本发明涉及等离子刻蚀领域，特别涉及一种等离子处理器以及静电夹盘加热方法。背景技术：现有技术中，在等离子体刻蚀或化学气相沉积等工艺过程中，常采用静电夹盘(electrostaticchuck，简称esc)来固定、支撑及传送基片(wafer)等待加工件。静电夹盘设置于反应腔室中，通过对静电夹盘来加热基片，促成基片与反应腔室中的等离子体进行反应，从而实现对基片的加工制造。静电夹盘的加热区域不止一个，需要通过设置多区加热器对静电夹盘的多个加热区域分别进行加热。由于对多区加热器进行控制的元器件(例如scr电力调整器和ssr固态继电器等)尺寸较大，在有限的空间内无法直接放置在多区加热器的下方，即射频滤波组件和加热器控制单元只能在偏远位置，此时其与多区加热器并非处于同电位状态，所以需要给每个加热器添加rf滤波器(射频滤波器)，保证正常工作，如图1所示。由于射频滤波组件和加热器控制单元在偏远位置，各个加热器和加热器控制单元之间均连接有射频滤波器，使得射频功率会在此长距离路径中损耗，这可能导致刻蚀速率降低以及存在其他潜在的射频泄漏风险。基于上述原因，需要研发一种结构简单、节省空间、简化滤波结构的基于多区加热器的加热系统实为必要。千岛超薄型夹盘SE-06.福建工程强力超薄型夹盘
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买家还在看""product-detail="""=""title="中国台湾千岛卡盘SK-08强力型三爪夹头"style="color:#666;">中国台湾千岛卡盘SK-08强力型三爪夹头""product-detail="""=""title="中国台湾千岛卡盘MC-10方型超薄夹盘"style="color:#666;">中国台湾千岛卡盘MC-10方型超薄夹盘""product-detail="""=""title="中国台湾千岛卡盘NBK-08强力超薄型夹盘"style="color:#666;">中国台湾千岛卡盘NBK-08强力超薄型夹盘""product-detail="""=""title="中国台湾千岛卡盘SE-04超薄夹盘"style="color:#666;">中国台湾千岛卡盘SE-04超薄夹盘""product-detail="""=""title="原装中国台湾千岛卡盘ADP-06连结盘"style="color:#666;">原装中国台湾千岛卡盘ADP-06连结盘""product-detail="""=""title="中国台湾千岛卡盘FR-06超精密生爪成型盘"style="color:#666;">中国台湾千岛卡盘FR-06超精密生爪成型盘""product-detail="""=""title="中国台湾千岛卡盘J-06超精密夹头生爪"style="color:#666;">中国台湾千岛卡盘J-06超精密夹头生爪""product-detail="""=""title="中国台湾千岛RT-06回转气压夹盘（间歇性运转）"style="color:#666;">中国台湾千岛RT-06回转气压夹盘。
本公开内容的实施方式一般涉及基板夹盘。更具体而言，此处所述的实施方式涉及图案化基板夹盘。背景技术：基板夹持装置通常在半导体和显示器工业中使用，以在传送或处理基板期间支撑基板。新兴技术已导向开发各种先进的处理技术，用于基板上的器件和结构制作。举例而言，用于虚拟现实和增强现实应用的波导装置的制作已突破了传统基板处理技术的界限。波导装置并入形成于玻璃或类玻璃基板上的微结构。常常，微结构形成于基板的前侧和基板的背侧。然而，在处理期间处置和支撑具有微结构形成于基板的前面和背面的基板是具有挑战性的。举例而言，传统夹持装置当处理前侧时可能损伤形成于基板的背侧上的微结构。