起物体形状或性能改变的加工过程，其实质是激光将能量传递给被加工材料，被加工材料发生物理或化学变化，使其达到加工的目的。加工技术可以分为4个层次：一般加工、微细加工、精密加工和超精密加工。范围广：激光精密加工的对象范围很宽，包括几乎所有的金属材料和非金属材料；适于材料的打标、切割、焊接、表面改性等。高速快捷：从加工周期来看，激光精密加工操作简单，切缝宽度方便调控，可立即根据电脑输出的图样进行高速雕刻和切割、加工速度快，加工周期比其它方法均要短。成本低廉：不受加工数量的限制，对于小批量加工服务，激光加工更加便宜。对于大件产品的加工，大件产品的模具制造费用很高，激光加工不需任何模具制造。切割面光滑：激光切割的切割面无毛刺。安全可靠：激光精密加工属于非接触加工，不会对材料造成机械挤压或机械应力；相对于电火花加工、等离子弧加工，其热影响区和变形很小，因而能加工十分微小的零部件。精确细致：激光束可以聚焦到很小的尺寸，因而特别适合于精密加工。激光精密加工质量的影响因素少，加工精度高，在一般情况下均优于其它传统的加工方法。 京机床研究所是国内进行超精密加工技术研究的主要单位之一，研制出了多种不同类型的超精密机床。零件精密加工
精密机械零件加工厂虽然数量众多，但实力偏弱。零件精密加工
总的来说，我国在超精密加工机床的效率、精度、可靠性，特别是规格（大尺寸）和技术配套性方面与国外相比，与生产实际要求相比，还有相当大的差距。另外，复杂曲面的精密加工也一直是我国制造业发展的壁垒，而制造业的发展关系着国家经济的长远发展问题，仍需投入大量的研究。超精密加工技术正迎来一个繁荣的时代。鉴于、信息等产业对高精度先进陶瓷元件的巨大需求，新的高性能先进陶瓷材料不断涌现，这类材料的超精密加工成为经久不衰的研究热点。超精密切削、超精密磨削、超精密研磨与抛光技术已取得长足的进展，加工后工件表面精度可达纳米级或亚纳米级，并且加工方法目趋多样化。总的来说，超精密磨削、珩磨等固着磨粒超精密加工技术正在追求游离磨粒加工技术的加工精度，而游离磨粒超精密加工技术正在追求固着磨粒加工的效率。超精密加工技术正向着适于大批量生产的高效高质量、低成本、环境友好的方向发展。 零件精密加工
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