山东多级干式真空泵机组

    W型往复式真空泵是获得真空的主要设备之一。用于从密闭容器中或反应锅中抽除空气与其他气体，不适用于抽除腐蚀性的气体或者带有硬颗粒灰粉的气体，W型真空泵具有体积小、维修简单、阀片寿命长等优点，适用于在较高压强范围内使用，极限真空2000pa左右。2、旋片式真空泵。①2X型旋片式真空泵为双极结构容积式真空泵，由偏心安装的带有旋片的转子高速旋转，使泵腔的容积不断变化而完成抽气作用。该泵装有气镇阀，当被抽气体中含有少量水蒸汽时，开启气镇阀向泵的排气腔注入空气，水蒸气可以和空气一起排出，不致在泵中凝结成水，被油乳化。2X型真空泵可以单独作为主泵使用，也可作为增压泵、扩散泵和分子泵的前级泵使用。②2XZ型旋片式真空泵，为双级直联结构，其抽气原理与2X型相同。该泵具有体积小、重量轻、噪声低、启动和移动方便等优点，适用于实验室使用。2XZ型真空泵可以单独使用，也可作为增压泵、扩散泵和分子泵的前级泵、维持泵等。该泵不适用于腐蚀性气体及含颗粒灰粉的气体。真空泵电机过热如何解决真空泵在使用时会出现电机过热的现象，那么，如何解决真空泵电机过热呢?1、将原风扇罩加长40cm，在里面加装一个与风扇罩同直径轴流风机，轴流风机电机功率850W。沃德气体倾城服务，确保产品质量无后顾之忧。山东多级干式真空泵机组

干式真空泵的抽气量：无油涡旋真空泵由于内部结构问题，抽气量较小，只适用于小抽气量的工艺中；干式螺杆真空泵型号齐全，可适用大抽气量工艺中，配合罗茨真空泵可以满足不同客户的需求。山东多级干式真空泵机组沃德气体愿和各界朋友真诚合作一同开拓。

干式机械真空泵的应用是较广的，主要有以下几个方面： 1 低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中； 2 半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒； 3 除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求； 4 在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵； 5 用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

干式真空泵的真空度：干式螺杆真空泵、爪式真空泵、无油涡旋真空泵极限真空度都很高，较高极限真空均可达到1-2Pa；无油往复真空泵为粗真空设备，极限真空度低，需要搭配罗茨真空泵提高极限真空。沃德气体严格控制原材料的选取与生产工艺的每个环节，保证产品质量不出问题。

干式真空泵的稳定性：干式螺杆真空泵性能稳定，噪音低，故障率低；无油往复真空泵结构简单，噪音较高，需要经常更换滑片。爪式真空泵由于装配复杂，转子与轴不为一体，出现故障需全部重新拆解装配，反复装配从而降低产品性能及稳定性。公司狠抓产品质量的提高，逐年立项对制造、检测、试验装置进行技术改造。山东多级干式真空泵机组

沃德气体从国内外引进了一大批先进的设备，实现了工程设备的现代化。山东多级干式真空泵机组

干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式/水环式/喷射式真空泵的更新换代产品。山东多级干式真空泵机组

行路致远，砥砺前行。淄博沃德气体设备有限公司致力成为与您共赢、共生、共同前行的战略伙伴，更矢志成为机械及行业设备富有影响力的企业，与您一起飞跃，共同成功！