因此，本领域中需要改良的夹持装置。技术实现要素：在一个实施方式中，提供一种基板夹持装置。装置包括主体，主体具有顶部表面和相对于顶部表面的底部表面，多个空腔形成于主体中且从顶部表面凹陷，及多个支撑元件将多个空腔分开，而从主体延伸至顶部表面。多个通口形成于主体中且从顶部表面通过多个支撑元件的一个或多个而延伸至底部表面，且导管与多个通口的各者流体连通。在另一实施方式中，提供一种基板夹持装置。装置包括主体。上海昱彦精密机械有限公司代理中国台湾千岛全系列产品，及售后服务P系列。
卡盘产品的寿命究竟如何来识别和认识呢，广大用户注意切记买到伪劣假冒卡盘，客户您必须关心卡盘的寿命问题?行业资讯cEROWA工具的维修保养小知识大部分EROWA工具系统都是由硬质和防腐蚀钢材制造的。当使用在线切割机床上时，为了保持产品的防腐蚀性能，请务必遵守下列维护保养说明。07-10EROWA线切割工具---模块化工具系...EROWA工具系统的使用使线切割机更加具有灵活性和生产效率，**减少了停机时间。昂贵的机床能夜以继日地工作。整个系统的构件，无论是对新用户还是想扩展ITS使用的用户，还有老用户都适用。只要定下您的工作框架，您在生产过程中您必会无后顾之忧。07-10EROWA机器人和传统劳动力的比拼在中国，机器人正成为很多劳动密集型企业日益接受，并且逐步扩大的新型“劳动力”，机器人作为新型的劳动力。千岛超薄型夹盘SE-02。福建工程强力超薄型夹盘
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一种夹网高弹热熔膜的制作方法【**摘要】本实用新型的目的是提供一种夹网高弹热熔膜，包括PU热熔胶A（1）、弹性网布(2)、PU热熔胶B（3）、离型纸保护层（4），其特征在于：上述各层依次复合。本实用新型一种夹网高弹热熔膜主要无缝贴合在服装裤头，替代传统弹性橡皮筋，既有传统的橡皮筋的功能，又有无缝粘贴的效果。本实用新型热熔膜弹性好，增强服装的舒适性和使用寿命，提升了服装的品质，使服装穿着起来更加美观。【**说明】一种夹网高弹热熔膜技术领域[0001]本实用新型涉及一种热熔膜，具体涉及一种夹网高弹热熔膜。【背景技术】[0002]无缝运动服装采用弹性面料经过无缝粘接制造而成，具有伸缩幸好、重量轻和吸湿性强等优点，是人们运动及休闲时的优先。[0003]热熔膜能根据实际需要切割成不同的尺寸及形状，且粘贴性强，粘贴在服装面料的针缝处可以取代车缝加工。目前，用于无缝运动服的裤头，都是传统弹性橡皮筋的，影响无缝运动服装的舒适度，缩短了使用寿命，没有达到全无缝要求，提升不了服装的品质及美观。【发明内容】[0004]本实用新型为解决上述问题，提供一种夹网高弹热熔膜，替代现在市场上传统的橡皮筋产品，通过设备热压加工固定粘接于无缝运动服装裤头处。福建工程强力超薄型夹盘
上海昱彦精密机械有限公司是一家机械设备及零配件、刀具、五金机电、机电设备、电机及配件、电线电缆、工具刃具、金属材料、环保设备、紧固件、模具及配件、电气设备、汽车配件、仪器仪表、电动工具、制冷设备、机床及附件销售，机电设备、数控机床、机械设备安装维修，电脑图文设计制作，模型设计，从事数控机床、机械设备科技专业领域内技术咨询。的公司，致力于发展为创新务实、诚实可信的企业。昱彦精密深耕行业多年，始终以客户的需求为向导，为客户提供***的中国台湾千岛卡盘油缸卡爪，日本日研转台刀柄，中国台湾昱伟工装夹治具，中国台湾潭兴数控分度盘。昱彦精密不断开拓创新，追求出色，以技术为先导，以产品为平台，以应用为重点，以服务为保证，不断为客户创造更高价值，提供更优服务。昱彦精密始终关注机械及行业设备行业。满足市场需求，提高产品价值，是我们前行的力量。